[發(fā)明專利]一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911046138.4 | 申請日： | 2019-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN110695841A | 公開（公告）日： | 2020-01-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 汪娟 | 申請（專利權(quán)）人： | 汪娟 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24B37/27;B24B45/00;B24B57/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 34142 合肥中博知信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 李金標 |
| 地址： | 231261 安徽省合*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 轉(zhuǎn)動桿 從動齒輪 主動齒輪 液壓桿 化學機械拋光設(shè)備 夾具 電機 內(nèi)部設(shè)置 傳動桿 固定的 支撐架 工作臺 絲桿 工件放置 工件固定 內(nèi)部固定 轉(zhuǎn)動絲桿 拋光墊 拋光液 夾緊 貫穿 移動 | ||
1.一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，包括箱體(1)，其特征在于：所述箱體(1)的內(nèi)部設(shè)置有支撐架(2)，所述支撐架(2)的內(nèi)部固定有電機(3)，所述電機(3)的一側(cè)連接有傳動桿(4)，其中，
所述傳動桿(4)遠離電機(3)的一側(cè)連接有主動齒輪(5)，所述主動齒輪(5)的一側(cè)設(shè)置有從動齒輪(6)，所述從動齒輪(6)遠離主動齒輪(5)的一側(cè)連接有轉(zhuǎn)動桿(7)，所述轉(zhuǎn)動桿(7)的內(nèi)部貫穿有管道(8)，所述管道(8)的內(nèi)部設(shè)置有拋光液(9)；
所述轉(zhuǎn)動桿(7)遠離從動齒輪(6)的一側(cè)固定有工作臺(10)，所述工作臺(10)遠離轉(zhuǎn)動桿(7)的一側(cè)設(shè)置有拋光墊(11)，所述拋光墊(11)靠近工作臺(10)的一側(cè)連接有固定塊(12)，所述工作臺(10)靠近固定塊(12)的一側(cè)開設(shè)有固定槽(13)；
所述箱體(1)的一側(cè)開設(shè)有排液管槽(14)，所述排液管槽(14)的內(nèi)部設(shè)置有排液管(15)，所述箱體(1)遠離支撐架(2)的一側(cè)固定有第一連接板(16)，所述第一連接板(16)的一側(cè)固定有第二連接板(17)，所述第二連接板(17)靠近箱體(1)的一側(cè)設(shè)置有液壓桿(18)，所述液壓桿(18)遠離第二連接板(17)的一側(cè)連接有安裝座(19)，所述安裝座(19)遠離液壓桿(18)的一側(cè)設(shè)置有夾具(20)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述主動齒輪(5)的一側(cè)設(shè)置有從動齒輪(6)，所述主動齒輪(5)與從動齒輪(6)的齒距相等，且主動齒輪(5)與從動齒輪(6)構(gòu)成嚙合結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述固定塊(12)靠近固定槽(13)的一側(cè)為球形，所述固定塊(12)靠近固定槽(13)一側(cè)的外部尺寸與固定槽(13)的內(nèi)部尺寸相吻合，且固定槽(13)開口處的距離小于固定塊(12)橫向的最大距離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述安裝座(19)包括滑槽(1901)、滑塊(1902)、絲桿槽(1903)和絲桿(1904)，所述安裝座(19)遠離液壓桿(18)的一側(cè)開設(shè)有滑槽(1901)，所述滑槽(1901)的內(nèi)部設(shè)置有滑塊(1902)，所述安裝座(19)靠近滑槽(1901)的一側(cè)開設(shè)有絲桿槽(1903)，所述絲桿槽(1903)的內(nèi)部設(shè)置有絲桿(1904)，所述絲桿(1904)貫穿于整個滑塊(1902)的內(nèi)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述滑槽(1901)開設(shè)有兩處，所述滑塊(1902)設(shè)置在兩處滑槽(1901)的內(nèi)部，所述滑槽(1901)的內(nèi)部尺寸與滑塊(1902)的外部尺寸相吻合，且滑槽(1901)與滑塊(1902)構(gòu)成滑動結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述絲桿(1904)設(shè)置在兩處滑槽(1901)的內(nèi)部，所述絲桿(1904)貫穿于整個滑塊(1902)的內(nèi)部，且絲桿(1904)在兩處滑槽(1901)的內(nèi)部設(shè)置螺紋的螺紋相反。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述夾具(20)包括安裝槽(2001)、卡槽(2002)、卡塊(2003)、安裝塊(2004)、通孔(2005)、螺栓(2006)和螺紋槽(2007)，所述夾具(20)的一側(cè)連接有滑塊(1902)，所述夾具(20)遠離滑塊(1902)的一側(cè)開設(shè)有安裝槽(2001)，所述夾具(20)靠近安裝槽(2001)的一側(cè)開設(shè)有卡槽(2002)，所述卡槽(2002)的內(nèi)部設(shè)置有卡塊(2003)，所述卡塊(2003)的一側(cè)固定有安裝塊(2004)，所述夾具(20)靠近安裝塊(2004)的一側(cè)開設(shè)有通孔(2005)，所述通孔(2005)的內(nèi)部設(shè)置有螺栓(2006)，所述安裝塊(2004)靠近螺栓(2006)的一側(cè)開設(shè)有螺紋槽(2007)。
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