[發(fā)明專利]形狀測量裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911031042.0 | 申請日： | 2019-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN111102956B | 公開（公告）日： | 2023-10-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 根本賢太郎;山縣正意;菅野良平;川田宏昭 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社三豐 |
| 主分類號： | G01B21/20 | 分類號： | G01B21/20;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 形狀 測量 裝置 | ||
1.一種形狀測量裝置，包括：
保持單元，其保持形狀要被測量的測量對象；
第一測量單元，其測量所述測量對象的第一表面上的多個(gè)測量點(diǎn)相對于規(guī)定點(diǎn)的相對坐標(biāo)；
第二測量單元，其獨(dú)立于所述第一測量單元進(jìn)行操作，并且測量所述測量對象的作為所述第一表面的反面的第二表面上的多個(gè)測量點(diǎn)相對于所述規(guī)定點(diǎn)的相對坐標(biāo)；以及
計(jì)算單元，其基于由所述第一測量單元和所述第二測量單元所測量出的結(jié)果來計(jì)算所述測量對象的形狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測量裝置，其中，所述第一測量單元和所述第二測量單元包括非接觸傳感器，所述非接觸傳感器用于在不接觸所述測量對象的情況下測量所述多個(gè)測量點(diǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測量裝置，其中，所述第一測量單元和所述第二測量單元具有掃描所述測量對象的表面的二維傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測量裝置，
其中，所述第一測量單元是使用面向所述測量對象的所述第一表面的第一傳感器進(jìn)行測量的測量單元，
所述第二測量單元是使用面向所述測量對象的所述第二表面的第二傳感器進(jìn)行測量的測量單元，以及
所述保持單元在測量時(shí)間段期間固定并保持所述測量對象。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測量裝置，
其中，所述第一測量單元和所述第二測量單元是使用同一傳感器進(jìn)行測量的測量單元，以及
所述保持單元能夠使面向所述傳感器的測量對象表面在所述第一表面和所述第二表面之間切換。
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