[發(fā)明專利]一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911045109.6
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN110802505B
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 汪娟
• 申請（專利權(quán)）人: 汪娟
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B37/27;B24B57/02;B24B37/34;B24B55/00
• 代理公司: 合肥中博知信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34142
• 代理人: 李金標

1.一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，包括設(shè)備主體(1)、第一轉(zhuǎn)軸(3)、第一齒輪(4)、螺紋套筒(7)、電動伸縮板(10)、第二轉(zhuǎn)軸(12)、第三齒輪(13)、螺旋連桿(14)、清洗噴頭(17)、拋光臺(18)、待拋光半導體(21)、調(diào)節(jié)閥(24)和出液管(28)，其特征在于：所述設(shè)備主體(1)的側(cè)端設(shè)置有驅(qū)動電機(2)，所述第一轉(zhuǎn)軸(3)設(shè)置在驅(qū)動電機(2)的上端，所述第一齒輪(4)固定連接在第一轉(zhuǎn)軸(3)的上表面，所述第一齒輪(4)的側(cè)端安裝有第二齒輪(5)，所述第二齒輪(5)的側(cè)端安裝有絲桿(6)，所述螺紋套筒(7)穿插連接在絲桿(6)的外表面，遠離第二齒輪(5)的所述的絲桿(6)的一端固定連接有第一軸承(8)，所述螺紋套筒(7)的下端固定連接有連接板(9)，所述電動伸縮板(10)設(shè)置在連接板(9)的底端，靠近驅(qū)動電機(2)的所述設(shè)備主體(1)的側(cè)端設(shè)置有正反電機(11)，所述第二轉(zhuǎn)軸(12)設(shè)置在正反電機(11)的下端，所述第三齒輪(13)穿插連接在第二轉(zhuǎn)軸(12)的外表面，所述螺旋連桿(14)設(shè)置在第三齒輪(13)的側(cè)端，所述螺旋連桿(14)的下端固定連接有第二軸承(15)，所述螺旋連桿(14)的側(cè)端安裝有進水口(16)，所述清洗噴頭(17)固定連接在螺旋連桿(14)的上端，所述拋光臺(18)設(shè)置在設(shè)備主體(1)的內(nèi)部下端，所述拋光臺(18)的上表面設(shè)置有固定盤(19)，所述固定盤(19)內(nèi)部設(shè)置有限位孔(20)，所述待拋光半導體(21)穿插連接在限位孔(20)的內(nèi)部，所述拋光臺(18)的下表面設(shè)置有第三轉(zhuǎn)軸(22)，所述拋光臺(18)的下端設(shè)置有集液層(23)，所述調(diào)節(jié)閥(24)設(shè)置在集液層(23)的側(cè)端，所述集液層(23)的下表面固定連接有導流管(25)，所述導流管(25)的下端設(shè)置有回收箱(26)，所述設(shè)備主體(1)的下端設(shè)置有固定裝置(27)，所述出液管(28)設(shè)置在拋光臺(18)的上端，所述出液管(28)的末端固定連接有分液裝置(29)，所述分液裝置(29)的下端設(shè)置有第一漿料箱(30)，所述第一漿料箱(30)的側(cè)端設(shè)置有第二漿料箱(31)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述第一轉(zhuǎn)軸(3)與第一齒輪(4)之間構(gòu)成旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，且第一齒輪(4)在豎向平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的角度范圍為0-360°，且第一齒輪(4)與第二齒輪(5)之間相互嚙合，且第二轉(zhuǎn)軸(12)與第三齒輪(13)之間結(jié)構(gòu)與第一轉(zhuǎn)軸(3)與第一齒輪(4)相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述絲桿(6)與螺紋套筒(7)之間為螺紋連接，且螺紋套筒(7)移動的最大距離與絲桿(6)的長度相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述第三齒輪(13)與螺旋連桿(14)之間為嚙合連接，且螺旋連桿(14)與清洗噴頭(17)之間為轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，且清洗噴頭(17)在水平平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的角度范圍為0-180°。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述固定裝置(27)包括緩沖塊(2701)、連接桿(2702)、第一緩沖彈簧(2703)和固定塊(2704)，緩沖塊(2701)的下表面固定連接有連接桿(2702)，連接桿(2702)的外表面纏繞連接有第一緩沖彈簧(2703)，連接桿(2702)的下表面固定連接有固定塊(2704)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的化學機械拋光設(shè)備，其特征在于：所述分液裝置(29)包括導電線圈(2901)、磁鐵(2902)、移動桿(2903)、擋塊(2904)、第一漿料口(2905)、第二漿料口(2906)、漿料出口(2907)和第一緩沖彈簧(2908)，導電線圈(2901)的兩側(cè)設(shè)置有磁鐵(2902)，導電線圈(2901)的側(cè)端固定連接有移動桿(2903)，移動桿(2903)的外表面固定連接有擋塊(2904)，移動桿(2903)的下端設(shè)置有第一漿料口(2905)，第一漿料口(2905)的側(cè)端設(shè)置有第二漿料口(2906)，移動桿(2903)的上端設(shè)置有漿料出口(2907)，移動桿(2903)的末端固定連接有第一緩沖彈簧(2908)。