[發(fā)明專利]溫度補(bǔ)償型聲表面波器件的溫補(bǔ)層上表層表面波抑制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911001605.1
• 申請(qǐng)日: 2019-10-21
• 公開（公告）號(hào): CN110708035B
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董加和;冷俊林;陸川
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所
• 主分類號(hào): H03H9/02
• 分類號(hào): H03H9/02;H03H3/10
• 代理公司: 重慶博凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 50212
• 代理人: 孫根

本發(fā)明公開了一種溫度補(bǔ)償型聲表面波器件的溫補(bǔ)層上表層表面波抑制方法，包括如下步驟：1）清洗晶片；2）在晶片的器件面上制作聲表面波器件的金屬芯片；3）在金屬芯片的金屬面制作溫度補(bǔ)償層；4）在溫度補(bǔ)償層上開槽并涂覆吸聲膠。本發(fā)明能夠有效地阻斷溫度補(bǔ)償層上表面上表面波的傳播路徑，并吸收掉溫度補(bǔ)償層上表面上表面波，提高TCSAW的電性能指標(biāo)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及聲表面波器件加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種溫度補(bǔ)償型聲表面波（TCSAW）器件的溫補(bǔ)層上表層表面波抑制方法。

背景技術(shù)

聲表面波（SAW）器件大量應(yīng)用于各類通信中，在未來的通信應(yīng)用中，為適應(yīng)各種更加嚴(yán)酷的外界環(huán)境，迫切需要提高聲表面波器件的工作穩(wěn)定性。溫度是影響聲表面波器件工作穩(wěn)定性的重要參數(shù)之一。在SAW器件的制作過程中，器件一旦封裝完畢，其狀態(tài)就確定了。但隨著外界溫度的變化，聲表面波器件的許多參數(shù)，如叉指和基片的厚度、寬度以及彈性系數(shù)等都將隨之發(fā)生變化，SAW的波速、頻率也會(huì)因此而發(fā)生漂移；同時(shí)溫度的變化還會(huì)產(chǎn)生熱應(yīng)力，惡化器件的工作性能。比如，在128?YX鈮酸鋰上制作的SAW器件(TCF=-75ppm/℃)，在1GHz的中心頻率下，工作溫度從-55℃變化到85℃時(shí)，頻率有10.5MHz的漂移。因此在溫度變化過程中，如何保證SAW器件具有良好的穩(wěn)定性，成為提高其工作性能的主要問題，許多專家學(xué)者對(duì)此進(jìn)行了各種探索和研究。

為了滿足更好的溫度穩(wěn)定性，需要在常規(guī)的SAW器件表面制作厚SiO₂等材料的溫度補(bǔ)償層。由于這層溫度補(bǔ)償層形成了和金屬叉指結(jié)合的下表面和自由的上表面，聲表面波器件工作的時(shí)候?qū)?huì)有波在這兩個(gè)表面同時(shí)傳播，最終性能疊加進(jìn)入器件電性能中，自由上表面的聲表波疊加進(jìn)入器件電性能后會(huì)惡化器件電性能指標(biāo)；因此，需要對(duì)自由的上表面聲波進(jìn)行抑制。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，本發(fā)明的目的在于解決現(xiàn)有TCSAW器件中自由上表面的聲表波疊加進(jìn)入器件電性能后會(huì)惡化器件電性能指標(biāo)問題，提供一種溫度補(bǔ)償型聲表面波器件的溫補(bǔ)層上表層表面波抑制方法，能夠有效抑制TCSAW器件的溫補(bǔ)層上表層表面的聲波，從而提高TCSAW的電性能指標(biāo)。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是這樣的：一種溫度補(bǔ)償型聲表面波器件的溫補(bǔ)層上表層表面波抑制方法，其特征在于：包括如下步驟：

1）清洗晶片；

2）在晶片的器件面上制作聲表面波器件的金屬芯片；

3）在金屬芯片的金屬面制作溫度補(bǔ)償層；

4）在溫度補(bǔ)償層上開槽并涂覆吸聲膠：其中，槽寬為與空氣接觸的溫度補(bǔ)償層上表面聲波傳播波長的0.1～50倍，深度為與空氣接觸的溫度補(bǔ)償層上表面聲波傳播波長的0.1倍～整個(gè)溫度補(bǔ)償層厚度；該槽呈線形槽，其長度方向?yàn)榇怪睖囟妊a(bǔ)償層上表面?zhèn)鞑ゲǖ姆较?；吸聲膠的厚度為10nm～100nm。

作為優(yōu)選，步驟4）中，

a）先采用絲網(wǎng)涂膠或者點(diǎn)膠機(jī)涂膠或者噴膠機(jī)噴膠方式在聲通道表面涂覆10nm～100nm厚度的吸聲膠；所述吸聲膠將溫度補(bǔ)償層全面覆蓋或間斷分布于溫度補(bǔ)償層上，其中，間斷分布中吸聲膠長度方向?yàn)榇怪庇跍囟妊a(bǔ)償層自由表面上聲波的傳播方向，間距為與空氣接觸的溫度補(bǔ)償層上表面聲波傳播波長的0.1～50倍，每一段寬度為與空氣接觸的溫度補(bǔ)償層上表面聲波傳播波長的0.1～50倍；

b）再采用劃片機(jī)或者干法刻蝕方式在聲通道表面的溫度補(bǔ)償層表面上開槽，其中，所開槽為單槽或密集槽，當(dāng)開槽為單槽時(shí)，槽的位置處于聲表面波器件的輸入和輸出端之間，當(dāng)開槽為密集槽時(shí)，密集度為上表面?zhèn)鞑ゲㄩL的0.1～100倍。

作為優(yōu)選，步驟4）中，