[發(fā)明專利]工件側(cè)面成像系統(tǒng)、缺陷檢測系統(tǒng)及工件側(cè)面成像方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911005263.0
• 申請日: 2019-10-22
• 公開（公告）號: CN110672624B
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發(fā)明（設計）人: 崔忠偉
• 申請（專利權）人: 北京領邦智能裝備股份公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 彭星

本申請?zhí)峁┝艘环N工件側(cè)面成像系統(tǒng)、缺陷檢測系統(tǒng)及工件側(cè)面成像方法，涉及工件缺陷檢測技術領域。工件側(cè)面成像系統(tǒng)，包括：載物臺、超遠心鏡頭及點光源；其中超遠心鏡頭位于載物臺的一側(cè)；點光源位于載物臺的另一側(cè)，且與超遠心鏡頭中心線的第一距離在5mm～100mm范圍內(nèi)。該工件側(cè)面成像系統(tǒng)，以點光源替換常規(guī)的普通環(huán)性光源或板光源，結合超遠心鏡頭，在為工件側(cè)面成像時，可以顯著提升工件側(cè)面圖像的清晰度，進而有效提升工件側(cè)面缺陷檢測的準確率。尤其對微小缺陷檢測的效果尤為明顯。

技術領域

本公開涉及工件缺陷檢測技術領域，尤其涉及一種工件側(cè)面成像系統(tǒng)、缺陷檢測系統(tǒng)及工件側(cè)面成像方法。

背景技術

目前，在對工件側(cè)面進行缺陷檢測時，通常需要采用多個相機分別對工件的各側(cè)面進行成像，該方式導致系統(tǒng)過于復雜且成本高。或者，使用多個反射鏡將工件不同側(cè)面發(fā)射至單個相機中，該方式也會增加系統(tǒng)的復雜度。

需要說明的是，在上述背景技術部分公開的信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現(xiàn)有技術的信息。

發(fā)明內(nèi)容

本公開的目的在于提供一種工件側(cè)面成像系統(tǒng)、缺陷檢測系統(tǒng)及工件側(cè)面成像方法。

本公開的其他特性和優(yōu)點將通過下面的詳細描述變得顯然，或部分地通過本公開的實踐而習得。

根據(jù)本公開的一個方面，提供一種工件側(cè)面成像系統(tǒng)，包括：載物臺、超遠心鏡頭及點光源；其中超遠心鏡頭位于所述載物臺的一側(cè)；點光源位于所述載物臺的另一側(cè)，且與所述超遠心鏡頭中心線的第一距離在5mm～100mm范圍內(nèi)。

根據(jù)本公開的一實施方式，所述點光源和所述超遠心鏡頭下表面所在平面的第一垂直距離，與所述超遠心鏡頭的負心和所述超遠心鏡頭下表面所在平面的第二垂直距離之差的絕對值，小于所述第二垂直距離的30％。

根據(jù)本公開的一實施方式，所述點光源和所述超遠心鏡頭下表面所在平面的第一垂直距離，與所述超遠心鏡頭的負心和所述超遠心鏡頭下表面所在平面的第二垂直距離之差的絕對值，小于30mm。

根據(jù)本公開的一實施方式，所述點光源和所述超遠心鏡頭下表面所在平面的垂直距離在70mm～130mm范圍之內(nèi)。

根據(jù)本公開的一實施方式，所述第一距離為所述超遠心鏡頭的視野半徑的0.5～2倍。

根據(jù)本公開的一實施方式，所述點光源和待測工件需成像側(cè)面位置的連線，與經(jīng)過所述點光源、且與所述超遠心鏡頭的中心線平行的直線之間的夾角在10度～30度范圍內(nèi)。

根據(jù)本公開的一實施方式，所述夾角在14度～24度范圍之內(nèi)。

根據(jù)本公開的一實施方式，所述第一距離為所述待測工件需成像側(cè)面位置與所述中心線之間的距離的1.5～2.5倍。

根據(jù)本公開的一實施方式，所述點光源包括多個色塊；其中，各色塊的形狀相對所述點光源的幾何中心為非對稱的。

根據(jù)本公開的一實施方式，所述點光源包括兩個色塊，所述兩個色塊并列排布。

根據(jù)本公開的一實施方式，所述點光源包括三個色塊，所述三個色塊呈Y形排布。

根據(jù)本公開的一方面，提供一種工件缺陷檢測系統(tǒng)，包括：根據(jù)上述任意一種工件側(cè)面成像系統(tǒng)。

根據(jù)本公開的一方面，提供一種用于工件側(cè)面成像的方法，應用于包含超遠心鏡頭的工件側(cè)面成像系統(tǒng)中，包括：獲取待測工件需成像側(cè)面位置；以及根據(jù)所述待測工件需成像側(cè)面位置與所述超遠心鏡頭的位置，確定所述工件側(cè)面成像系統(tǒng)中點光源的位置；其中，所述超遠心鏡頭位于所述工件側(cè)面成像系統(tǒng)中承載所述待測工件的載物臺的一側(cè)，所述點光源位于所述載物臺的另一側(cè)，且與所述超遠心鏡頭中心線的第一距離在5mm～100mm范圍內(nèi)。