[發明專利]一種便于固定的化學機械拋光設備

在審

• 申請號: 201911046138.4
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN110695841A
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發明（設計）人: 汪娟
• 申請（專利權）人: 汪娟
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B37/27;B24B45/00;B24B57/02;B24B37/34
• 代理公司: 34142 合肥中博知信知識產權代理有限公司
• 代理人: 李金標

本發明公開了一種便于固定的化學機械拋光設備，包括箱體，所述箱體的內部設置有支撐架，所述支撐架的內部固定有電機，所述電機的一側連接有傳動桿，其中，所述傳動桿遠離電機的一側連接有主動齒輪，所述主動齒輪的一側設置有從動齒輪，所述從動齒輪遠離主動齒輪的一側連接有轉動桿，所述轉動桿的內部貫穿有管道，所述管道的內部設置有拋光液，所述轉動桿遠離從動齒輪的一側固定有工作臺，所述工作臺遠離轉動桿的一側設置有拋光墊。該便于固定的化學機械拋光設備，設置有液壓桿和絲桿，將工件放置在工作臺上，液壓桿開始工作，液壓桿帶動夾具朝工件的一側移動，之后，轉動絲桿，絲桿帶動兩側的夾具對工件進行夾緊，便于將工件固定住。

技術領域

本發明涉及化學機械拋光設備技術領域，具體為一種便于固定的化學機械拋光設備。

背景技術

在大規模集成電路生產過程中，對晶片上的沉積物進行平坦化是一道必需且頻繁的工序，目前，完成這一道工序主要采用化學機械拋光工藝，化學機械拋光機是完成這道工序的主要設備。

目前的化學機械拋光設備雖然種類和數量非常多，但現有的化學機械拋光設備仍存在了一定的問題，對化學機械拋光設備的使用帶來一定的不便。

但是大多數的化學機械拋光設備在使用過程中，大都不便對工件進行固定，固定的過程比較繁瑣，且不易對不同尺寸形狀的工件進行夾緊，同時不便對化學機械拋光設備進行清洗，這很大程度的限制了化學機械拋光設備的使用范圍，因此迫切需要能改進化學機械拋光設備結構的技術，來完善此設備。

發明內容

本發明的目的在于提供一種便于固定的化學機械拋光設備，以解決上述背景技術提出的目前化學機械拋光設備在使用過程中，大都不便對工件進行固定，固定的過程比較繁瑣，且不易對不同尺寸形狀的工件進行夾緊，同時不便對化學機械拋光設備進行清洗的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種便于固定的化學機械拋光設備，包括箱體，所述箱體的內部設置有支撐架，所述支撐架的內部固定有電機，所述電機的一側連接有傳動桿，其中，

所述傳動桿遠離電機的一側連接有主動齒輪，所述主動齒輪的一側設置有從動齒輪，所述從動齒輪遠離主動齒輪的一側連接有轉動桿，所述轉動桿的內部貫穿有管道，所述管道的內部設置有拋光液；

所述轉動桿遠離從動齒輪的一側固定有工作臺，所述工作臺遠離轉動桿的一側設置有拋光墊，所述拋光墊靠近工作臺的一側連接有固定塊，所述工作臺靠近固定塊的一側開設有固定槽；

所述箱體的一側開設有排液管槽，所述排液管槽的內部設置有排液管，所述箱體遠離支撐架的一側固定有第一連接板，所述第一連接板的一側固定有第二連接板，所述第二連接板靠近箱體的一側設置有液壓桿，所述液壓桿遠離第二連接板的一側連接有安裝座，所述安裝座遠離液壓桿的一側設置有夾具。

優選的，所述主動齒輪的一側設置有從動齒輪，所述主動齒輪與從動齒輪的齒距相等，且主動齒輪與從動齒輪構成嚙合結構。

優選的，所述固定塊靠近固定槽的一側為球形，所述固定塊靠近固定槽一側的外部尺寸與固定槽的內部尺寸相吻合，且固定槽開口處的距離小于固定塊橫向的最大距離。

優選的，所述安裝座遠離液壓桿的一側開設有滑槽，所述滑槽的內部設置有滑塊，所述安裝座靠近滑槽的一側開設有絲桿槽，所述絲桿槽的內部設置有絲桿，所述絲桿貫穿于整個滑塊的內部。

優選的，所述滑槽開設有兩處，所述滑塊設置在兩處滑槽的內部，所述滑槽的內部尺寸與滑塊的外部尺寸相吻合，且滑槽與滑塊構成滑動結構。

優選的，所述絲桿設置在兩處滑槽的內部，所述絲桿貫穿于整個滑塊的內部，且絲桿在兩處滑槽的內部設置螺紋的螺紋相反。