[發明專利]電源供應裝置、半導體工藝系統與電源管理方法

在審

• 申請號: 201911037896.X
• 申請日: 2019-10-29
• 公開（公告）號: CN112751406A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 江政鴻;劉志慶;林威庭;張耀明
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H02J9/06
• 分類號: H02J9/06
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 宋洋;黃艷

1.一種電源供應裝置，包括：

一電源單元，包括并聯配置的一第一電源供應器以及一第二電源供應器，該第一電源供應器和該第二電源供應器分別提供一第一輸出電源以及一第二輸出電源至一半導體工藝設備；

一電源感測器，用以感測該第一輸出電源以及該第二輸出電源的一輸出參數是否小于一預設值；以及

一控制單元，當該電源感測器感測到該第一輸出電源與該第二輸出電源的該輸出參數中的一者小于該預設值時，則該電源供應裝置進入一緊急備援模式，并且該控制單元使得該第一電源供應器與該第二電源供應器中的另一者提供一備用電源至該半導體工藝設備，其中，該備用電源的該輸出參數大于該第一輸出電源以及該第二輸出電源的該輸出參數。

2.如權利要求1所述的電源供應裝置，其中，該第一電源供應器以及該第二電源供應器的每一者還包括一電源供應單元以及一轉換單元，該轉換單元耦接該電源供應單元，用以將該電源供應單元所提供的一外部電源轉換為一直流電源。

3.如權利要求2所述的電源供應裝置，其中，該第一電源供應器以及該第二電源供應器的每一者還包括一功率平衡單元，該功率平衡單元耦接該轉換單元，以負載平衡模式檢測該直流電源并且對該轉換單元進行反饋控制以產生該第一輸出電源或該第二輸出電源。

4.如權利要求1所述的電源供應裝置，其中，該電源供應裝置還包括至少一整流器，該至少一整流器配置于該電源單元以及該半導體工藝設備之間，用以將該第一輸出電源以及該第二輸出電源的方向調節為從該電源單元輸送至該半導體工藝設備。

5.如權利要求1所述的電源供應裝置，其中，當該控制單元并未在一預設時間內接收到來自該電源感測器的感測結果時，則該控制單元判斷該電源供應裝置進入該緊急備援模式。

6.如權利要求1所述的電源供應裝置，其中，該電源供應裝置還包括一警示單元，當該電源供應裝置進入該緊急備援模式時，該控制單元傳送一警示信號至該警示單元，使得該警示單元發出一警示聲音或一警示圖案。

7.一種半導體工藝系統，包括：

一半導體工藝設備；以及

如權利要求1所述的電源供應裝置，其中，該半導體工藝設備使用該第一電源供應器所輸出的該第一輸出電源及/或該第二電源供應器所輸出的該第二輸出電源執行一半導體工藝。

8.如權利要求7所述的半導體工藝系統，其中，該半導體工藝為一化學電鍍沉積工藝，并且該第一輸出電源及/或該第二輸出電源用以對該半導體工藝設備中的一鍍件進行偏壓。

9.如權利要求7所述的半導體工藝系統，其中，該半導體工藝為曝光工藝，并且該第一輸出電源及/或該第二輸出電源用以激發該半導體工藝設備的一電磁輻射，使得該電磁輻射穿越一掩模。

10.一種電源管理方法，應用于一半導體工藝系統的一電源供應裝置，該電源管理方法包括：

并聯配置該電源供應裝置的一第一電源供應器以及一第二電源供應器，該第一電源供應器和該第二電源供應器分別提供一第一輸出電源以及一第二輸出電源至該半導體工藝系統的一半導體工藝設備；

感測該第一輸出電源以及該第二輸出電源的一輸出參數是否小于一預設值；

當該電源感測器感測到該第一輸出電源以及該第二輸出電源的該輸出參數均大于該預設值時，則該電源供應裝置進入一正常操作模式；以及

當該電源感測器感測到該第一輸出電源與該第二輸出電源的該輸出參數中的一者小于該預設值時，則該電源供應裝置進入一緊急備援模式，并且使該第一電源供應器與該第二電源供應器中的另一者提供一備用電源至該半導體工藝設備，其中，該備用電源的該輸出參數大于該第一輸出電源以及該第二輸出電源的該輸出參數。