[發(fā)明專利]蒸鍍掩模的拉伸方法帶框架的蒸鍍掩模的制造方法有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法及拉伸裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910982133.6
• 申請(qǐng)日: 2015-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN110724904B
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小幡勝也;岡本英介;本間良幸;武田利彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大日本印刷株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 謝辰

1.一種蒸鍍掩模的拉伸方法，其特征在于，包含：

拉伸輔助部件固定工序，在所述蒸鍍掩模的僅一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上；

第一拉伸工序，通過對(duì)固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件上的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸；

所述拉伸輔助部件能夠在所述蒸鍍掩模的一面的任意的位置固定在所述蒸鍍掩模上，并且能夠?qū)⑺稣翦冄谀Ｏ蛉我夥较蚶臁?/p>

2.如權(quán)利要求l所述的蒸鍍掩模的拉伸方法，其特征在于，

還包含在所述第一拉伸工序之前，將所述蒸鍍掩模向第一方向拉伸的第二拉伸工序，

在所述第一拉伸工序中，通過拉伸固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件，將固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模向與所述第一方向不同的第二方向拉伸。

3.一種帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于，包括：

準(zhǔn)備工序，準(zhǔn)備蒸鍍掩模；

拉伸輔助部件固定工序，在所述蒸鍍掩模的僅一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上；

第一拉伸工序，通過對(duì)固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件上的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸；

框架固定工序，將在所述第一拉伸工序中被拉伸的狀態(tài)的所述蒸鍍掩模固定在形成有貫通孔的框架上；

所述拉伸輔助部件能夠在所述蒸鍍掩模的一面的任意的位置固定在所述蒸鍍掩模上，并且能夠?qū)⑺稣翦冄谀Ｏ蛉我夥较蚶臁?/p>

4.如權(quán)利要求3所述的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于，

還包含在所述第一拉伸工序之前，將所述蒸鍍掩模向第一方向拉伸的第二拉伸工序，

在所述第一拉伸工序中，通過拉伸固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件，將固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模向與所述第一方向不同的第二方向拉伸。

5.如權(quán)利要求3所述的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于，

所述帶框架的蒸鍍掩模為在所述框架上排列固定多個(gè)所述蒸鍍掩模而構(gòu)成的帶框架的蒸鍍掩模，

在該帶框架的蒸鍍掩模的制造階段，所述多個(gè)蒸鍍掩模中的至少一個(gè)蒸鍍掩模經(jīng)由所述拉伸輔助部件固定工序、所述第一拉伸工序、所述框架固定工序而被固定在所述框架上，

在所述第一拉伸工序中，通過對(duì)固定在所述一個(gè)蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，將固定在該拉伸輔助部件的一個(gè)蒸鍍掩模向與該一個(gè)蒸鍍掩模相鄰的蒸鍍掩模的方向拉伸。

6.如權(quán)利要求5所述的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于，

還包含在進(jìn)行所述第一拉伸工序之前，將所述一個(gè)蒸鍍掩模向與所述相鄰的蒸鍍掩模的方向不同的方向拉伸的第二拉伸工序。

7.一種有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法，其特征在于，

包含使用在框架上固定有蒸鍍掩模的帶框架的蒸鍍掩模而在蒸鍍對(duì)象物形成蒸鍍圖案的工序，

所述帶框架的蒸鍍掩膜是通過包括拉伸輔助部件固定工序、第一拉伸工序、框架固定工序的工序而被制造的，

所述拉伸輔助部件固定工序在所述蒸鍍掩模的僅一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上，

所述第一拉伸工序通過對(duì)固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對(duì)固定在該拉伸輔助部件的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸，

所述框架固定工序?qū)⒃谒龅谝焕旃ば蛑斜焕斓臓顟B(tài)的所述蒸鍍掩模固定在形成有貫通孔的框架上，

所述拉伸輔助部件能夠在所述蒸鍍掩模的一面的任意的位置固定在所述蒸鍍掩模上，并且能夠?qū)⑺稣翦冄谀Ｏ蛉我夥较蚶臁?/p>

8.一種拉伸裝置，用于對(duì)蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸，該拉伸裝置的特征在于，

具備拉伸輔助部件、和用于拉伸該拉伸輔助部件的驅(qū)動(dòng)單元，

所述拉伸輔助部件在與所述蒸鍍掩模的僅一面重合時(shí)，可在與該蒸鍍掩模的一面重合的部分的至少一部分固定，

所述拉伸輔助部件能夠在所述蒸鍍掩模的一面的任意的位置固定在所述蒸鍍掩模上，并且能夠?qū)⑺稣翦冄谀Ｏ蛉我夥较蚶臁?/p>