[發明專利]噴墨頭組件及基板處理裝置

有效

• 申請號: 201911032403.3
• 申請日: 2019-10-28
• 公開（公告）號: CN111114132B
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 成普濫璨;金明辰
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: B41J2/145
• 分類號: B41J2/145;B41J2/14;B41J3/407;B41J3/54;H01L51/56
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 延美花;臧建明

1.一種噴墨頭組件，其特征在于，包括：

用于向基板上排出藥液的噴墨頭；

用于支撐所述噴墨頭的支撐部件；

用于與所述支撐部件結合以固定所述支撐部件的固定部件；

配置在所述固定部件上的凸出部件；以及

設于所述支撐部件內且用于收容所述凸出部件的收容部件，

所述凸出部件具有錐形的結構，所述收容部件具有所述錐形的孔結構，

所述噴墨頭組件還包括形成于所述凸出部件的中心部分的第一貫通孔、形成于所述收容部件的中心部分且連接到所述第一貫通孔的第二貫通孔、形成于所述固定部件且連接到所述第一貫通孔的第一連接孔、形成于所述支撐部件且連接到所述第二貫通孔的第二連接孔以及在所述支撐部件與所述固定部件結合時插入到所述第二連接孔、所述第二貫通孔、所述第一貫通孔及所述第一連接孔內的結合部件。

2.根據權利要求1所述的噴墨頭組件，其特征在于：

所述收容部件設于所述支撐部件的各端部內，并且所述凸出部件設于所述固定部件的上面。

3.根據權利要求1所述的噴墨頭組件，其特征在于：

所述凸出部件具有從其周邊部凸出的凸出部分或凹陷的部分，所述凸出部件插入到所述收容部件內時所述收容部件的內面和所述凸出部件的凸出部分或所述凸出部件的凹陷的部分以外的其余部分接觸。

4.根據權利要求1所述的噴墨頭組件，其特征在于；

還包括插入到所述收容部件內的襯套，所述襯套在所述凸出部件插入到所述收容部件內時與所述凸出部件接觸。

5.一種基板處理裝置，其特征在于，包括：

上部配置基板的工作臺；

用于向所述基板上排出藥液的噴墨頭組件；

用于在所述工作臺上的所述基板的上部保持所述噴墨頭組件的門形架，

所述噴墨頭組件包括：

用于向所述基板上排出藥液的噴墨頭；

用于支撐所述噴墨頭的支撐部件；

用于與所述支撐部件結合以固定所述支撐部件的固定部件；

配置在所述固定部件上的凸出部件；以及

設于所述支撐部件內且用于收容所述凸出部件的收容部件，

所述凸出部件具有錐形的結構，所述收容部件具有所述錐形的孔結構，

所述噴墨頭組件還包括形成于所述凸出部件的中心部分的第一貫通孔、形成于所述收容部件的中心部分且連接到所述第一貫通孔的第二貫通孔、形成于所述固定部件且連接到所述第一貫通孔的第一連接孔、形成于所述支撐部件且連接到所述第二貫通孔的第二連接孔以及在所述支撐部件與所述固定部件結合時插入到所述第二連接孔、所述第二貫通孔、所述第一貫通孔及所述第一連接孔內的結合部件。

6.根據權利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于：

所述凸出部件具有從其周邊部凸出的凸出部分或凹陷的部分，所述凸出部件插入到所述收容部件內時所述收容部件的內面和所述凸出部件的凸出部分或所述凸出部件的凹陷的部分以外的其余部分接觸。

7.根據權利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于：

還包括插入到所述收容部件內的襯套，所述襯套在所述凸出部件插入到所述收容部件內時與所述凸出部件接觸。