[發(fā)明專利]形狀測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911031042.0
• 申請日: 2019-10-28
• 公開（公告）號: CN111102956B
• 公開（公告）日: 2023-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 根本賢太郎;山縣正意;菅野良平;川田宏昭
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20;G01B11/24
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

本發(fā)明提供一種形狀測量裝置。形狀測量裝置包括：保持單元，其保持形狀被要測量的測量對象；第一測量單元，其測量所述測量對象的第一表面上的多個(gè)測量點(diǎn)相對于規(guī)定點(diǎn)的相對坐標(biāo)；第二測量單元，其獨(dú)立于所述第一測量單元進(jìn)行操作，并且測量所述測量對象的作為所述第一表面的反面的第二表面上的多個(gè)測量點(diǎn)相對于所述規(guī)定點(diǎn)的相對坐標(biāo)；以及計(jì)算單元，其基于由所述第一測量單元和所述第二測量單元所測量出的結(jié)果來計(jì)算所述測量對象的形狀。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于測量測量對象的形狀的形狀測量裝置。

背景技術(shù)

以往，已知用于測量測量對象的形狀的形狀測量裝置。日本特開2003-22834公開了用于測量燃料電池所用的隔離體的形狀的形狀測量方法，并且目的在于盡可能地抑制薄的隔離體在測量時(shí)因外力而變形。

此外，日本特開2003-22834中公開的方法公開了這樣的方法：兩個(gè)非接觸位移傳感器被設(shè)置為以隔離體置于其間的方式而面向彼此，到隔離體的前表面和后表面的距離由設(shè)置在相應(yīng)表面?zhèn)鹊膫鞲衅鱽頊y量，并且通過從傳感器之間的距離減去由這兩個(gè)傳感器獲得的距離來獲得隔離體的厚度。

另外，為了測量測量對象的厚度，可以想到使用諸如卡尺或千分尺等的測量工具。

然而，在日本特開2003-22834中公開的方法的情況下，存在以下問題：當(dāng)傳感器沒有準(zhǔn)確地面向彼此時(shí)不能獲得精確的厚度，并且需要使相對的傳感器同步以測量厚度。

另外，在基于日本特開2003-22834中描述的方法使用激光進(jìn)行測量的結(jié)構(gòu)的情況下，存在以下問題：當(dāng)測量對象包括通孔時(shí)，一個(gè)傳感器接收來自與其相對的另一傳感器的激光，因此無法進(jìn)行測量。

此外，在使用諸如卡尺和千分尺等的測量工具的情況下，存在以下問題：盡管在測量對象的表面形狀簡單的情況下能夠準(zhǔn)確地進(jìn)行測量，但難以對諸如隔離體等具有復(fù)雜表面形狀的測量對象進(jìn)行細(xì)微的測量。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例提供能夠以高精度測量具有復(fù)雜表面形狀的測量對象的形狀的形狀測量裝置。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例是形狀測量裝置，包括：保持單元，其保持形狀要被測量的測量對象；第一測量單元，其測量所述測量對象的第一表面上的多個(gè)測量點(diǎn)相對于規(guī)定點(diǎn)的相對坐標(biāo)；第二測量單元，其獨(dú)立于所述第一測量單元進(jìn)行操作，并且測量所述測量對象的作為所述第一表面的反面的第二表面上的多個(gè)測量點(diǎn)相對于所述規(guī)定點(diǎn)的相對坐標(biāo)；以及計(jì)算單元，其基于由所述第一測量單元和所述第二測量單元所測量出的結(jié)果來計(jì)算所述測量對象的形狀。

根據(jù)以下參考附圖對典型實(shí)施例的描述，本發(fā)明的其它特征將變得明顯。

附圖說明

圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的形狀測量裝置的框圖。

圖2是示出根據(jù)本發(fā)明第一示例的形狀測量裝置100的結(jié)構(gòu)的示意性正面圖。

圖3是示出由圖2所示的形狀測量裝置100進(jìn)行的測量處理的流程圖。

圖4是示出用于獲得隔離體105的厚度的處理示例的流程圖。

圖5是用于說明圖4的處理的圖。

圖6是示出根據(jù)本發(fā)明第二示例的形狀測量裝置200的結(jié)構(gòu)的示意性正面圖。

具體實(shí)施例

在下文中，將參考附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的形狀測量裝置。此外，在以下附圖中，為了使各個(gè)結(jié)構(gòu)容易理解，結(jié)構(gòu)的形狀、比例和數(shù)量等可以與實(shí)際的結(jié)構(gòu)不同。

(第一實(shí)施例)

(形狀測量裝置1的結(jié)構(gòu))