[發明專利]一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤

在審

• 申請號: 201910961545.1
• 申請日: 2019-10-11
• 公開（公告）號: CN110625508A
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發明（設計）人: 王永成
• 申請（專利權）人: 上海致領半導體科技發展有限公司
• 主分類號: B24B29/00
• 分類號: B24B29/00;B24B41/04;B24B55/03
• 代理公司: 31332 上?；ロ槍＠硎聞账?普通合伙)
• 代理人: 韋志剛

本發明公開了一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤，其結構包括安裝環、連接管、通口、連接罩、壓力盤、密封連接片、拋光盤、第一陶瓷盤、第二陶瓷盤、水管、第一水路和第二水路，該可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤通過選擇在不是實心的金屬盤內部設置兩個水路，兩個水路可以實現盤邊凹或變凸，同時通過兩個水路的溫度差，實現形變的控制，解決了現有的壓力盤往往為實心金屬盤，下面為陶瓷盤，陶瓷盤為晶圓，同時加工時間較長，加工過程中容易發熱膨脹和受到壓力，導致發生變形的問題，達到防止變形的效果。

技術領域

本發明涉及拋光機技術領域，具體涉及一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤。

背景技術

拋光是指利用機械、化學或電化學的作用，使工件表面粗糙度降低，以獲得光亮、平整表面的加工方法，是利用拋光工具和磨料顆?；蚱渌麙伖饨橘|對工件表面進行的修飾加工，拋光不能提高工件的尺寸精度或幾何形狀精度，而是以得到光滑表面或鏡面光澤為目的，有時也用以消除光澤(消光)，通常以拋光輪作為拋光工具，拋光輪一般用多層帆布、毛氈或皮革疊制而成，兩側用金屬圓板夾緊，其輪緣涂敷由微粉磨料和油脂等均勻混合而成的拋光劑，需要對進行拋光時需要使用拋光機，壓力盤是拋光機內部不可缺少的部件。

當加工時，現有的壓力盤往往為實心金屬盤，下面為陶瓷盤，陶瓷盤粘貼晶圓，同時加工時間較長，加工過程中容易發熱膨脹和受到壓力，導致發生變形。

發明內容

(一)要解決的技術問題

為了克服現有技術不足，現提出一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤，解決了現有的壓力盤往往為實心金屬盤，下面為陶瓷盤，陶瓷盤為晶圓，同時加工時間較長，加工過程中容易發熱膨脹和受到壓力，導致發生變形的問題，達到防止變形的效果。

(二)技術方案

本發明通過如下技術方案實現：本發明提出了一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤，包括安裝環、密封連接片和水管，所述安裝環緊密固定在連接管上端，并且連接管內側開設有通口，所述連接管底部與連接罩進行固定，所述連接罩底部與壓力盤進行連接，所述密封連接片上下兩端分別與壓力盤和拋光盤緊密粘附，所述拋光盤底部分別與第一陶瓷盤和第二陶瓷盤進行固定，所述水管豎直伸入通口內側，并且水管底部與第一水路和第二水路進行連接，所述第一水路和第二水路緊固在壓力盤中部。

進一步的，所述安裝環外徑與連接管相同，并且安裝環和連接管相互平行安裝。

進一步的，所述密封連接片厚度為3mm，并且密封連接片外徑是壓力盤和拋光盤外徑的百分之九十。

進一步的，所述壓力盤和拋光盤外徑相同，并且壓力盤和拋光盤厚度相同。

進一步的，所述第一陶瓷盤和第二陶瓷盤大小相同，并且第一陶瓷盤和第二陶瓷盤相互平行安裝。

進一步的，所述水管外徑是通口內徑的三分之二。

進一步的，所述第一水路和第二水路相互交錯安裝，并且第一水路和第二水路分為上下兩層，上水路冷水下水路為熱水，上水路連接處為凸反之為凹。

(三)有益效果

本發明相對于現有技術，具有以下有益效果：

通過選擇在不是實心的金屬盤內部設置兩個水路，兩個水路可以實現盤邊凹或變凸，同時通過兩個水路的溫度差，實現形變的控制，解決了現有的壓力盤往往為實心金屬盤，下面為陶瓷盤，陶瓷盤為晶圓，同時加工時間較長，加工過程中容易發熱膨脹和受到壓力，導致發生變形的問題，達到防止變形的效果。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本發明的其它特征、目的和優點將會變得更明顯：

圖1為本發明的結構示意圖；