[發明專利]一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置

在審

• 申請號: 201911054289.4
• 申請日: 2019-10-31
• 公開（公告）號: CN110736851A
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發明（設計）人: 趙嘉峰;高筱;謝斌平
• 申請（專利權）人: 費勉儀器科技(南京)有限公司;費勉儀器科技(上海)有限公司
• 主分類號: G01N35/10
• 分類號: G01N35/10
• 代理公司: 31253 上海精晟知識產權代理有限公司
• 代理人: 姜杉

本發明提供了一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，用于解決現有技術中樣品停放裝置功能單一、停放數量少、操作繁瑣、停放臺材料放氣嚴重的技術問題；樣品停放臺、支撐桿、支撐套筒、轉接法蘭和驅動裝置；實施本發明的技術方案，每個樣品停放臺可放置六個樣品托，提高工作效率；通過彈片固定樣品托，操作便捷；使用可調的彈片固定樣品托，使裝置適用不同類型的樣品托；使用耐高溫低蒸氣壓材料的彈片，減少放氣；設置線性驅動器和旋轉驅動器，樣品托位置調節靈活。

技術領域

本發明涉及超真空樣品停放技術領域，特別涉及一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置。

背景技術

目前超高真空領域的樣品停放裝置均比較簡單，一般只可停放1～2個樣品托，功能單一，且傳樣不方便，進樣和取樣操作均比較繁瑣，及其影響超高真空領域科研者做實驗的效率，停放臺支撐結構不牢靠，停放臺材料放氣嚴重，影響真空裝置的真空度。

因此需要一種支撐結構牢靠、樣品托停放數量多、操作簡單的樣品停放裝置。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明中披露了一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，本發明的技術方案是這樣實施的：

一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，包括：樣品停放臺、支撐桿、支撐套筒、轉接法蘭和驅動裝置；所述樣品停放臺固定至所述支撐桿；所述支撐套筒密封連接至所述轉接法蘭，所述支撐桿密封連接至所述轉接法蘭；所述驅動裝置密封連接至所述轉接法蘭的一端，連接至所述支撐桿；所述樣品停放臺包括主體、成對設置的固定端和彈片；所述彈片可拆卸式固定至所述固定端，所述固定端邊緣設置凹槽；所述固定端的數量為兩個以上；所述驅動裝置包括線性驅動裝置和旋轉驅動裝置；所述線性驅動裝置驅動所述支撐桿沿所述轉接法蘭的軸向移動；所述旋轉驅動裝置驅動所述支撐桿繞所述轉接法蘭的軸向旋轉；所述轉接法蘭的另一端固定至真空。

所述適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，還包括限位塊，所述限位塊固定至所述支撐套筒內部；所述限位塊設置支撐孔，所述支撐桿穿過所述支撐孔。

優選地，所述限位塊的材料為特氟龍。

優選地，所述凹槽背離所述主體的一端設置倒角。

優選地，分別位于相鄰的兩個固定端上相鄰的兩條凹槽設置為平行的。

優選地，所述樣品停放臺的數量為大于一個的。

優選地，所述彈片的材料為耐高溫、低蒸氣壓的彈性金屬材料，包括：鈹銅、鐵鈷鎳合金、鎳鉻合金、鎳鉻鉬合金和蒙乃爾合金中的至少一者。

優選地，所述旋轉驅動器為磁耦合旋轉器。

實施本發明的技術方案可解決現有技術中樣品停放裝置功能單一、停放數量少、操作繁瑣、停放臺材料放氣嚴重的技術問題；實施本發明的技術方案，每個樣品停放臺可放置六個樣品托，提高工作效率；通過彈片固定樣品托，操作便捷；使用可調的彈片固定樣品托，使裝置適用不同類型的樣品托；使用耐高溫低蒸氣壓材料的彈片，減少放氣；設置線性驅動器和旋轉驅動器，樣品托位置調節靈活。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一種實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明的一種具體實施方式的停放裝置結構示意圖；

圖2為本發明的一種具體實施方式的樣品停放臺結構示意圖；

圖3為本發明的一種具體實施方式的彈片結構示意圖。

在上述附圖中，各圖號標記分別表示：