[發(fā)明專利]用于自動金絲鍵合機上的工裝安裝、鍵合方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910955897.6
• 申請日: 2019-10-09
• 公開（公告）號: CN110676196A
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王雨;武邵麗;郭銘;高國斐
• 申請（專利權(quán)）人: 青島航天半導(dǎo)體研究所有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687
• 代理公司: 37228 山東重諾律師事務(wù)所
• 代理人: 賈巍超

1.一種用于自動金絲鍵合機上的工裝安裝方法 ，其特征在于: 首先，安裝在自動金絲鍵合機平臺上安裝定位夾持裝置；然后，在自動金絲鍵合機上料工位一側(cè)安裝喂料裝置；其次，將定位夾持裝置與喂料裝置進行工序銜接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于自動金絲鍵合機上的工裝安裝方法，其特征在于: 定位夾持裝置安裝包括以下步驟；

首先，在工裝框架（301）上加工架條滑道（307）、送架通道（309）、以及出架通道（312），在管殼支架條（304）上加工架條吸附孔（306）；然后，將送架機械手（310）與出架機械手（313）的手臂分別安裝到各自對應(yīng)的送架U型托手（311）與出架U型托手（314）；其次，將送架U型托手（311）與出架U型托手（314）分別放置到各自對應(yīng)的送架通道（309）與出架通道（312）；再次，將管殼支架條（304）沿著架條滑道（307）送入到工裝框架（301）上，在管殼支架條（304）的滑座側(cè)壁配研，調(diào)整滑座側(cè)壁與架條滑道（307）的裝配精度滿足雙列引腳產(chǎn)品外殼（305）鍵合要求；緊接著，將工裝框架（301）吊裝至自動金絲鍵合機平臺上并定位安裝；再后來，根據(jù)鍵合工位，配裝銷控制升降推桿（308），在銷控制升降推桿（308）下端安裝升降定位銷（302），在管殼支架條（304）配鉆與升降定位銷（302）對應(yīng)的定位孔；再往后，在工裝框架（301）上安裝平臺加熱管（303），將架條吸附孔（306）與真空泵/風(fēng)泵連接。

3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于自動金絲鍵合機上的工裝安裝方法，其特征在于: 喂料裝置安裝包括以下步驟；

步驟一一，首先，在自動金絲鍵合機上料工位一側(cè)安裝上料機架（315），在上料機架（315）上水平安裝橫向推動氣缸（336）；然后，在上料機架（315）安裝橫向?qū)к墸?37）、上料豎直導(dǎo)向套（319）、以及上料升降架（316）；其次，在上料升降架（316）上安裝上料框底座（317）與上料框側(cè)架（318）并形成U型結(jié)構(gòu)，在上料升降架（316）下端安裝上料卡位立桿（322）與上料豎直導(dǎo)向桿（320），其中，在上料豎直導(dǎo)向桿（320）上安裝上料輔助彈簧（321）后，插入到上料豎直導(dǎo)向套（319），在上料卡位立桿（322）一側(cè)有上料單向直角齒（323）；再次，在上料機架（315）安裝上料卡位活動直角齒（324），其中上料卡位活動直角齒（324）為直角三角形結(jié)構(gòu)且斜邊位于一直角邊下方，另一直角邊位于遠(yuǎn)離上料單向直角齒（323）一側(cè)，在上料卡位活動直角齒（324）上下兩端分布設(shè)置有上料卡位上擋塊（328）與上料單向定位塊（325），將上料卡位活動直角齒（324）與上料卡位上擋塊（328）通過上料卡位復(fù)位彈簧（327）連接，在上料升降架（316）上安裝與上料單向定位塊（325）連接，并根據(jù)上料卡位活動直角齒（324）擺動幅度調(diào)整上料單向定位塊（325）位置；緊接著，在橫向推動氣缸（336）活塞桿穿過橫向?qū)к墸?37）后與橫向聯(lián)動架（338）尾部連接，橫向聯(lián)動架（338）下表面分布鉸接聯(lián)動鉸接直角撥齒（339），在橫向聯(lián)動架（338）與聯(lián)動鉸接直角撥齒（339）之間連接有聯(lián)動撥齒復(fù)位彈簧（340），橫向聯(lián)動架（338）前端連接有橫向驅(qū)動臂（341），橫向驅(qū)動臂（341）前端連接有在上料框底座（317）與自動金絲鍵合機上料工位之間往復(fù)運動的上料機械頭（332）；

步驟一二，首先，在上料卡位立桿（322）安裝上料吸嘴升降驅(qū)動件（334）；然后，在上料吸嘴升降驅(qū)動件（334）下端安裝上料負(fù)壓吸嘴（333），并通過換向閥連接有與真空泵/風(fēng)泵連通的上料吸嘴負(fù)壓管路（335）；

步驟一三，首先，在上料升降架（316）上豎直設(shè)置有聯(lián)動升降齒條（329），并在上料機架（315）上設(shè)置有與聯(lián)動升降齒條（329）嚙合的聯(lián)動升降齒輪（330），在聯(lián)動升降齒輪（330）上同軸設(shè)置有聯(lián)動驅(qū)動棘輪（331），并與聯(lián)動撥齒復(fù)位彈簧（340）對應(yīng)；

步驟一四，在上料機械頭（332）上設(shè)置有薄膜拆卸裝置（342）；首先，在薄膜下驅(qū)動推桿（343）中插裝薄膜中心射流管路（347）；然后，將薄膜下驅(qū)動推桿（343）倒置在上料機械頭（332）上；其次，調(diào)整膜中空刺頭（344）出口下伸出長度；

步驟一五，在自動金絲鍵合機上料工位安裝由機械手操作用于將塑封雙列引腳產(chǎn)品外殼（305）上的薄膜取出的薄膜勾手（348）。