[發(fā)明專利]一種利用等厚干涉原理檢測顯示屏中缺陷的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911041444.9
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN110618138B
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賈虎;劉義;莫緒濤;張濤;丁成祥;楊輝
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/45;G01N21/01
• 代理公司: 安徽知問律師事務(wù)所 34134
• 代理人: 于婉萍;平靜

1.一種利用等厚干涉原理檢測顯示屏中缺陷的方法，其特征在于：檢測缺陷的系統(tǒng)包括掃描系統(tǒng)、干涉系統(tǒng)和光學(xué)顯微模塊，所述掃描系統(tǒng)包括掃描支架以及與所述掃描支架連接的光源部分和攝像部分，所述光源部分的出射光用于照射所述干涉系統(tǒng)以產(chǎn)生干涉條紋，所述干涉系統(tǒng)包括待測玻片(4-1)以及待測玻片(4-1)底部放置的平整玻片(4-2)，所述待測玻片(4-1)和所述平整玻片(4-2)之間設(shè)置夾塊(4-5)形成空氣劈尖，所述掃描支架用于調(diào)節(jié)出射光并對待測玻片(4-1)進(jìn)行橫縱掃描，所述光學(xué)顯微模塊與攝像部分連接以觀察并記錄所述干涉條紋的變化情況；

所述掃描支架包括水平設(shè)置的滑動支桿(1-1)和豎直設(shè)置的伸縮支桿(1-2)，所述伸縮支桿(1-2)底部設(shè)有固定桿(1-3)，所述固定桿(1-3)用于安裝光源部分和攝像部分，所述伸縮支桿(1-2)沿滑動支桿(1-1)水平移動以使出射光對待測玻片(4-1)進(jìn)行橫向掃描；

所述滑動支桿(1-1)與導(dǎo)軌連接，所述滑動支桿(1-1)沿導(dǎo)軌滑動方向垂直于所述伸縮支桿(1-2)沿滑動支桿(1-1)移動方向，以實現(xiàn)出射光對待測玻片(4-1)的縱向掃描；

所述光源部分通過第一連桿(2-3)與固定桿(1-3)固定連接，所述攝像部分通過第二連桿(3-6)與固定桿(1-3)固定連接；

所述滑動支桿(1-1)與所述伸縮支桿(1-2)內(nèi)還設(shè)有位移傳感器；

根據(jù)所述待測玻片(4-1)的長度a設(shè)置所述夾塊(4-5)的高度h，h/a＝0.005～0.015；

檢測缺陷包括以下步驟：

步驟一：將平整玻片(4-2)放置于測量平臺上，平整玻片(4-2)與待測玻片(4-1)之間設(shè)置一定厚度的夾塊(4-5)形成空氣劈尖，所述平整玻片(4-2)、待測玻片(4-1)與夾塊(4-5)之間組成干涉系統(tǒng)，所述干涉系統(tǒng)上設(shè)有掃描系統(tǒng)；

步驟二：通過調(diào)節(jié)掃描系統(tǒng)中的掃描支架調(diào)節(jié)光源部分和攝像部分的位置，使光源部分的出射光沿空氣劈尖厚度增大的方向掃描待測玻片(4-1)并產(chǎn)生干涉條紋；

步驟三：掃描過程中待測玻片(4-1)的缺陷處干涉條紋異常，通過光學(xué)顯微模塊計算異常條紋對應(yīng)缺陷處至待測玻片(4-1)邊緣的橫向距離x，所述光學(xué)顯微模塊與掃描系統(tǒng)中的攝像部分連接；

步驟四：將夾塊(4-5)取出并放置于待測玻片(4-1)相鄰側(cè)邊形成另一個空氣劈尖，重復(fù)步驟二與步驟三，得到異常條紋對應(yīng)缺陷處至待測玻片(4-1)邊緣的縱向距離y；

計算零級條紋至異常條紋的條紋級數(shù)n和條紋寬度l₀，得到異常條紋對應(yīng)缺陷至待測玻片(4-1)邊緣距離為nl₀；

任選一級正常條紋定義其坐標(biāo)為x_k，再數(shù)20級正常條紋定義其坐標(biāo)為x_k+20，測量20級正常條紋的總寬度為|x_k-x_k+20|，計算出一級條紋寬度為l₀＝|x_k-x_k+20|/20；

利用光學(xué)顯微模塊中的條紋計數(shù)器測量從邊緣零級條紋到缺陷處對應(yīng)的畸變條紋的條紋級數(shù)n。