[發明專利]一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤

在審

• 申請號: 201910961545.1
• 申請日: 2019-10-11
• 公開（公告）號: CN110625508A
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發明（設計）人: 王永成
• 申請（專利權）人: 上海致領半導體科技發展有限公司
• 主分類號: B24B29/00
• 分類號: B24B29/00;B24B41/04;B24B55/03
• 代理公司: 31332 上?；ロ槍＠硎聞账?普通合伙)
• 代理人: 韋志剛

1.一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤，其特征在于：包括安裝環(1)、密封連接片(6)和水管(10)，所述安裝環(1)緊密固定在連接管(2)上端，并且連接管(2)內側開設有通口(3)，所述連接管(2)底部與連接罩(4)進行固定，所述連接罩(4)底部與壓力盤(5)進行連接，所述密封連接片(6)上下兩端分別與壓力盤(5)和拋光盤(7)緊密粘附，所述拋光盤(7)底部分別與第一陶瓷盤(8)和第二陶瓷盤(9)進行固定，所述水管(10)豎直伸入通口(3)內側，并且水管(10)底部與第一水路(11)和第二水路(12)進行連接，所述第一水路(11)和第二水路(12)緊固在壓力盤(5)中部。

2.根據權利要求1所述的一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤，其特征在于：所述安裝環(1)外徑與連接管(2)相同，并且安裝環(1)和連接管(2)相互平行安裝。

3.根據權利要求1所述的一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤，其特征在于：所述密封連接片(6)厚度為3mm，并且密封連接片(6)外徑是壓力盤(5)和拋光盤(7)外徑的百分之九十。

4.根據權利要求1所述的一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤，其特征在于：所述壓力盤(5)和拋光盤(7)外徑相同，并且壓力盤(5)和拋光盤(7)厚度相同。

5.根據權利要求1所述的一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤，其特征在于：所述第一陶瓷盤(8)和第二陶瓷盤(9)大小相同，并且第一陶瓷盤(8)和第二陶瓷盤(9)相互平行安裝。

6.根據權利要求1所述的一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤，其特征在于：所述水管(10)外徑是通口(3)內徑的三分之二。

7.根據權利要求1所述的一種可控制陶瓷盤熱變形的拋光機壓力盤，其特征在于：所述第一水路(11)和第二水路(12)相互交錯安裝，并且第一水路(11)和第二水路(12)分為上下兩層，上水路冷水下水路為熱水，上水路連接處為凸反之為凹。