[發明專利]一種旋轉靶材的綁定方法

在審

• 申請號: 201911025924.6
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN110804726A
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 陳標;郭朋;劉所心;段宇龍
• 申請（專利權）人: 廣西晶聯光電材料有限責任公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 柳州市榮久專利商標事務所(普通合伙) 45113
• 代理人: 韋微

本發明涉及一種旋轉靶材的綁定方法，該方法是先將靶材和鈦管進行粗化處理，再對靶材和鈦管分別進行金屬化處理，然后在靶材和鈦管上均勻的涂覆一層助焊劑；將靶材和鈦管組裝好，啟動加熱裝置，將銦槽中銦液氧化膜去除，開啟銦管道閥門，使銦液緩慢的從底部充滿整個焊縫至銦池，然后開始對靶材進行分段冷卻；最終冷卻至室溫，完成整根靶材的綁定過程。本發明采用整根靶材綁定的方式，可以簡單高效地完成多節靶材的綁定工作，其優點為：無需高溫組裝，對組裝時間未有嚴格的控制，自動化水平比較高；對工人勞動強度和員工操作的熟練程度要求不高，焊合率和焊合質量很好。

技術領域

本發明涉及一種用于磁控濺射鍍膜旋轉靶材的綁定方法，特別是一種多節旋轉靶材同時綁定的方法。

背景技術

磁控濺射是制備薄膜材料的主要技術之一，在電子薄膜、光學薄膜、光電薄膜、磁性薄膜和超導薄膜等技術領域得到廣泛的應用。隨著科技的發展，鍍膜行業已經成為一種專業化的行業，靶材的市場進一步的擴張。濺射靶材通常有兩種：平面靶材和旋轉靶材。

起初開始使用平面靶材，而平面靶材利用率一般只有20%~30%；隨著技術的進步，逐漸開始向旋轉靶過渡，首先是旋轉靶在使用過程中不斷地旋轉，且成膜均勻，穩定性高，成品率高，利用率可高達80%以上，在使用過程中不會出現靶材“結瘤”現象。

旋轉靶材無法直接進行使用，需要焊合到背管上，靶材綁定的貼合率和貼合質量直接影響靶材的濺射使用。在濺射過程中，如果綁定后靶管、背管和銦層貼合效果不夠，在濺射過程中會出現導電不良，散熱效果不好，導致局部受熱不均勻，易造成脫靶甚至開裂（陶瓷靶）。

旋轉靶與背管是曲面接觸，與平面靶不同，管靶綁定一般將旋轉靶與背管進行加熱，然后將熔融焊料注入綁定縫隙中，旋轉靶綁定是多節旋轉靶管釬焊到背管上，旋轉靶的單節長度越大，壁厚越小，澆注的均勻性和質量越難以控制，陶瓷類靶材對溫度控制的要求更高一些。

目前國內旋轉靶綁定是采用分節綁定的方法，這種方法對員工熟練程度要求很高，且勞動強度比較高，綁定均勻性和綁定質量不好控制。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：提供一種旋轉靶材的綁定方法，該方法可以同時綁定多節旋轉靶材，且無需高溫組裝，對組裝時間未有嚴格的控制；對工人勞動強度和員工操作的熟練程度要求不高，焊合質量好。

解決上述技術問題的技術方案是：一種旋轉靶材的綁定方法，采用的綁定裝置包括加熱平臺、模具底座、外加熱裝置、內加熱裝置、上端蓋、靶材壓塊、壓桿、銦槽和銦槽加熱裝置，模具底座開有進銦通道，銦槽和進銦通道之間通過銦管道連通，銦管道外部設置有管道加熱裝置，銦管道上設置有閥門；

該綁定方法包括以下步驟：

（一）將靶材和背管進行粗化處理；

（二）將靶材與背管分別進行金屬化處理；

（三）在步驟（二）處理后的常溫的靶材內壁和背管外壁均勻涂覆一層助焊劑；

（四）將N節靶材分別組裝至背管外側，N的取值為1-10，將內加熱裝置置于背管中，將背管放置在模具底座內，靶材放置在模具底座上，模具底座和內加熱管均放置在加熱平臺上；外加熱裝置套裝在靶材外側并位于模具底座上，靶材頂端面通過靶材壓塊壓緊，上端蓋放置在靶材壓塊、背管和內加熱裝置上，上端蓋、靶材壓塊和背管之間形成銦溢流槽，銦溢流槽位置的上端蓋上還開有銦溢流口，壓桿放置在上端蓋上，所述模具底座與背管之間、靶材壓塊與上端蓋之間均設置有密封圈，背管與靶材之間形成焊縫空間，焊縫空間分別與進銦通道、銦溢流槽連通；