[發(fā)明專利]中間連接部件和測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910957982.6
• 申請(qǐng)日: 2019-10-10
• 公開（公告）號(hào): CN111060778B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 望月純;林博昭;鈴木貫二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R31/01
• 分類號(hào): G01R31/01;G01R31/26;G01R31/28;G01R1/04
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;徐飛躍

1.一種中間連接部件，其設(shè)置在具有多個(gè)第一端子的第一部件與具有多個(gè)第二端子的第二部件之間，用于將所述第一端子與所述第二端子電連接，所述中間連接部件的特征在于，包括：

組合件，其具有用于將所述第一端子與所述第二端子電連接的連接部件；

框部件，其具有用于插嵌所述組合件的插嵌孔；和

與所述連接部件電連接的電子部件，

所述第一部件和所述第二部件構(gòu)成為經(jīng)由所述中間連接部件彼此選擇性地電連接，

所述第一部件是對(duì)形成在襯底上的多個(gè)器件供給電信號(hào)來測(cè)試所述器件的電氣特性的測(cè)試機(jī)的母板，所述第二部件是具有能夠與所述多個(gè)器件的電極接觸的探針的探針卡，

所述組合件還具有在所述框部件的所述插嵌孔中支承所述連接部件的基板，

所述電子部件安裝于所述基板，并經(jīng)由形成于所述基板的配線與所述連接部件連接。

2.如權(quán)利要求1所述的中間連接部件，其特征在于：

所述連接部件是伸縮頂針。

3.如權(quán)利要求1所述的中間連接部件，其特征在于：

所述連接部件包括連接頂針和設(shè)置在所述連接頂針的至少一個(gè)端部的具有彈性的連接端子。

4.如權(quán)利要求1所述的中間連接部件，其特征在于：

所述連接部件包括設(shè)置在所述配線的至少一個(gè)端部的具有彈性的連接端子。

5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的中間連接部件，其特征在于：

所述電子部件是無源元件。

6.如權(quán)利要求5所述的中間連接部件，其特征在于：

所述無源元件是電容器。

7.一種測(cè)試裝置，其特征在于，包括：

測(cè)試機(jī)，其對(duì)形成在襯底上的多個(gè)器件供給電信號(hào)來測(cè)試所述器件的電氣特性；

探針卡，其包括能夠與所述多個(gè)器件的電極接觸的探針；和

中間連接部件，其將所述測(cè)試機(jī)的多個(gè)端子與所述探針卡的多個(gè)端子電連接，

所述中間連接部件包括：

組合件，其具有用于將所述測(cè)試機(jī)的端子與所述探針卡的端子電連接的連接部件；

框部件，其具有用于插嵌所述組合件的插嵌孔；和

與所述連接部件電連接的電子部件，

所述測(cè)試機(jī)和所述探針卡構(gòu)成為經(jīng)由所述中間連接部件彼此選擇性地電連接，

所述組合件還具有在所述框部件的所述插嵌孔中支承所述連接部件的基板，

所述電子部件安裝于所述基板，并經(jīng)由形成于所述基板的配線與所述連接部件連接。