[發(fā)明專(zhuān)利]連接結(jié)構(gòu)及其形成方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910962639.0 | 申請(qǐng)日： | 2019-10-10 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN111293090A | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-06-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 金鐘潤(rùn) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 三星電子株式會(huì)社 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L23/31 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L23/31;H01L23/485;H01L21/56;H01L21/60 |
| 代理公司： | 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 連接 結(jié)構(gòu) 及其 形成 方法 | ||
1.一種連接結(jié)構(gòu)，包括：
第一鈍化層，具有開(kāi)口；
第一導(dǎo)電圖案，穿透所述第一鈍化層并從所述第一鈍化層向上突出；
第二鈍化層，在所述第一鈍化層上并覆蓋所述第一導(dǎo)電圖案；
第二導(dǎo)電圖案，在所述第二鈍化層上并電連接到所述第一導(dǎo)電圖案；
第三鈍化層，在所述第二鈍化層上并覆蓋所述第二導(dǎo)電圖案；以及
外部端子，在所述開(kāi)口中并電連接到所述第一導(dǎo)電圖案，
其中，所述第一導(dǎo)電圖案比所述第二導(dǎo)電圖案厚。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接結(jié)構(gòu)，其中，所述第一導(dǎo)電圖案包括：
頭部部分，在所述第一鈍化層上水平延伸并與所述第二導(dǎo)電圖案連接；以及
尾部部分，豎直穿透所述第一鈍化層并與所述外部端子連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接結(jié)構(gòu)，其中，所述第二導(dǎo)電圖案包括：
再分布層部分，在所述第二鈍化層上水平延伸；以及
過(guò)孔部分，豎直穿透所述第二鈍化層并與所述第一導(dǎo)電圖案連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接結(jié)構(gòu)，其中，所述第二鈍化層是所述第一鈍化層至所述第三鈍化層之中最厚的鈍化層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接結(jié)構(gòu)，還包括：第三導(dǎo)電圖案，在所述第三鈍化層上并電連接到所述第二導(dǎo)電圖案。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接結(jié)構(gòu)，還包括：附加圖案，在所述第一鈍化層和所述第二鈍化層中至少之一上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的連接結(jié)構(gòu)，其中，所述第一導(dǎo)電圖案和所述第二導(dǎo)電圖案中至少之一被設(shè)置為多個(gè)，并且
其中，所述附加圖案形成在所述多個(gè)第一導(dǎo)電圖案之間或在所述多個(gè)第二導(dǎo)電圖案之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的連接結(jié)構(gòu)，其中，所述附加圖案是以下之一：
所述第一鈍化層和所述第二鈍化層中至少之一上電隔離的虛設(shè)圖案；以及
用于電力輸送或用于電接地的導(dǎo)電圖案。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接結(jié)構(gòu)，還包括所述第一導(dǎo)電圖案的底表面上的第一籽晶圖案，所述第一導(dǎo)電圖案的底表面面對(duì)所述外部端子。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的連接結(jié)構(gòu)，其中，所述第一籽晶圖案不設(shè)置在所述第一導(dǎo)電圖案與所述外部端子之間的界面處。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接結(jié)構(gòu)，還包括所述第二導(dǎo)電圖案的底表面上的第二籽晶圖案，所述第二導(dǎo)電圖案的底表面面對(duì)所述第一導(dǎo)電圖案。
12.一種連接結(jié)構(gòu)，包括：
承載基板；
第一鈍化層、第二鈍化層和第三鈍化層，順序設(shè)置在所述承載基板上；
第一導(dǎo)電圖案，穿透所述第一鈍化層并從所述第一鈍化層向上突出；以及
第二導(dǎo)電圖案，在所述第二鈍化層上并電連接到所述第一導(dǎo)電圖案，
其中，所述第一導(dǎo)電圖案比所述第二導(dǎo)電圖案厚。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的連接結(jié)構(gòu)，其中，所述第一導(dǎo)電圖案具有T形狀，包括：
頭部部分，在所述第一鈍化層上水平延伸；以及
尾部部分，豎直穿透所述第一鈍化層。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的連接結(jié)構(gòu)，其中，所述第二導(dǎo)電圖案是再分布層，所述再分布層包括：
線部分，在所述第二鈍化層上水平延伸；以及
過(guò)孔部分，豎直穿透所述第二鈍化層。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的連接結(jié)構(gòu)，還包括：第三導(dǎo)電圖案，在所述第三鈍化層上并電連接到所述第二導(dǎo)電圖案。
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