[發(fā)明專利]蒸鍍掩模的拉伸方法帶框架的蒸鍍掩模的制造方法有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法及拉伸裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910982133.6
• 申請日: 2015-03-30
• 公開（公告）號: CN110724904B
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小幡勝也;岡本英介;本間良幸;武田利彥
• 申請（專利權(quán)）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 謝辰

本發(fā)明提供能夠以簡單的方法將蒸鍍掩模拉伸的蒸鍍掩模的拉伸方法、使用該拉伸方法的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法、以及能夠以高精度制造有機(jī)半導(dǎo)體元件的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法及用于所述方法的拉伸裝置。在蒸鍍掩模(100)的拉伸方法中，在蒸鍍掩模(100)的一面上重疊拉伸輔助部件(50)，在蒸鍍掩模(100)的一面和拉伸輔助部件(50)重合的部分的至少一部，將拉伸輔助部件固定在蒸鍍掩模上，通過拉伸被固定在蒸鍍掩模(100)上的拉伸輔助部件(50)對固定于該拉伸輔助部件(50)上的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸，由此解決上述課題。

本申請是申請日為2015年3月30日、申請?zhí)枮?01580010163.0、發(fā)明名稱為“蒸鍍掩模的拉伸方法、帶框架的蒸鍍掩模的制造方法、有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法及拉伸裝置”的發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及蒸鍍掩模的拉伸方法、帶框架的蒸鍍掩模的制造方法、有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法及拉伸裝置。

背景技術(shù)

隨著使用有機(jī)EL元件的產(chǎn)品的大型化或基板尺寸的大型化，對蒸鍍掩模也不斷增加大型化的需求。而且，用于制造由金屬構(gòu)成的蒸鍍掩模的金屬板也大型化。但是，在現(xiàn)有的金屬加工技術(shù)中，難以在大型的金屬板高精度地形成開口部，不能夠應(yīng)對開口部的高精細(xì)化。另外，在形成為僅由金屬構(gòu)成的蒸鍍掩模時(shí)，隨著大型化，其質(zhì)量也增大，包含框架在內(nèi)的總質(zhì)量也增大，故而會給操作帶來阻礙。

在這樣的狀況下，在專利文獻(xiàn)l中提出有如下的蒸鍍掩模，該蒸鍍掩模將設(shè)有縫隙的金屬掩模、和位于金屬掩模的表面且將與要蒸鍍制作的圖案對應(yīng)的開口部縱橫地配置多列的樹脂掩模層積而構(gòu)成。根據(jù)在專利文獻(xiàn)1中提出的蒸鍍掩模，即使在大型化的情況下，也能夠滿足高精細(xì)化和輕量化二者，另外，能夠進(jìn)行高精細(xì)的蒸鍍圖案的形成。

專利文獻(xiàn)1：(日本)專利第5288072號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要課題在于提供能夠由簡便的方法拉伸上述專利文獻(xiàn)1所述的蒸鍍掩模的蒸鍍掩模的拉伸方法、使用該拉伸方法的帶框架的蒸鍍掩模的制造方法、以及使用有蒸鍍掩模的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法、用于上述方法的拉伸裝置。

一種蒸鍍掩模的拉伸方法，其特征在于，包含：

拉伸輔助部件固定工序，在所述蒸鍍掩模的僅一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上；

第一拉伸工序，通過對固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對固定在該拉伸輔助部件上的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸。

一種帶框架的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于，包括：

準(zhǔn)備工序，準(zhǔn)備蒸鍍掩模；

拉伸輔助部件固定工序，在所述蒸鍍掩模的僅一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上；

第一拉伸工序，通過對固定在所述蒸鍍掩模上的所述拉伸輔助部件進(jìn)行拉伸，對固定在該拉伸輔助部件上的蒸鍍掩模進(jìn)行拉伸；

框架固定工序，將在所述第一拉伸工序中被拉伸的狀態(tài)的所述蒸鍍掩模固定在形成有貫通孔的框架上。

一種有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法，其特征在于，

包含使用在框架上固定有蒸鍍掩模的帶框架的蒸鍍掩模而在蒸鍍對象物形成蒸鍍圖案的工序，

所述帶框架的蒸鍍掩膜是通過包括拉伸輔助部件固定工序、第一拉伸工序、框架固定工序的工序而被制造的，

所述拉伸輔助部件固定工序在所述蒸鍍掩模的僅一面上重疊拉伸輔助部件，且在所述蒸鍍掩模的一面和所述拉伸輔助部件重合的部分的至少一部分，將所述拉伸輔助部件固定在所述蒸鍍掩模上，