[發(fā)明專利]圖像傳感器及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911015384.3
• 申請日: 2019-10-24
• 公開（公告）號: CN111146217A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐載寬;李國基;金度勛;金昶來;李重訓(xùn);趙殷相
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京市立方律師事務(wù)所 11330
• 代理人: 李娜;王占杰

1.一種圖像傳感器，所述圖像傳感器包括：

襯底，所述襯底包括像素區(qū)域和焊盤區(qū)域，并且包括第一表面和與所述第一表面相對的第二表面；

第一導(dǎo)電焊盤，所述第一導(dǎo)電焊盤在所述焊盤區(qū)域中位于所述襯底的所述第二表面上；

微透鏡層，所述微透鏡層在所述像素區(qū)域中位于所述襯底的所述第二表面上；以及

第一保護(hù)圖案，所述第一保護(hù)圖案覆蓋所述焊盤區(qū)域并暴露所述第一導(dǎo)電焊盤，

其中，所述第一保護(hù)圖案和所述微透鏡層包括相同的材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述第一保護(hù)圖案與所述微透鏡層彼此分開。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，所述圖像傳感器還包括：

鈍化層，所述鈍化層在所述焊盤區(qū)域和所述像素區(qū)域中覆蓋所述襯底的所述第二表面，

其中，所述鈍化層位于所述襯底的所述第二表面與所述第一保護(hù)圖案之間以及所述襯底的所述第二表面與所述微透鏡層之間，以及

其中，所述鈍化層在所述第一保護(hù)圖案與所述微透鏡層之間被暴露。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，所述圖像傳感器還包括：

凹陷區(qū)域，所述凹陷區(qū)域在所述焊盤區(qū)域中位于所述襯底的所述第二表面中，

其中，所述第一導(dǎo)電焊盤與所述凹陷區(qū)域豎直地交疊。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其中，所述襯底還包括光學(xué)黑區(qū)域；以及

所述圖像傳感器還包括第二保護(hù)圖案，所述第二保護(hù)圖案在所述光學(xué)黑區(qū)域中位于所述襯底的所述第二表面上，

其中，所述第二保護(hù)圖案和所述微透鏡層包括相同的材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像傳感器，其中，所述第二保護(hù)圖案與所述第一保護(hù)圖案和所述微透鏡層二者分開。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像傳感器，所述圖像傳感器還包括：

第一光學(xué)黑圖案，所述第一光學(xué)黑圖案在所述光學(xué)黑區(qū)域中位于所述第二保護(hù)圖案與所述襯底的所述第二表面之間，

其中，所述第一導(dǎo)電焊盤的頂表面的高度與所述第一光學(xué)黑圖案的頂表面的高度相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖像傳感器，所述圖像傳感器還包括：

第二光學(xué)黑圖案，所述第二光學(xué)黑圖案位于所述第一光學(xué)黑圖案與所述第二保護(hù)圖案之間；以及

多個(gè)濾色器，所述多個(gè)濾色器在所述像素區(qū)域中位于所述微透鏡層與所述襯底的所述第二表面之間，

其中，所述第二光學(xué)黑圖案包括與所述多個(gè)濾色器中的一個(gè)濾色器的材料相同的材料。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像傳感器，其中，所述第二光學(xué)黑圖案覆蓋所述第一光學(xué)黑圖案的頂表面和兩個(gè)側(cè)壁。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖像傳感器，所述圖像傳感器還包括：

第二導(dǎo)電焊盤，所述第二導(dǎo)電焊盤在所述焊盤區(qū)域中位于所述第一導(dǎo)電焊盤與所述襯底之間，

其中，所述第二導(dǎo)電焊盤的厚度等于所述第一光學(xué)黑圖案的厚度。

11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像傳感器，其中，所述第二保護(hù)圖案的頂表面是凸起的。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，所述圖像傳感器還包括：

第一平坦化圖案，所述第一平坦化圖案位于所述襯底的所述第二表面與所述第一保護(hù)圖案之間；以及

第二平坦化圖案，所述第二平坦化圖案位于所述襯底的所述第二表面與所述微透鏡層之間，

其中，所述第一平坦化圖案和所述第二平坦化圖案包括相同的材料并且彼此分開。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的圖像傳感器，其中，所述第一平坦化圖案的側(cè)壁與所述第一保護(hù)圖案的側(cè)壁對齊，并且

其中，所述第二平坦化圖案的側(cè)壁與所述微透鏡層的側(cè)壁對齊。