[發(fā)明專利]MEMS振鏡的反饋信號(hào)的采集方法、驅(qū)動(dòng)方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910979247.5
• 申請(qǐng)日: 2019-10-15
• 公開（公告）號(hào): CN110794572B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張來風(fēng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 歌爾光學(xué)科技有限公司
• 主分類號(hào): G02B26/08
• 分類號(hào): G02B26/08;G05B19/042;H03M1/12;G01R23/16
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 吳秀娥

本發(fā)明公開了一種MEMS振鏡的反饋信號(hào)的采集方法、驅(qū)動(dòng)方法及系統(tǒng)，該采集方法包括：對(duì)數(shù)模轉(zhuǎn)換裝置的轉(zhuǎn)換次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)；數(shù)模轉(zhuǎn)換裝置用于將數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)轉(zhuǎn)換為模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)以驅(qū)動(dòng)MEMS振鏡；當(dāng)計(jì)數(shù)值達(dá)到預(yù)設(shè)的第一數(shù)值時(shí)，控制模數(shù)轉(zhuǎn)換裝置啟動(dòng)本周期的采集工作并且將計(jì)數(shù)值清零重新開始計(jì)數(shù)；模數(shù)轉(zhuǎn)換裝置用于采集MEMS振鏡輸出的反饋信號(hào)；其中，第一數(shù)值是根據(jù)一個(gè)周期的模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)的數(shù)據(jù)長(zhǎng)度確定的。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微振鏡技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種MEMS振鏡的反饋信號(hào)的采集方法、一種MEMS振鏡的驅(qū)動(dòng)方法、及一種MEMS振鏡的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在MEMS振鏡的控制領(lǐng)域中，通過驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制MEMS振鏡的運(yùn)行。在運(yùn)行過程中實(shí)時(shí)采集MEMS振鏡的反饋信號(hào)，反饋信號(hào)反應(yīng)了在當(dāng)前驅(qū)動(dòng)信號(hào)下MEMS振鏡的實(shí)際運(yùn)行情況。因此，可以采集MEMS振鏡輸出的反饋信號(hào)，對(duì)反饋信號(hào)進(jìn)行諧波分析，基于分析結(jié)果對(duì)輸入MEMS振鏡的驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行調(diào)整，以達(dá)到精確控制MEMS振鏡運(yùn)行的目的。

反饋信號(hào)的同步是指每個(gè)周期采集反饋信號(hào)時(shí)的采集開始點(diǎn)相同。反饋信號(hào)的同步性對(duì)諧波分析中的幅值和相位具有較大影響，為了能夠得到準(zhǔn)確的分析結(jié)果，有必要提供一種同步采集MEMS振鏡的反饋信號(hào)的方案。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種新的微振鏡的技術(shù)方案。

根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種MEMS振鏡的反饋信號(hào)的采集方法，包括：

對(duì)數(shù)模轉(zhuǎn)換裝置的轉(zhuǎn)換次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)；所述數(shù)模轉(zhuǎn)換裝置用于將數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)轉(zhuǎn)換為模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)以驅(qū)動(dòng)所述MEMS振鏡；

當(dāng)計(jì)數(shù)值達(dá)到預(yù)設(shè)的第一數(shù)值時(shí)，控制模數(shù)轉(zhuǎn)換裝置啟動(dòng)本周期的采集工作并且將計(jì)數(shù)值清零重新開始計(jì)數(shù)；所述模數(shù)轉(zhuǎn)換裝置用于采集所述MEMS振鏡輸出的反饋信號(hào)；

其中，所述第一數(shù)值是根據(jù)一個(gè)周期的所述模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)的數(shù)據(jù)長(zhǎng)度確定的。

可選地或優(yōu)選地，還包括：

如果本周期內(nèi)的采集次數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)的第二數(shù)值，控制所述模數(shù)轉(zhuǎn)換裝置停止采集工作；其中，所述第二數(shù)值小于所述第一數(shù)值。

根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了一種MEMS振鏡的驅(qū)動(dòng)方法，包括如本發(fā)明第一方面提供的采集方法，還包括：

根據(jù)本周期采集到的反饋信號(hào)執(zhí)行本周期的驅(qū)動(dòng)信號(hào)調(diào)整工作。

可選地或優(yōu)選地，所述當(dāng)計(jì)數(shù)值達(dá)到預(yù)設(shè)的第一數(shù)值時(shí)，控制模數(shù)轉(zhuǎn)換裝置啟動(dòng)本周期的采集工作，包括：

當(dāng)計(jì)數(shù)值達(dá)到預(yù)設(shè)的第一數(shù)值時(shí)，如果上一周期的驅(qū)動(dòng)信號(hào)調(diào)整工作已完成，控制模數(shù)轉(zhuǎn)換裝置啟動(dòng)本周期的采集工作。

根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供了一種MEMS振鏡的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，包括數(shù)模轉(zhuǎn)換裝置、模數(shù)轉(zhuǎn)換裝置以及第一定時(shí)器；

所述數(shù)模轉(zhuǎn)換裝置用于將數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)轉(zhuǎn)換為模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)以驅(qū)動(dòng)所述MEMS振鏡；

所述模數(shù)轉(zhuǎn)換裝置用于采集所述MEMS振鏡輸出的反饋信號(hào)；

所述第一定時(shí)器，用于對(duì)所述數(shù)模轉(zhuǎn)換裝置的轉(zhuǎn)換次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，當(dāng)計(jì)數(shù)值達(dá)到預(yù)設(shè)的第一數(shù)值時(shí)，控制所述模數(shù)轉(zhuǎn)換裝置啟動(dòng)本周期的采集工作并且將計(jì)數(shù)值清零重新開始計(jì)數(shù)；

其中，所述第一數(shù)值是根據(jù)一個(gè)周期的所述模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)的數(shù)據(jù)長(zhǎng)度確定的。

可選地或優(yōu)選地，還包括第一時(shí)鐘源和第二定時(shí)器；

所述第一時(shí)鐘源，用于向第二定時(shí)器輸出第一時(shí)鐘信號(hào)；

所述第二定時(shí)器，用于利用第一時(shí)鐘信號(hào)生成第一觸發(fā)信號(hào)，將第一觸發(fā)信號(hào)分別輸出至所述數(shù)模轉(zhuǎn)換裝置和所述第一定時(shí)器；