[發明專利]噴墨頭組件及基板處理裝置

有效

• 申請號: 201911032403.3
• 申請日: 2019-10-28
• 公開（公告）號: CN111114132B
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 成普濫璨;金明辰
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: B41J2/145
• 分類號: B41J2/145;B41J2/14;B41J3/407;B41J3/54;H01L51/56
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 延美花;臧建明

基板處理裝置可包括上部配置基板的工作臺、用于向所述基板上排出藥液的噴墨頭組件及用于在所述工作臺上的所述基板的上部保持所述噴墨頭組件的門形架。所述噴墨頭組件可包括用于向所述基板上排出藥液的噴墨頭、用于支撐所述噴墨頭的支撐部件、用于與所述支撐部件結合以固定所述支撐部件的固定部件、設于所述固定部件上的凸出部件及設于所述支撐部件內且用于收容所述凸出部件的收容部件。

本申請享有2018年10月31日向韓國特許廳申請的韓國專利申請第10-2018-0131986號的優先權。

技術領域

本發明的例示性的實施例涉及噴墨頭組件及基板處理裝置。更具體來講，本發明的例示性的實施例涉及能夠向基板上排出藥液的噴墨頭組件及包括這種噴墨頭組件的基板處理裝置。

背景技術

在用于制造液晶顯示裝置或有機發光顯示裝置等之類的顯示裝置的工序中，執行為了在基板上形成配向膜或濾色器而向所述基板上涂布藥液的印刷工序。所述印刷工序大體可以利用能夠向所述基板上排出所述藥液的噴墨頭執行。

所述噴墨頭配置在叫作頭包(head pack)的支撐部件上。上部配置所述噴墨頭的所述支撐部件結合到叫作包支架(pack holder)的固定部件。將所述噴墨頭更換成新的噴墨頭時，從所述固定部件拆分所述支撐部件后，將上部配置新的噴墨頭的支撐部件結合在固定部件。該情況下，所述支撐部件與所述固定部件主要用螺釘結合，因此將所述噴墨頭更換成新的噴墨頭時配置在所述支撐部件上的新的噴墨頭可能會脫離所需的位置。因此，用于調整所述新的噴墨頭的位置的時間可能會增加，用于更換所述噴墨頭的時間也可能會增加，為了調整所述新的噴墨頭的位置而可能需要另外的夾具。

發明內容

技術問題

本發明的一個目的是提供一種能夠使噴墨頭準確地位于所需位置的噴墨頭組件。

本發明的另一目的是提供一種包括能夠使噴墨頭準確地位于所需位置的噴墨頭組件的基板處理裝置。

技術方案

根據本發明的一方面，提供一種噴墨頭組件，可包括：用于向基板上排出藥液的噴墨頭；用于支撐所述噴墨頭的支撐部件；用于與所述支撐部件結合以固定所述支撐部件的固定部件；配置在所述固定部件上的凸出部件；以及設于所述支撐部件內且用于收容所述凸出部件的收容部件。

在部分例示性的實施例中，所述收容部件可設于所述支撐部件的各端部內，且所述凸出部件可設于所述固定部件的上面。

在例示性的實施例中，所述凸出部件可具有錐形的結構，所述收容部件具有所述錐形的孔結構。

在部分例示性的實施例中，所述凸出部件可具有從其周邊部凸出的凸出部分或凹陷的部分，所述凸出部件插入到所述收容部件內時所述收容部件的內面可以和所述凸出部件的凸出部分或所述凸出部件的凹陷的部分以外的其余部分接觸。

在部分例示性的實施例中，還可以包括：形成于所述凸出部件的中心部分的第一貫通孔、形成于所述收容部件的中心部分且連接到所述第一貫通孔的第二貫通孔、形成于所述固定部件且連接到所述第一貫通孔的第一連接孔、形成于所述支撐部件且連接到所述第二貫通孔的第二連接孔以及在所述支撐部件與所述固定部件結合時插入到所述第二連接孔、所述第二貫通孔、所述第一貫通孔及所述第一連接孔內的結合部件。

在部分例示性的實施例中，還可以包括插入到所述收容部件內的襯套，所述襯套在所述凸出部件插入到所述收容部件內時與所述凸出部件接觸。

根據本發明的另一方面，提供一種可包括上部配置基板的工作臺、用于向所述基板上排出藥液的噴墨頭組件、用于在所述工作臺上的所述基板的上部保持所述噴墨頭組件的門形架的基板處理裝置。所述噴墨頭組件可包括用于向所述基板上排出藥液的噴墨頭、用于支撐所述噴墨頭的支撐部件、用于與所述支撐部件結合以固定所述支撐部件的固定部件、配置在所述固定部件上的凸出部件以及設于所述支撐部件內且用于收容所述凸出部件的收容部件。