[發明專利]單側上下料半導體設備及其物料傳送裝置

有效

• 申請號: 201911031091.4
• 申請日: 2019-10-28
• 公開（公告）號: CN110745482B
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 林欣家;趙曾男
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種用于單側上下料半導體設備的物料傳送裝置，其特征在于，包括：一個或多個物料存放位組件、一個或多個移動底座、物料移動機構、導軌組件、一個或多個物料取放位組件，其中，

所述移動底座用于承載物料；

所述物料存放位組件設置在所述導軌組件的一側，用于承載所述移動底座；

所述物料移動機構，設置在所述導軌組件上，可沿所述導軌組件移動，其包括一個或多個第一牽引組件，所述第一牽引組件用于將所述移動底座從所述物料存放位組件移動到所述物料移動機構上，還用于將所述移動底座從所述物料移動機構移動回所述物料存放位組件上；所述物料移動機構還包括：底座、第一驅動部、一個或多個第一滑軌、一個或多個第一定位塊，其中，所述第一牽引組件、所述第一驅動部、所述第一滑軌均設置在所述底座上，所述底座與所述導軌組件滑動配合；所述第一驅動部用于驅動所述底座在所述導軌組件上移動；所述第一滑軌的延伸方向與所述導軌組件的延伸方向相交，所述第一定位塊一一對應地設置于所述第一滑軌的側壁上，所述移動底座上對應地設置有定位槽，所述第一牽引組件將所述移動底座從所述物料存放位組件移動到所述第一滑軌上，所述第一定位塊及定位槽配合以定位所述移動底座；

所述物料取放位組件設置在所述導軌組件的另一側，用于承載所述移動底座，其包括一個或多個第二牽引組件，所述第二牽引組件用于將所述移動底座從所述物料移動機構移動到所述物料取放位組件上，還用于將所述移動底座從物料取放位組件移動回所述物料移動機構上。

2.如權利要求1所述的物料傳送裝置，其特征在于，所述移動底座包括：移動座、承載件，其中，

所述移動座的底部設置有滑輪，所述移動底座通過所述滑輪移動；

所述承載件設置于所述移動座的上部，與所述移動座固定連接，用于承載所述物料。

3.如權利要求1所述的物料傳送裝置，其特征在于，所述第一滑軌的延伸方向與所述導軌組件的延伸方向互相垂直。

4.如權利要求1至3的任一所述的物料傳送裝置，其特征在于，所述第一牽引組件和所述第二牽引組件均包括：第二驅動部、主動輪、從動輪、張緊輪、傳動件、牽引銷，其中，

所述第二驅動部與所述主動輪連接，用于驅動所述主動輪轉動；

所述主動輪和所述從動輪間隔設置，所述傳動件連接所述主動輪和所述從動輪，所述主動輪轉動時，所述傳動件隨之轉動并帶動所述從動輪轉動；

所述張緊輪設置在所述主動輪和所述從動輪之間，頂抵于所述傳動件上，用于調整所述傳動件的張緊度；

所述牽引銷固定設置在所述傳動件上，所述移動底座上設置有與所述牽引銷配合的牽引塊，通過所述傳動件的轉動，所述牽引銷配合所述牽引塊，使所述移動底座移動。

5.如權利要求2所述的物料傳送裝置，其特征在于，所述物料存放組件包括：支撐框架、第二滑軌、第二定位塊，其中，

所述第二滑軌的延伸方向與所述第一滑軌的延伸方向相同，所述物料移動機構通過在所述導軌組件上移動可選擇性地使所述第一滑軌與所述第二滑軌對齊；

所述第二定位塊設置于所述第二滑軌的側壁上，與所述移動底座上的所述定位槽的位置對應，所述第一牽引組件將所述移動底座從所述第一滑軌移動到所述第二滑軌上，所述第二定位塊與所述定位槽配合以定位所述移動底座。

6.如權利要求2所述的物料傳送裝置，其特征在于，所述物料取放位組件包括支撐架、第三滑軌、第三定位塊，其中，

所述第三滑軌的延伸方向與所述第一滑軌的延伸方向相同，所述物料移動機構通過在所述導軌組件上移動可選擇性地使所述第一滑軌與所述第三滑軌對齊；

所述第三定位塊設置于所述第三滑軌的側壁上，與所述移動底座上的所述定位槽的位置對應，所述第二牽引組件將所述移動底座從所述第一滑軌到所述第三滑軌上，所述第三定位塊與所述定位槽配合以定位于所述移動底座。