[發明專利]單側上下料半導體設備及其物料傳送裝置

有效

• 申請號: 201911031091.4
• 申請日: 2019-10-28
• 公開（公告）號: CN110745482B
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 林欣家;趙曾男
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

本申請實施例提供了一種單側上下料半導體設備及其物料傳送裝置。該物料傳送裝置，包括：移動底座用于承載物料；物料存放位組件設置在導軌組件的一側，用于承載移動底座；物料移動機構，設置在導軌組件上，可沿導軌組件移動，第一牽引組件用于將移動底座從物料存放位組件移動到物料移動機構上，還用于將移動底座從物料移動機構移回物料存放位組件上；物料取放位組件設置在導軌組件的另一側，用于承載移動底座，第二牽引組件用于將移動底座從物料移動機構移動到物料取放位組件上，還用于將移動底座從物料取放位組件移回物料移動機構上。本申請實施例實現了大幅降低了單側上下料半導體設備的等待時間且提高了工作效率。

技術領域

本申請涉及半導體處理技術領域，具體而言，本申請涉及一種單側上下料半導體設備及其物料傳送裝置。

背景技術

目前，隨著國內半導體市場的持續火熱以及市場對于相關產品的巨大需求，客戶對于半導體設備的產能需求越來越高，同時對于成本要求也越來越高。而伴隨著國內老齡化趨勢越來越明顯，人工成本也逐漸水漲船高。如何解決上述難題便擺在每個半導體設備供應商的面前。

目前，國內槽式清洗設備還普遍使用人工上下料，即由人工將承載有待清洗晶圓的花籃放置到清洗設備的上料位，待清洗完畢后再由人工從下料位將花籃取走。現階段采用單個花籃或兩個花籃較為普遍，花籃的清洗工藝時間一定，當清洗設備數量較多時操作人員需要在不同設備間頻繁的進行上下料操作，若操作人員操作不及時，清洗設備就處于等待狀態，從而影響清洗設備的清洗效率，而為了減少清洗設備的等待時間，就需配備更多的操作人員，但是人工成本又會大幅上升，導致經濟效益較低。

發明內容

本申請針對現有方式的缺點，提出一種單側上下料半導體設備及其物料傳送裝置，用以解決現有技術存效率較低、人工成本較高及經濟效益較低的技術問題。

第一個方面，本申請實施例提供了一種用于單側上下料半導體設備的物料傳送裝置，包括：一個或多個物料存放位組件、一個或多個移動底座、物料移動機構、導軌組件、一個或多個物料取放位組件，其中，所述移動底座用于承載物料；所述物料存放位組件設置在所述導軌組件的一側，用于承載所述移動底座；所述物料移動機構，設置在所述導軌組件上，可沿所述導軌組件移動，其包括一個或多個第一牽引組件，所述第一牽引組件用于將所述移動底座從所述物料存放位組件移動到所述物料移動機構上，還用于將所述移動底座從所述物料移動機構移動回所述物料存放位組件上；所述物料取放位組件設置在所述導軌組件的另一側，用于承載所述移動底座，其包括一個或多個第二牽引組件，所述第二牽引組件用于將所述移動底座從所述物料移動機構移動到所述物料取放位組件上，還用于將所述移動底座從物料取放位組件移動回所述物料移動機構上。

于本申請的一實施例中，所述移動底座包括：移動座、承載件，其中，所述移動座的底部設置有滑輪，所述移動底座通過所述滑輪移動；所述承載件設置于所述移動座的上部，與所述移動座固定連接，用于承載所述物料。

于本申請的一實施例中，所述物料移動機構還包括：底座、第一驅動部、一個或多個第一滑軌、一個或多個第一定位塊，其中，所述第一牽引組件、所述第一驅動部、所述第一滑軌均設置在所述底座上，所述底座與所述導軌組件滑動配合；所述第一驅動部用于驅動所述底座在所述導軌組件上移動；所述第一滑軌的延伸方向與所述導軌組件的延伸方向相交，所述第一定位塊一一對應地設置于所述第一滑軌的側壁上，所述移動底座上對應地設置有定位槽，所述第一牽引組件將所述移動底座從所述物料存放位組件移動到所述第一滑軌上，所述第一定位塊及定位槽配合以定位所述移動底座。

于本申請的一實施例中，所述第一滑軌的延伸方向與所述導軌組件的延伸方向互相垂直。