[發明專利]固定裝置、固定方法及檢測設備

在審

• 申請號: 201911024967.2
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN112548888A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 陳魯;范鐸;張鵬斌;張嵩;李海衛
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;G01D5/32
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 周曉

1.固定裝置，其特征在于，包括：

固定盤，包括相對的盤面和背面，所述盤面包括用于承載待支撐物的承載區，所述承載區的至少部分區域設有用于吸附待支撐物的真空吸附區域；

多個支撐組件，所述支撐組件包括支撐面，所述支撐面用于支撐待支撐物，所述支撐面與所述背面之間的距離大于所述真空吸附區域表面與背面之間的距離；

其中，所述支撐組件分布于所述承載區邊緣，所述支撐組件與所述固定盤可拆卸連接；或者，所述支撐組件可自所述承載區邊緣移動至所述承載區外圍。

2.根據權利要求1所述的固定裝置，其特征在于，所述支撐組件包括：

夾持機構，包括夾持固定柱和至少兩個定位柱，所述定位柱通過其一端可拆卸地連接于所述固定盤，并在所述固定盤的盤面上沿承載區邊緣分布；

所述夾持固定柱可運動地設置于所述固定盤，其能夠在第一位置和第二位置之間移動；在第一位置，所述夾持固定柱處于所述定位柱的分布圓周上；在第二位置，所述夾持固定柱處于定位柱分布圓周的外側。

3.根據權利要求2所述的固定裝置，其特征在于，所述夾持機構還包括用于從待支撐物背面的邊緣位置支撐待支撐物的支撐柱，所述支撐柱包括相對的第一端和第二端，所述支撐柱通過第一端可拆卸地連接于所述固定盤，并在所述固定盤的盤面上與所述定位柱沿圓周方向分布。

4.根據權利要求3所述的固定裝置，其特征在于，所述定位柱的設有用于對待支撐物進行徑向定位的定位面和用于從待支撐物邊緣對待支撐物進行支撐的第一支撐面，所述支撐柱的第二端設有用于從待支撐物邊緣對待支撐物進行支撐的第二支撐面。

5.根據權利要求4所述的固定裝置，其特征在于，所述定位柱的第一支撐面和支撐柱的第二支撐面位于同一平面且高于所述真空吸附區域的表面。

6.根據權利要求5所述的固定裝置，其特征在于，所述定位柱的第一支撐面和支撐柱的第二支撐面為向所述固定盤的盤面傾斜的斜面，以在放置待支撐物后僅接觸待支撐物的邊緣圓角處。

7.根據權利要求5所述的固定裝置，其特征在于，所述定位柱的數量為兩個，所述夾持固定柱的移動方向垂直于兩個所述定位柱之間的連接線；所述支撐柱的數量為兩個，分別位于所述夾持固定柱移動方向的兩側。

8.根據權利要求4所述的固定裝置，其特征在于，所述定位柱的第一支撐面為形成在所述定位柱上端的環形臺階面，所述定位面為形成在所述定位柱上端且垂直于所述環形臺階面的圓柱形凸臺的外周面。

9.根據權利要求4所述的固定裝置，其特征在于，所述固定盤的盤面上開設有與所述定位柱和支撐柱對應的螺紋孔，所述定位柱和支撐柱的連接端分別通過外螺紋與所述螺紋孔可拆卸連接。

10.根據權利要求4所述的固定裝置，其特征在于，所述固定盤的盤面設有取放機構避讓區域；所述取放機構避讓區域包括形成在所述盤面上的至少一個開口區域，所述開口區域的形狀與取放待支撐物的機械手外形相適配。

11.根據權利要求4所述的固定裝置，其特征在于，還包括驅動所述夾持固定柱移動的夾持驅動部件，所述夾持驅動部件設于所述固定盤，所述夾持固定柱與所述夾持驅動部件的夾持力輸出端相連接，所述夾持驅動部件帶動所述夾持固定柱在所述第一位置和所述第二位置之間往復移動。

12.根據權利要求2所述的固定裝置，其特征在于，還包括上片監測裝置，所述上片監測裝置包括與所述夾持固定柱一起移動的在位感應件，所述固定盤還設有在位傳感器，在夾持在位狀態下，所述在位感應件移動至觸發所述在位傳感器的位置。