[發明專利]電源供應裝置、半導體工藝系統與電源管理方法

在審

• 申請號: 201911037896.X
• 申請日: 2019-10-29
• 公開（公告）號: CN112751406A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 江政鴻;劉志慶;林威庭;張耀明
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H02J9/06
• 分類號: H02J9/06
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 宋洋;黃艷

提供一種電源供應裝置，包括電源單元、電源感測器以及控制單元。電源單元包括并聯配置的第一電源供應器以及第二電源供應器，兩者分別提供第一輸出電源以及第二輸出電源至半導體工藝設備。電源感測器感測第一輸出電源以及第二輸出電源的一輸出參數是否小于預設值。當第一輸出電源及第二輸出電源的該輸出參數中的一者小于預設值時，電源供應裝置進入一緊急備援模式。控制單元使得第一電源供應器及第二電源供應器的另外一者提供一備用電源至半導體工藝設備。備用電源的該輸出參數大于第一輸出電源以及第二輸出電源的該輸出參數。

技術領域

本發明實施例涉及一種電源供應裝置、半導體工藝系統(制程系統)與電源管理方法。更詳細地說，本發明實施例為一種用于半導體工藝設備與機臺的電源供應裝置、半導體工藝系統與電源管理方法。

背景技術

對于半導體工藝設備而言，穩定的電源供應至關重要。如果發生電源供應器失效的情況，無法進行偵錯及晶圓救援功能，只能被動的由機臺發報的錯誤信息或依經驗推斷是哪顆電源供應器失效，而錯失寶貴的晶圓救援時間，造成產品報廢及大量金錢損失。此外，要等到電源供應器恢復供電后，半導體工藝設備才能繼續正常運作，造成產能損失。因此，在目前高度自動化、人力精簡的趨勢下，需要一種用于半導體工藝設備的、全自動化的電源供應裝置與半導體工藝系統。

發明內容

本發明實施例提供一種電源供應裝置，包括電源單元、電源感測器以及控制單元。電源單元包括并聯配置的第一電源供應器以及第二電源供應器，兩者分別提供第一輸出電源以及第二輸出電源至半導體工藝設備。電源感測器感測第一輸出電源以及第二輸出電源的一輸出參數是否小于預設值。控制單元依據電源感測器的電源感測結果，判斷電源單元是否正常供電給半導體工藝設備。當第一輸出電源或第二輸出電源的該輸出參數中的一者小于預設值時，電源供應裝置進入一緊急備援模式。控制單元使得第一及第二電源供應器的另外一者提供一備用電源至半導體工藝設備。備用電源的該輸出參數大于第一輸出電源以及第二輸出電源的該輸出參數。

本發明實施例提供一種半導體工藝系統，包括一半導體工藝設備以及上述的電源供應裝置。第一電源供應器所輸出的第一輸出電源及/或第二電源供應器所輸出的第二輸出電源用以對半導體工藝設備的一鍍件進行偏壓，以執行一化學電鍍沉積工藝(制程)。

本發明實施例提供一種半導體工藝系統，包括一半導體工藝設備以及上述的電源供應裝置。在該半導體工藝系統中，第一電源供應器或第二電源供應器所輸出的第一輸出電源以及第二輸出電源用以激發該半導體工藝設備的一電磁輻射，使得電磁輻射穿越一掩模(光罩)以執行一曝光工藝。

本發明實施例提供一種電源管理方法，應用于一半導體工藝系統的一電源供應裝置。上述電源管理方法包括：并聯配置電源供應裝置的一第一電源供應器以及一第二電源供應器，兩者分別提供一第一輸出電源以及一第二輸出電源至半導體工藝系統的一半導體工藝設備；感測第一輸出電源以及第二輸出電源的一輸出參數是否大于或等于一預設值；當電源感測器感測到第一輸出電源以及第二輸出電源的該輸出參數均大于或等于該預設值時，則電源供應裝置進入一正常操作模式；以及當電源感測器感測到第一輸出電源或第二輸出電源的該輸出參數小于該預設值時，則電源供應裝置進入一緊急備援模式，并且對第一輸出電源或第二輸出電源的該輸出參數大于或等于該預設值所對應的第一電源供應器或第二電源供應器進行調整，使第一電源供應器或第二電源供應器提供一備用電源至半導體工藝設備。備用電源的該輸出參數大于第一輸出電源以及第二輸出電源的該輸出參數。

附圖說明

根據以下的詳細說明并配合附圖做完整披露。應注意的是，根據本產業的一般作業方式，附圖未必為按照比例繪制。事實上，可能任意的放大或縮小元件的尺寸，以做清楚的說明。

圖1A為根據本發明一實施例所述的電源供應裝置以及半導體工藝設備的示意圖；

圖1B為根據本發明一實施例所述的電源供應器的示意圖；

圖2為根據本發明一實施例所述的半導體工藝系統的示意圖；