[發(fā)明專利]一種公轉(zhuǎn)式半導(dǎo)體蒸發(fā)臺的蒸發(fā)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911038682.4
• 申請日: 2019-10-29
• 公開（公告）號: CN110643949B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 景蘇鵬;黃鵬飛;劉衛(wèi)平
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州華楷微電子有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州金項專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32456
• 代理人: 金星

1.一種公轉(zhuǎn)式半導(dǎo)體蒸發(fā)臺的蒸發(fā)方法，其特征在于：

S1、設(shè)備的前期準備

S11、提供一種公轉(zhuǎn)式蒸發(fā)臺，該蒸發(fā)臺包括下殼體和上蓋，下殼體和上蓋之間的內(nèi)部空間形成了蒸發(fā)腔，該蒸發(fā)腔的底部設(shè)置有坩堝，將蒸發(fā)用的金屬放置在坩堝內(nèi)，所述蒸發(fā)腔的底部設(shè)置有電子束發(fā)生裝置和對蒸發(fā)腔進行抽真空的抽真空裝置，所述下殼體的內(nèi)壁上旋轉(zhuǎn)安裝有旋轉(zhuǎn)環(huán)，該旋轉(zhuǎn)環(huán)由旋轉(zhuǎn)動力裝置驅(qū)動，所述旋轉(zhuǎn)環(huán)上圓周均布若干個載片蓋，每個載片蓋工作面朝向內(nèi)側(cè)，載片蓋的工作面上固定有若干個圓片，所述載片蓋的外側(cè)通過自轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動安裝于固定座上，該固定座通過可松開或者鎖緊的自鎖結(jié)構(gòu)安裝于旋轉(zhuǎn)環(huán)上，所述下殼體的內(nèi)腔上轉(zhuǎn)動安裝有取料臂，該取料臂的擺動中心線與旋轉(zhuǎn)環(huán)的直徑共線且位于旋轉(zhuǎn)環(huán)的外側(cè)，所述取料臂的取料端位于旋轉(zhuǎn)環(huán)的四分之一圓處，該取料端和固定座之間設(shè)置有將所述自鎖結(jié)構(gòu)切換使固定座與取料端固定的自鎖切換結(jié)構(gòu)，下殼體上設(shè)置有驅(qū)動取料臂從取蓋工位偏擺至蒸發(fā)工位的偏擺驅(qū)動裝置，所述蒸發(fā)腔的底部設(shè)置有防護罩，載片蓋處于蒸發(fā)工位時位于防護罩的上端且位于坩堝的正上方，所述上蓋上設(shè)置有自轉(zhuǎn)動力裝置，該自轉(zhuǎn)動力裝置驅(qū)動蒸發(fā)工位的載片蓋自轉(zhuǎn)；

S12、啟動抽真空裝置對蒸發(fā)腔內(nèi)抽真空，使蒸發(fā)腔內(nèi)的真空度滿足蒸發(fā)要求；

S2、偏擺動力裝置驅(qū)動取料臂偏轉(zhuǎn)移動到取蓋工位將一個載片蓋從旋轉(zhuǎn)環(huán)上取下；

S3、偏擺動力裝置驅(qū)動取料臂偏擺90°使載片蓋移動到蒸發(fā)工位上，該載片蓋在蒸發(fā)工位上位于防護罩的上方和坩堝的正上方；

S4、自轉(zhuǎn)動力裝置驅(qū)動蒸發(fā)工位上的載片蓋自轉(zhuǎn)；

S5、電子束發(fā)生裝置啟動產(chǎn)生高能電子束，電子束對坩堝內(nèi)的金屬加熱使其蒸發(fā)，蒸發(fā)的金屬氣體上升附著在蒸發(fā)工位上的載片蓋的圓片上，防護罩對其他處于旋轉(zhuǎn)環(huán)上的載片蓋防護；

S6、蒸發(fā)工位上的載片蓋蒸發(fā)完成后，電子束發(fā)生裝置和自轉(zhuǎn)動力裝置停止工作，偏擺動力裝置驅(qū)動取料臂反向偏擺90°，將蒸發(fā)完的載片蓋放置在旋轉(zhuǎn)環(huán)上；

S7、旋轉(zhuǎn)環(huán)旋轉(zhuǎn)一個工位，將另一個載片蓋轉(zhuǎn)動到取蓋工位；

S8、重復(fù)步驟S2至S6，直至旋轉(zhuǎn)環(huán)上的所有載片蓋均蒸發(fā)完成。

2.如權(quán)利要求1所述的一種公轉(zhuǎn)式半導(dǎo)體蒸發(fā)臺的蒸發(fā)方法，其特征在于：步驟S12中，抽真空之前先對蒸發(fā)腔內(nèi)部進行加熱，加熱溫度為180-230℃。

3.如權(quán)利要求2所述的一種公轉(zhuǎn)式半導(dǎo)體蒸發(fā)臺的蒸發(fā)方法，其特征在于：該蒸發(fā)方法還包括坩堝切換步驟，在蒸發(fā)腔的腔底轉(zhuǎn)動設(shè)置有一個旋轉(zhuǎn)支架，旋轉(zhuǎn)支架上圓周均布多個坩堝，該蒸發(fā)腔的底部設(shè)置有蒸發(fā)口，當蒸發(fā)口的坩堝金屬使用完或者需要蒸發(fā)不同的金屬時，旋轉(zhuǎn)支架旋轉(zhuǎn)切換使新的坩堝停留于蒸發(fā)口處，等待下次蒸發(fā)。

4.如權(quán)利要求3所述的一種公轉(zhuǎn)式半導(dǎo)體蒸發(fā)臺的蒸發(fā)方法，其特征在于：在載片蓋切換的整個過程中，利用一個偏轉(zhuǎn)的罩殼阻擋蒸發(fā)口，而載片蓋在蒸發(fā)的過程中，罩殼偏轉(zhuǎn)讓出蒸發(fā)口。

5.如權(quán)利要求4所述的一種公轉(zhuǎn)式半導(dǎo)體蒸發(fā)臺的蒸發(fā)方法，其特征在于： 步驟S2中，取料臂偏轉(zhuǎn)移動到取蓋工位將一個載片蓋從旋轉(zhuǎn)環(huán)上取下的具體方式為：

載片蓋的固定座上設(shè)置了第一固定孔和第二固定孔，旋轉(zhuǎn)環(huán)和取料臂上分別設(shè)置有帶第一鎖緊孔的第一固定軸和帶第二鎖緊孔的第二固定軸，固定座上彈性滑動安裝了可以插入第一鎖緊孔的第一鎖銷、彈性滑動安裝了可以插入第二鎖緊孔的第二鎖銷；固定座固定在旋轉(zhuǎn)環(huán)時第一固定軸插入到第一固定孔并通過第一鎖銷鎖緊，而第二鎖銷彈性收縮；

而當取料臂偏轉(zhuǎn)到取蓋工位時，取料臂上的第二固定軸插入到第二固定孔內(nèi)，第一鎖銷和第二鎖銷狀態(tài)切換，第一鎖銷收縮而第二鎖銷彈出插入第二鎖緊孔內(nèi)，固定座則與取料臂固定而與旋轉(zhuǎn)環(huán)分離。