[發明專利]MEMS振鏡的反饋信號的采集方法、驅動方法及系統

有效

• 申請號: 201910979247.5
• 申請日: 2019-10-15
• 公開（公告）號: CN110794572B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 張來風
• 申請（專利權）人: 歌爾光學科技有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G05B19/042;H03M1/12;G01R23/16
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 吳秀娥

1.一種MEMS振鏡的反饋信號的采集方法，應用于MEMS振鏡的驅動系統，所述MEMS振鏡的驅動系統包括第一定時器、第一時鐘源和第二定時器，所述方法包括：

對數模轉換裝置的轉換次數進行計數；所述數模轉換裝置用于將數字驅動信號轉換為模擬驅動信號以驅動所述MEMS振鏡；

當計數值達到預設的第一數值時，控制模數轉換裝置啟動本周期的采集工作并且將計數值清零重新開始計數；所述模數轉換裝置用于采集所述MEMS振鏡輸出的反饋信號；

其中，所述第一數值是根據一個周期的所述模擬驅動信號的數據長度確定的；

所述對數模轉換裝置的轉換次數進行計數，包括：

控制所述第一時鐘源向所述第二定時器輸出第一時鐘信號；

將所述第二定時器利用所述第一時鐘信號生成的第一觸發信號分別輸出至所述數模轉換裝置和所述第一定時器；

控制所述第一定時器通過對所述第一觸發信號進行計數實現對所述數模轉換裝置的轉換次數進行計數。

2.根據權利要求1所述的采集方法，還包括：

如果本周期內的采集次數達到預設的第二數值，控制所述模數轉換裝置停止采集工作；其中，所述第二數值小于所述第一數值。

3.一種MEMS振鏡的驅動方法，包括如權利要求1或2所述的采集方法，還包括：

根據本周期采集到的反饋信號執行本周期的驅動信號調整工作。

4.根據權利要求3所述的驅動方法，所述當計數值達到預設的第一數值時，控制模數轉換裝置啟動本周期的采集工作，包括：

當計數值達到預設的第一數值時，如果上一周期的驅動信號調整工作已完成，控制模數轉換裝置啟動本周期的采集工作。

5.一種MEMS振鏡的驅動系統，包括數模轉換裝置、模數轉換裝置以及第一定時器；

所述數模轉換裝置用于將數字驅動信號轉換為模擬驅動信號以驅動所述MEMS振鏡；

所述模數轉換裝置用于采集所述MEMS振鏡輸出的反饋信號；

所述第一定時器，用于對所述數模轉換裝置的轉換次數進行計數，當計數值達到預設的第一數值時，控制所述模數轉換裝置啟動本周期的采集工作并且將計數值清零重新開始計數；

其中，所述第一數值是根據一個周期的所述模擬驅動信號的數據長度確定的；

所述MEMS振鏡的驅動系統還包括：第一時鐘源和第二定時器；

所述第一時鐘源，用于向第二定時器輸出第一時鐘信號；

所述第二定時器，用于利用第一時鐘信號生成第一觸發信號，將第一觸發信號分別輸出至所述數模轉換裝置和所述第一定時器；

所述數模轉換裝置，用于在第一觸發信號的觸發下進行數模轉換；

所述第一定時器，用于通過對所述第一觸發信號進行計數實現對所述數模轉換裝置的轉換次數進行計數。

6.根據權利要求5所述的系統，還包括第二時鐘源和第三定時器；

所述第二時鐘源，用于向第三定時器輸出第二時鐘信號；

所述第三定時器，用于利用第二時鐘信號生成第二觸發信號，將第二觸發信號輸出至所述模數轉換裝置；

所述模數轉換裝置，用于在第二觸發信號的觸發下進行模數轉換；

所述當計數值達到預設的第一數值時，控制所述模數轉換裝置啟動本周期的采集工作，包括：

當計數值達到預設的第一數值時，生成第一使能信號；以及，

將第一使能信號發送至第三定時器的使能端，以控制第三定時器開始工作。

7.根據權利要求6所述的系統，所述模數轉換裝置和所述第三定時器的使能端連接；

所述模數轉換裝置，還用于在啟動本周期的采集工作后，如果本周期內的采集次數達到預設的第二數值，生成第二使能信號；以及，將第二使能信號發送至第三定時器的使能端，以控制第三定時器停止工作；其中，所述第二數值小于所述第一數值。

8.根據權利要求6所述的系統，還包括調節裝置，

所述調節裝置，用于根據所述模數轉換裝置本周期采集到的反饋信號執行本周期的驅動信號調整工作。

9.根據權利要求8所述的系統，所述當計數值達到預設的第一數值時，控制所述模數轉換裝置啟動本周期的采集工作，包括：

當計數值達到預設的第一數值時，向所述調節裝置查詢上一周期的驅動信號調整工作是否已經完成，如果已經完成，生成第一使能信號；以及，

將第一使能信號發送至第三定時器的使能端，以控制第三定時器開始工作。