[發明專利]一種電熱式MEMS扭轉驅動器在審

申請號：	201911036626.7	申請日：	2019-10-29
公開（公告）號：	CN112744777A	公開（公告）日：	2021-05-04
發明（設計）人：	王鵬;黃兆興;謝會開	申請（專利權）人：	無錫微奧科技有限公司
主分類號：	B81B3/00	分類號：	B81B3/00;B81B7/02
代理公司：	無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262	代理人：	趙華
地址：	214000 江蘇省無錫市新吳區菱湖***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種電熱 mems 扭轉驅動器
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【說明書】：

一種電熱式MEMS扭轉驅動器，其特征在于該電熱式MEMS扭轉驅動器1由至少兩種熱膨脹系數不同材料組成的薄膜結構，該電熱式MEMS扭轉驅動器一端固定，另一端連接可動單元2，該電熱式MEMS扭轉驅動器中心線3不與固定端面垂直，且中心線3的斜率沒有拐點，當電熱式MEMS扭轉驅動器1溫度升高時，電熱式MEMS扭轉驅動器1繞x軸方向轉動，從而帶動可動單元2轉動。優點：解決了現有電熱式MEMS驅動器不易扭轉的技術問題，具有結構簡單、易實現的特點。

技術領域

本發明涉及的是一種電熱式MEMS扭轉驅動器，屬于MEMS應用技術領域。

背景技術

MEMS驅動方式主要分為靜電、電磁、電熱和壓電四種方式，其中靜電和電磁被常用于扭轉態驅動方式中。電熱通常應用于垂直位移，較難運用于扭轉態驅動，即使應用于扭轉態驅動，其結構也非常復雜。例如，專利文獻1、一種微電機系統扭轉鏡面驅動器、制作方法及應用（200410053563.3），公開了一種靜電驅動用于扭轉態的實施方案。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是如何使電熱式MEMS驅動器扭轉的技術問題。

本發明的技術方案：一種電熱式MEMS扭轉驅動器，其特征在于該電熱式MEMS扭轉驅動器1由至少兩種熱膨脹系數不同材料組成的薄膜結構，該電熱式MEMS扭轉驅動器一端固定，另一端連接可動單元2，該電熱式MEMS扭轉驅動器沿其中心線3成非對稱分布，當電熱式MEMS扭轉驅動器1溫度變化時，電熱式MEMS扭轉驅動器1繞x軸方向轉動，從而帶動可動單元2轉動。

所述電熱式MEMS扭轉驅動器中心線3不與固定端面垂直，且中心線3的斜率沒有拐點。

所述可動單元2兩側對稱安裝該電熱式MEMS扭轉驅動器1，該電熱式MEMS扭轉驅動器1與可動單元2之間使用柔性結構4連接。該柔性結構可以是彈簧。

一種電熱式MEMS扭轉驅動器組，包括兩個電熱式MEMS扭轉驅動器1，分別為電熱式MEMS扭轉驅動器1A和電熱式MEMS扭轉驅動器1B，電熱式MEMS扭轉驅動器1A和電熱式MEMS扭轉驅動器1B左右對稱，且兩層薄膜材料上下順序相反，電熱式MEMS扭轉驅動器組一端固定，另一端連接可動單元2。

所述電熱式MEMS扭轉驅動器1由至少兩種熱膨脹系數不同材料組成的三層薄膜結構，該三層薄膜結構其中的一層薄膜B1制成連續平面，另兩層相同材料的薄膜分別制作在薄膜B1的上下兩面，且結構上分別在左右分布。

可動單元2兩側對稱安裝所述電熱式MEMS扭轉驅動器組。

本發明的優點：解決了現有電熱式MEMS驅動器不易扭轉的技術問題，具有結構簡單、易實現的特點。

附圖說明

圖1是實施例1中一種電熱式MEMS扭轉驅動器的示意圖。

圖2是實施例2中一種電熱式MEMS扭轉驅動器的示意圖。

圖3是實施例2在實驗室內的顯微照片。

圖4是實施例3中電熱式MEMS扭轉驅動器組的示意圖。

圖5是實施例4中一種電熱式MEMS扭轉驅動器組的示意圖。