[發明專利]調節閥門裝置

在審

• 申請號: 201911017387.0
• 申請日: 2019-10-24
• 公開（公告）號: CN111350834A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 金根浩;秋成云
• 申請（專利權）人: 夏泰鑫半導體（青島）有限公司
• 主分類號: F16K3/02
• 分類號: F16K3/02;F16K3/314;F16K3/316
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產權代理有限公司 44334
• 代理人: 彭輝劍;龔慧惠

1.一種調節閥結構，其特征在于，包括：

蓋體機構，其包括：

具有中央開口的閥門；

多個葉片相對于所述中央開口的中心在一開啟位置和一關閉位置之間可對稱地移動；以及

多個桿構件相應地連接所述多個葉片，所述多個桿構件中的每一者以垂直于所述閥門的切線方向設置；以及

連接到所述蓋體機構的控制器。

2.根據權利要求1所述的結構，其特征在于，其中所述閥門還包括多個導引軌，其中所述多個桿構件分別設置在所述閥門的所述多個導引軌中。

3.根據權利要求2所述的結構，其特征在于，其中所述多個導引軌道中的每一者具有凸緣，其用于形成所述桿構件的封閉軌道。

4.根據權利要求1所述的結構，其特征在于，其中所述多個桿構件中的每一者連接到一線性致動器。

5.根據權利要求4所述的結構，其特征在于，其中所述線性致動器為選自包括液壓致動器、氣動致動器、電致動器、和機械致動器中之一種。

6.根據權利要求1所述的結構，其中當所述蓋體機構處于打開位置時，所述多個葉片設置在距所述閥門的中心相同的距離處，并且所述多個葉片形成多個在所述閥門的中心處相交的線段開口。

7.根據權利要求1所述的結構，其特征在于，其中所述多個葉片的側壁具有凹槽和突起結構，且所述凹槽結構配置用于和相鄰葉片的突起結構彼此互鎖。

8.根據權利要求1所述的結構，其特征在于，其中所述多個葉片中的每一個具有楔形輪廓，且其具有大于所述閥門的中央開口的半徑的長度。

9.根據權利要求1所述的結構，其特征在于，其中所述葉片透過緊固件聯接到所述桿構件。

10.一種操作裝置的方法，其特征在于，包括：

測量處理室中的壓力；

根據所量測的壓力調整調節閥的蓋體機構，其中所述蓋體機構包括：

閥門，其具有中央開口；

多個葉片相對于所述中央開口的中心在一開啟位置和一關閉位置之間可對稱地移動；

多個桿構件相應地連接到所述多個葉片，所述多個桿構件中的每一者以垂直于所述閥門的切線方向設置；以及

控制器，用于控制所述蓋體機構；以及

當所述蓋體機構呈開啟狀態時，通過排氣系統排出處理室中的處理氣體。