[發明專利]一種旋轉靶材的綁定方法

在審

• 申請號: 201911025924.6
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN110804726A
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 陳標;郭朋;劉所心;段宇龍
• 申請（專利權）人: 廣西晶聯光電材料有限責任公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 柳州市榮久專利商標事務所(普通合伙) 45113
• 代理人: 韋微

1.一種旋轉靶材的綁定方法，其特征在于：采用的綁定裝置包括加熱平臺（1）、模具底座（2）、外加熱裝置（4）、內加熱裝置（10）、上端蓋（9）、靶材壓塊（5）、壓桿（8）、銦槽（11）和銦槽加熱裝置，模具底座開有進銦通道（21），銦槽和進銦通道之間通過銦管道（12）連通，銦管道外部設置有管道加熱裝置（13），銦管道上設置有閥門（14）；

該綁定方法包括以下步驟：

（一）將靶材（3）和背管（7）進行粗化處理；

（二）將靶材與背管分別進行金屬化處理；

（三）在步驟（二）處理后的常溫的靶材內壁和背管外壁均勻涂覆一層助焊劑；

（四）將N節靶材分別組裝至背管外側，N的取值為1-10，將內加熱裝置置于背管中，將背管放置在模具底座內，靶材放置在模具底座上，模具底座和內加熱管均放置在加熱平臺上；外加熱裝置套裝在靶材外側并位于模具底座上，靶材頂端面通過靶材壓塊壓緊，上端蓋放置在靶材壓塊、背管和內加熱裝置上，上端蓋、靶材壓塊和背管之間形成銦溢流槽（6），銦溢流槽位置的上端蓋上還開有銦溢流口（61），壓桿放置在上端蓋上，所述模具底座與背管之間、靶材壓塊與上端蓋之間均設置有密封圈，背管與靶材之間形成焊縫空間，焊縫空間分別與進銦通道、銦溢流槽連通；

（五）控制好N節靶材的同軸度后，通過壓桿施加壓力壓緊上端蓋，開啟加熱平臺、內加熱裝置、外加熱裝置、管道加熱裝置和銦槽加熱裝置進行加熱，待靶材和背管的溫度達到預定溫度后，打開銦管道上的閥門，使達到預定溫度的銦液從模具底座的銦通道注入由背管與靶材形成的焊縫空間內，銦液緩慢上升直至充滿銦溢流槽，此時關閉閥門停止注銦；

（六）關閉加熱平臺、內加熱裝置、管道加熱裝置和銦槽加熱裝置停止加熱，同時控制外加熱裝置使靶材逐步冷卻，當銦溢流槽內的銦冷卻凝固后，關閉外加熱裝置，使靶材冷卻至室溫。

2.根據權利要求1所述的一種旋轉靶材的綁定方法，其特征在于：所述外加熱裝置是具有分段加熱功能的加熱設備，步驟（六）中，控制外加熱裝置，按自下往上的順序，分段使靶材冷卻。

3.根據權利要求1或2所述的一種旋轉靶材的綁定方法，其特征在于：銦管道外部設置有管道加熱裝置，即在銦管道外側包裹柔性加熱帶。