[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體元件的光罩的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911024414.7
• 申請(qǐng)日: 2019-10-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111123640A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田福安;黃旭霆;劉如淦
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F1/36
• 分類(lèi)號(hào): G03F1/36
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó)

1.一種半導(dǎo)體元件的光罩的制造方法，其特征在于，包含：

接收對(duì)應(yīng)于該半導(dǎo)體元件的一遮罩圖案的多個(gè)熱點(diǎn)區(qū)域；

將該些多個(gè)熱點(diǎn)區(qū)域分類(lèi)為二個(gè)或更多熱點(diǎn)群組。該些熱點(diǎn)群組包含至少兩熱點(diǎn)區(qū)域的一第一熱點(diǎn)群組，其中相同或相似的該些熱點(diǎn)區(qū)域被分類(lèi)至相同的該些熱點(diǎn)群組；

校正該第一熱點(diǎn)群組的一第一熱點(diǎn)區(qū)域，以產(chǎn)生該第一熱點(diǎn)群組的該第一熱點(diǎn)區(qū)域的一優(yōu)化；以及

使用該第一熱點(diǎn)群組的該第一熱點(diǎn)區(qū)域的該優(yōu)化來(lái)校正該第一熱點(diǎn)群組的其他熱點(diǎn)區(qū)域，以產(chǎn)生該第一熱點(diǎn)群組的該些其他熱點(diǎn)區(qū)域的多個(gè)優(yōu)化。