[發明專利]一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置在審
| 申請號： | 201911054289.4 | 申請日： | 2019-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN110736851A | 公開（公告）日： | 2020-01-31 |
| 發明（設計）人： | 趙嘉峰;高筱;謝斌平 | 申請（專利權）人： | 費勉儀器科技(南京)有限公司;費勉儀器科技(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G01N35/10 | 分類號： | G01N35/10 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知識產權代理有限公司 | 代理人： | 姜杉 |
| 地址： | 210000 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 樣品托 停放 彈片固定 停放裝置 線性驅動器 旋轉驅動器 材料放氣 超高真空 工作效率 功能單一 進樣系統 驅動裝置 位置調節 支撐套筒 轉接法蘭 可調的 耐高溫 蒸氣壓 支撐桿 彈片 放氣 靈活 | ||
1.一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，其特征在于，包括：樣品停放臺、支撐桿、支撐套筒、轉接法蘭和驅動裝置；
所述樣品停放臺固定至所述支撐桿；
所述支撐套筒密封連接至所述轉接法蘭，所述支撐桿密封連接至所述轉接法蘭；
所述驅動裝置密封連接至所述轉接法蘭的一端，連接至所述支撐桿；
所述樣品停放臺包括主體、成對設置的固定端和彈片；
所述彈片可拆卸式固定至所述固定端，所述固定端邊緣設置凹槽；
所述固定端的數量為兩個以上；
所述驅動裝置包括線性驅動裝置和旋轉驅動裝置；
所述線性驅動裝置驅動所述支撐桿沿所述轉接法蘭的軸向移動；
所述旋轉驅動裝置驅動所述支撐桿繞所述轉接法蘭的軸向旋轉；
所述轉接法蘭的另一端固定至真空。
2.根據權利要求1所述的一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，其特征在于，還包括限位塊，所述限位塊固定至所述支撐套筒內部；
所述限位塊設置支撐孔，所述支撐桿穿過所述支撐孔。
3.根據權利要求2所述的一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，其特征在于，所述限位塊的材料為特氟龍。
4.根據權利要求3所述的一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，其特征在于，所述凹槽背離所述主體的一端設置倒角。
5.根據權利要求4所述的一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，其特征在于，分別位于相鄰的兩個固定端上相鄰的兩條凹槽設置為平行的。
6.根據權利要求5所述的一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，其特征在于，所述樣品停放臺的數量為大于一個的。
7.根據權利要求6所述的一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，其特征在于，所述彈片的材料為耐高溫、低蒸氣壓的彈性金屬材，包括：鈹銅、鐵鈷鎳合金、鎳鉻合金、鎳鉻鉬合金和蒙乃爾合金中的至少一者。
8.根據權利要求7所述的一種適用于超高真空領域快速進樣系統的樣品停放裝置，其特征在于，所述旋轉驅動器為磁耦合旋轉器。
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