[發明專利]一種干燥裝置

有效

• 申請號: 201910984956.2
• 申請日: 2019-10-16
• 公開（公告）號: CN110849082B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 宋媛媛
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B25/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 李漢亮

1.一種干燥裝置，其特征在于，包括容納腔、以及位于所述容納腔內的：

底盤，所述底盤用于盛放基板；

冷板，所述冷板設置于所述底盤上方且與所述底盤相對設置，所述冷板的面積大于所述底盤的面積；

抽氣閥門，所述抽氣閥門設置于所述底盤周圍，用于排出所述容納腔內部的氣體；

其中，所述冷板的底面上涂有親油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料環繞所述親油性材料，且所述底盤在所述冷板上的投影區域對應所述親油性材料。

2.如權利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述冷板為弧形，相對于所述底盤，所述弧形中央高、邊緣低。

3.如權利要求2所述的干燥裝置，其特征在于，所述弧形的弧度范圍為0.01弧度至0.2弧度。

4.如權利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述親油性材料為含有酯基、醚、酰胺基團的高分子材料，或者為聚硅氧烷。

5.如權利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述疏油性材料為含有羧基、磺酸基、磷酸基基團的高分子材料。

6.如權利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述底盤上設置有至少三個支撐銷，用于支撐所述基板。

7.如權利要求6所述的干燥裝置，其特征在于，所述支撐銷等間距分布。

8.如權利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述底盤為四邊形，所述抽氣閥門的數量至少為4個，分別對應所述底盤的四邊設置。

9.如權利要求8所述的干燥裝置，其特征在于，所述抽氣閥門等間距分布。

10.如權利要求8所述的干燥裝置，其特征在于，所述抽氣閥門的閥門孔直徑范圍為10毫米至100毫米。