[發明專利]一種便于固定的化學機械拋光設備

有效

• 申請號: 201911045109.6
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN110802505B
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 汪娟
• 申請（專利權）人: 汪娟
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B37/27;B24B57/02;B24B37/34;B24B55/00
• 代理公司: 合肥中博知信知識產權代理有限公司 34142
• 代理人: 李金標

本發明公開了一種便于固定的化學機械拋光設備，一種便于固定的化學機械拋光設備，包括設備主體、第一轉軸、第一齒輪、螺紋套筒、電動伸縮板、第二轉軸、第三齒輪、螺旋連桿、清洗噴頭、拋光臺、待拋光半導體、調節閥和出液管，所述設備主體的側端設置有驅動電機。該便于固定的化學機械拋光設備中設置有限位孔和電動伸縮板，根據不同的待拋光半導體形狀，選取與半導體形狀相同的限位孔，將待拋光半導體防置在限位孔內，能夠對待拋光半導體起到水平方向的固定作用，電動伸縮板能夠完成豎直方向上的伸縮移動，能夠對待拋光半導體施加向下的擠壓力，使待拋光半導體貼合在拋光臺上，進行拋光，能夠對待拋光半導體起到豎直方向的固定作用。

技術領域

本發明涉及拋光技術領域，具體為一種便于固定的化學機械拋光設備。

背景技術

化學機械拋光設備是一種適用于CMP工藝中，實現芯片平坦化的裝置，使集成電路制造的核心技術。

化學機械拋光設備在半導體制造過程中是常見的設備，在一些半導體的加工車間是需要用到化學機械拋光設備，這種化學機械拋光設備在市面上的種類很多，但現在市面上的這類的化學機械拋光設備在使用時都不便于固定住待拋光的產品，容易導致拋光效果變差，因此市面上迫切需要能改進便于固定的化學機械拋光設備結構的技術，來完善此設備。

發明內容

本發明的目的在于提供一種便于固定的化學機械拋光設備，以解決上述背景技術提出的目前市面上的這類的化學機械拋光設備在使用時都不便于固定住待拋光的產品，容易導致拋光效果變差的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種便于固定的化學機械拋光設備，包括設備主體、第一轉軸、第一齒輪、螺紋套筒、電動伸縮板、第二轉軸、第三齒輪、螺旋連桿、清洗噴頭、拋光臺、待拋光半導體、調節閥和出液管，所述設備主體的側端設置有驅動電機，所述第一轉軸設置在驅動電機的上端，所述第一齒輪固定連接在第一轉軸的上表面，所述第一齒輪的側端安裝有第二齒輪，所述第二齒輪的側端安裝有絲桿，所述螺紋套筒穿插連接在絲桿的外表面，遠離第二齒輪的所述的絲桿的一端固定連接有第一軸承，所述螺紋套筒的下端固定連接有連接板，所述電動伸縮板設置在連接板的底端，靠近驅動電機的所述設備主體的側端設置有正反電機，所述第二轉軸設置在正反電機的下端，所述第三齒輪穿插連接在第二轉軸的外表面，所述螺旋連桿設置在第三齒輪的側端，所述螺旋連桿的下端固定連接有第二軸承，所述螺旋連桿的側端安裝有進水口，所述清洗噴頭固定連接在螺旋連桿的上端，所述拋光臺設置在設備主體的內部下端，所述拋光臺的上表面設置有固定盤，所述固定盤內部設置有限位孔，所述待拋光半導體穿插連接在限位孔的內部，所述拋光臺的下表面設置有第三轉軸，所述拋光臺的下端設置有集液層，所述調節閥設置在集液層的側端，所述集液層的下表面固定連接有導流管，所述導流管的下端設置有回收箱，所述設備主體的下端設置有固定裝置，所述出液管設置在拋光臺的上端，所述出液管的末端固定連接有分液裝置，所述分液裝置的下端設置有第一漿料箱，所述第一漿料箱的側端設置有第二漿料箱。

優先的，所述第一轉軸與第一齒輪之間構成旋轉結構，且第一齒輪在豎向平面內旋轉的角度范圍為0-360°，且第一齒輪與第二齒輪之間相互嚙合，且第二轉軸與第三齒輪之間結構與第一轉軸與第一齒輪相同。

優先的，所述絲桿與螺紋套筒之間為螺紋連接，且螺紋套筒移動的最大距離與絲桿的長度相同。

優先的，所述第三齒輪與螺旋連桿之間為嚙合連接，且螺旋連桿與清洗噴頭之間為轉動結構，且清洗噴頭在水平平面內旋轉的角度范圍為0-180°。

優先的，所述固定裝置包括緩沖塊、連接桿、第一緩沖彈簧和固定塊，緩沖塊的下表面固定連接有連接桿，連接桿的外表面纏繞連接有第一緩沖彈簧，連接桿的下表面固定連接有固定塊。