[發明專利]硬掩模用組合物

有效

• 申請號: 201911017515.1
• 申請日: 2019-10-24
• 公開（公告）號: CN111458982B
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 金烔永;鄭景文;趙庸桓;崔漢永
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/11
• 分類號: G03F7/11;C08G8/04;C08G61/02
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金成哲;宋海花

1.一種硬掩模用組合物，其包含以下化學式1或以下化學式2所表示的聚合物、以及溶劑，

化學式1

化學式2

所述化學式1和化學式2中，各自獨立地，

X為包含氧(O)、氮(N)或硫(S)的取代基，

R₁為氫、取代或非取代的碳原子數1～4的烷基、取代或非取代的碳原子數6～24的芳基、或取代或非取代的碳原子數6～24的雜芳基，

R₂為氫、羥基、取代或非取代的碳原子數6～24的芳基、或取代或非取代的碳原子數6～24的雜芳基，

R₃為取代或非取代的碳原子數6～24的芳基、或取代或非取代的碳原子數6～24的雜芳基，

R₄為取代或非取代的碳原子數6～24的亞芳基、或取代或非取代的碳原子數6～24的亞雜芳基，

n為1～50的整數。

2.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述化學式1或所述化學式2所表示的聚合物包含：以下化學式3所表示的化合物或其合成等價物；以及以下化學式4或以下化學式5所表示的化合物的縮合物，

化學式3

所述化學式3中，X為包含氧(O)、氮(N)或硫(S)的取代基，R₁為氫、取代或非取代的碳原子數1～4的烷基、取代或非取代的碳原子數6～24的芳基、或取代或非取代的碳原子數6～24的雜芳基，

R₂為氫、羥基、取代或非取代的碳原子數6～24的芳基、或取代或非取代的碳原子數6～24的雜芳基，

化學式4

所述化學式4中，R₃為取代或非取代的碳原子數6～24的芳基、或取代或非取代的碳原子數6～24的雜芳基，

化學式5

所述化學式5中，R₄為取代或非取代的碳原子數6～24的亞芳基、或取代或非取代的碳原子數6～24的亞雜芳基，R₅為氫或碳原子數1～12的烷基。

3.根據權利要求2所述的硬掩模用組合物，所述化學式3所表示的化合物的合成等價物包含以下化學式3-1～化學式3-2所表示的化合物中的至少一種，

化學式3-1

化學式3-2

4.根據權利要求2所述的硬掩模用組合物，所述化學式4所表示的化合物包含以下化學式4-1～以下化學式4-5所表示的化合物中的至少一種，

化學式4-1

化學式4-2

化學式4-3

化學式4-4

化學式4-5

所述化學式4-5中，X為被碳原子數1～12的烷基取代或非取代的包含氮(N)、氧(O)或硫(S)的取代基。

5.根據權利要求2所述的硬掩模用組合物，所述化學式5所表示的化合物包含以下化學式5-1～以下化學式5-3所表示的化合物中的至少一種，

化學式5-1

化學式5-2

化學式5-3

6.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述聚合物包含以下化學式A-1～A-10所表示的重復單元中的至少一種，

化學式A-1

化學式A-2

化學式A-3

化學式A-4

化學式A-5

化學式A-6

化學式A-7

化學式A-8

化學式A-9

化學式A-10

所述化學式A-1～化學式A-10中，n為1～50的整數。