[發明專利]一種電熱式MEMS扭轉驅動器

在審

• 申請號: 201911036626.7
• 申請日: 2019-10-29
• 公開（公告）號: CN112744777A
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 王鵬;黃兆興;謝會開
• 申請（專利權）人: 無錫微奧科技有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/02
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

1.一種電熱式MEMS扭轉驅動器，其特征在于該電熱式MEMS扭轉驅動器（1）由至少兩種熱膨脹系數不同材料組成的薄膜結構，該電熱式MEMS扭轉驅動器一端固定，另一端連接可動單元（2），該電熱式MEMS扭轉驅動器沿其中心線（3）成非對稱分布，當電熱式MEMS扭轉驅動器（1）的溫度變化時，電熱式MEMS扭轉驅動器（1）繞x軸方向轉動，從而帶動可動單元（2）轉動。

2.根據權利要求1所述的一種電熱式MEMS扭轉驅動器，其特征在于所述電熱式MEMS扭轉驅動器中心線（3）不與固定端面垂直，且中心線（3）的斜率沒有拐點。

3.根據權利要求1所述的一種電熱式MEMS扭轉驅動器，其特征在于所述可動單元（2）兩側對稱安裝該電熱式MEMS扭轉驅動器（1），該電熱式MEMS扭轉驅動器（1）與可動單元（2）之間使用柔性結構（4）連接。

4.根據權利要求1所述的一種電熱式MEMS扭轉驅動器，其特征在于所述薄膜結構的其中一種材料是金屬或多晶硅。

5.一種電熱式MEMS扭轉驅動器組，其特征在于包括如權利要求1所述的兩個電熱式MEMS扭轉驅動器（1），分別為電熱式MEMS扭轉驅動器（1A）和電熱式MEMS扭轉驅動器（1B），電熱式MEMS扭轉驅動器（1A）和電熱式MEMS扭轉驅動器（1B）左右對稱，且兩層薄膜材料上下順序相反，電熱式MEMS扭轉驅動器組一端固定，另一端連接可動單元（2）。

6.根據權利要求5所述的一種電熱式MEMS扭轉驅動器組，其特征在于所述電熱式MEMS扭轉驅動器（1）由至少兩種熱膨脹系數不同材料組成的三層薄膜結構，該三層薄膜結構其中的一層薄膜（B1）制成連續平面，另兩層相同材料的薄膜分別制作在薄膜（B1）的上下兩面，且結構上分別在左右分布。

7.根據權利要求5所述的一種電熱式MEMS扭轉驅動器組，其特征在于可動單元（2）兩側對稱安裝所述電熱式MEMS扭轉驅動器組。