[發明專利]工件側面成像系統、缺陷檢測系統及工件側面成像方法

有效

• 申請號: 201911005263.0
• 申請日: 2019-10-22
• 公開（公告）號: CN110672624B
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發明（設計）人: 崔忠偉
• 申請（專利權）人: 北京領邦智能裝備股份公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 彭星

1.一種工件側面成像系統，其特征在于，包括：

載物臺；

超遠心鏡頭，位于所述載物臺的一側；

點光源，位于所述載物臺的另一側，且與所述超遠心鏡頭中心線的第一距離在5mm～100mm范圍內。

2.根據權利要求1所述的工件側面成像系統，其特征在于，所述點光源和所述超遠心鏡頭下表面所在平面的第一垂直距離，與所述超遠心鏡頭的負心和所述超遠心鏡頭下表面所在平面的第二垂直距離之差的絕對值，小于所述第二垂直距離的30％，所述負心為所述超遠心鏡頭的聚焦點。

3.根據權利要求1所述的工件側面成像系統，其特征在于，所述點光源和所述超遠心鏡頭下表面所在平面的第一垂直距離，與所述超遠心鏡頭的負心和所述超遠心鏡頭下表面所在平面的第二垂直距離之差的絕對值，小于30mm，所述負心為所述超遠心鏡頭的聚焦點。

4.根據權利要求1所述的工件側面成像系統，其特征在于，所述點光源和所述超遠心鏡頭下表面所在平面的垂直距離在70mm～130mm范圍之內。

5.根據權利要求1所述的工件側面成像系統，其特征在于，所述第一距離為所述超遠心鏡頭的視野半徑的0.5～2倍。

6.根據權利要求1所述的工件側面成像系統，其特征在于，所述點光源和待測工件需成像側面位置的連線，與經過所述點光源、且與所述超遠心鏡頭的中心線平行的直線之間的夾角在10度～30度范圍內。

7.根據權利要求6所述的工件側面成像系統，其特征在于，所述夾角在14度～24度范圍之內。

8.根據權利要求1所述的工件側面成像系統，其特征在于，所述第一距離為待測工件需成像側面位置與所述中心線之間的距離的1.5～2.5倍。

9.根據權利要求1-8任一項所述的工件側面成像系統，其特征在于，所述點光源包括多個色塊；其中，各色塊的形狀相對所述點光源的幾何中心為非對稱的。

10.根據權利要求9所述的工件側面成像系統，其特征在于，所述點光源包括兩個色塊，所述兩個色塊并列排布。

11.根據權利要求9所述的工件側面成像系統，其特征在于，所述點光源包括三個色塊，所述三個色塊呈Y形排布。

12.一種工件缺陷檢測系統，其特征在于，包括：根據權利要求1-11任一項所述的工件側面成像系統。

13.一種用于工件側面成像的方法，應用于包含超遠心鏡頭的工件側面成像系統中，其特征在于，包括：

獲取待測工件需成像側面位置；以及

根據所述待測工件需成像側面位置與所述超遠心鏡頭的位置，確定所述工件側面成像系統中點光源的位置；

其中，所述超遠心鏡頭位于所述工件側面成像系統中承載所述待測工件的載物臺的一側，所述點光源位于所述載物臺的另一側，且與所述超遠心鏡頭中心線的第一距離在5mm～100mm范圍內。

14.根據權利要求13所述的方法，其特征在于，還包括：

將所述點光源移動至確定出的所述點光源的位置。

15.根據權利要求13所述的方法，其特征在于，所述點光源為點光源陣列，所述方法還包括：

點亮所述點光源陣列中對應所述點光源的位置的點光源。

16.根據權利要求13～15任一項所述的方法，其特征在于，根據所述待測工件需成像側面位置與所述超遠心鏡頭的位置，確定所述工件側面成像系統中點光源的位置包括：

確定所述點光源的位置和待測工件需成像側面位置的連線，與經過所述點光源、且與所述超遠心鏡頭的中心線平行的直線之間的夾角在10度～30度范圍內。