[發明專利]一種干燥裝置

有效

• 申請號: 201910984956.2
• 申請日: 2019-10-16
• 公開（公告）號: CN110849082B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 宋媛媛
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B25/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 李漢亮

本揭示提供一種干燥裝置。所述干燥裝置包括容納腔以及位于所述容納腔內的底盤、冷板以及抽氣閥門。所述冷板設置于所述底盤上方且與所述底盤相對設置。本揭示通過在所述冷板上涂布親油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料環繞所述親油性材料，且所述底盤在所述冷板上的投影區域對應所述親油性材料，避免冷凝氣凝結后滴落污染基板；且互補邊緣蒸發快的缺點，保證溶劑均勻蒸發。

技術領域

本揭示涉及顯示制造技術領域，尤其涉及一種干燥裝置。

背景技術

目前制造OLED面板主要有兩種方式，一種是蒸鍍技術，另一種是噴墨打印。最后經過干燥的工序去除溶劑之后，就可以完成OLED材料的印刷。

為了保證材料的膜層均一性，需要進行預干燥和后干燥的等多步干燥過程。考慮到膜層的鋪展均勻性，往往采用真空式的冷凝干燥模式。然而在這種模式中，冷凝器上方會存在溶劑揮發凝結堆積的問題。墨滴積累后會滴落至基板表面，影響材料的器件性能，同時也會出現邊緣干燥快和內部干燥慢的干燥速率不同的現象，影響材料的膜層均一性的問題。故，有必要改善這一缺陷。

發明內容

本揭示實施例提供一種干燥裝置，用于解決現有技術的干燥裝置，由于溶劑揮發后會在冷凝器上方匯聚形成液滴，液滴積累后會滴落至基板表面，導致基板被污染，影響器件性能，以及現有技術的干燥裝置的干燥速率不同，邊緣干燥快、內部干燥慢，影響材料的膜層均一性的技術問題。

本揭示實施例提供一種干燥裝置，包括容納腔、以及位于所述容納腔內的底盤、冷板以及抽氣閥門。所述底盤用于盛放基板。所述冷板設置于所述底盤上方且與所述底盤相對設置，所述冷板的面積大于所述底盤的面積。所述抽氣閥門設置于所述底盤周圍，用于排出所述容納腔內部的氣體。其中，所述冷板上涂有親油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料環繞所述親油性材料，且所述底盤在所述冷板上的投影區域對應所述親油性材料。

進一步的，所述冷板為弧形，相對于所述底盤，所述弧形中央高、邊緣低。

進一步的，所述弧形的弧度范圍為0.01弧度至0.2弧度。

進一步的，所述親油性材料為含有酯基、醚、酰胺基團的高分子材料，或者為聚硅氧烷。

進一步的，所述疏油性材料為含有羧基、磺酸基、磷酸基基團的高分子材料。

進一步的，所述底盤上設置有至少三個支撐銷，用于支撐所述基板。

進一步的，所述支撐銷等間距分布。

進一步的，所述底盤為四邊形，所述抽氣閥門的數量至少為4個，分別對應所述底盤的四邊設置。

進一步的，所述抽氣閥門等間距分布。

進一步的，所述抽氣閥門的閥門孔直徑范圍為10毫米至100毫米。

有益效果:本揭示實施例提供的一種干燥裝置，通過在冷板上涂布親油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料環繞所述親油性材料，一方面避免了冷凝氣在冷板中間區域凝結后滴落污染基板；另一方面使氣體在邊緣分布，飽和蒸汽壓變大，互補邊緣蒸發快的缺點，保證溶劑均勻蒸發；通過在底盤的周圍設置抽氣閥門，即采用四周抽氣的方式使溶劑從邊緣流走，可以避免污染基板。

附圖說明

為了更清楚地說明本揭示實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本揭示的一些實施例，對于本領域技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本揭示實施例提供的干燥裝置側視示意圖。

圖2是本揭示實施例提供的冷板下表面示意圖。

圖3是本揭示實施例提供的干燥裝置的下腔體俯視示意圖。