[發(fā)明專利]用于自動金絲鍵合機上的工裝安裝、鍵合方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910955897.6 | 申請日: | 2019-10-09 |
| 公開(公告)號: | CN110676196A | 公開(公告)日: | 2020-01-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王雨;武邵麗;郭銘;高國斐 | 申請(專利權(quán))人: | 青島航天半導(dǎo)體研究所有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司: | 37228 山東重諾律師事務(wù)所 | 代理人: | 賈巍超 |
| 地址: | 266000 山*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 金絲鍵合 定位夾持裝置 機械手 喂料裝置 加工架 安裝定位 工裝安裝 工裝框架 夾持裝置 吸附孔 支架條 工位 管殼 滑道 鍵合 手臂 銜接 | ||
本發(fā)明涉及用于自動金絲鍵合機上的工裝安裝、鍵合方法,首先,安裝在自動金絲鍵合機平臺上安裝定位夾持裝置;然后,在自動金絲鍵合機上料工位一側(cè)安裝喂料裝置;其次,將定位夾持裝置與喂料裝置進行工序銜接。定位夾持裝置安裝包括以下步驟;首先,在工裝框架(301)上加工架條滑道(307)、送架通道(309)、以及出架通道(312),在管殼支架條(304)上加工架條吸附孔(306);然后,將送架機械手(310)與出架機械手(313)的手臂分別安裝到各自對應(yīng)的送架U型托手(311)與出架U型托手(314);本發(fā)明設(shè)計合理、結(jié)構(gòu)緊湊且使用方便。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及用于自動金絲鍵合機上的工裝安裝、鍵合方法 。
背景技術(shù)
引線鍵合實現(xiàn)了微電子產(chǎn)品優(yōu)良的電氣互連功能,在微電子領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。自動引線鍵合技術(shù)作為一種先進的引線鍵合技術(shù)具有絕對優(yōu)勢。自動鍵合技術(shù)是通過自動鍵合機執(zhí)行相應(yīng)的程序,自動完成引線鍵合的過程。自動鍵合具有可控化、一致性好和可靠性高等優(yōu)勢。隨著電子封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,微波組件正在不斷向小型化、高密度、高可靠、高性能和大批量方向發(fā)展,對產(chǎn)品的可控化、高一致性、高可靠性和生產(chǎn)的高效率都提出了更高的要求,順應(yīng)發(fā)展趨勢實現(xiàn)自動化生產(chǎn)已成為一種趨勢。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題總的來說是提供一種用于自動金絲鍵合機上的工裝、系統(tǒng)及方法 。
為解決上述問題,本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是:
一種用于自動金絲鍵合機上的工裝安裝方法 , 首先,安裝在自動金絲鍵合機平臺上安裝定位夾持裝置;然后,在自動金絲鍵合機上料工位一側(cè)安裝喂料裝置;其次,將定位夾持裝置與喂料裝置進行工序銜接。
作為上述技術(shù)方案的進一步改進:
定位夾持裝置安裝包括以下步驟;
首先,在工裝框架上加工架條滑道、送架通道、以及出架通道,在管殼支架條上加工架條吸附孔;然后,將送架機械手與出架機械手的手臂分別安裝到各自對應(yīng)的送架U型托手與出架U型托手;其次,將送架U型托手與出架U型托手分別放置到各自對應(yīng)的送架通道與出架通道;再次,將管殼支架條沿著架條滑道送入到工裝框架上,在管殼支架條的滑座側(cè)壁配研,調(diào)整滑座側(cè)壁與架條滑道的裝配精度滿足雙列引腳產(chǎn)品外殼鍵合要求;緊接著,將工裝框架吊裝至自動金絲鍵合機平臺上并定位安裝;再后來,根據(jù)鍵合工位,配裝銷控制升降推桿,在銷控制升降推桿下端安裝升降定位銷,在管殼支架條配鉆與升降定位銷對應(yīng)的定位孔;再往后,在工裝框架上安裝平臺加熱管,將架條吸附孔與真空泵/風(fēng)泵連接。
喂料裝置安裝包括以下步驟;
步驟一一,首先,在自動金絲鍵合機上料工位一側(cè)安裝上料機架,在上料機架上水平安裝橫向推動氣缸;然后,在上料機架安裝橫向?qū)к墶⑸狭县Q直導(dǎo)向套、以及上料升降架;其次,在上料升降架上安裝上料框底座與上料框側(cè)架并形成U型結(jié)構(gòu),在上料升降架下端安裝上料卡位立桿與上料豎直導(dǎo)向桿,其中,在上料豎直導(dǎo)向桿上安裝上料輔助彈簧后,插入到上料豎直導(dǎo)向套,在上料卡位立桿一側(cè)有上料單向直角齒;再次,在上料機架安裝上料卡位活動直角齒,其中上料卡位活動直角齒為直角三角形結(jié)構(gòu)且斜邊位于一直角邊下方,另一直角邊位于遠(yuǎn)離上料單向直角齒一側(cè),在上料卡位活動直角齒上下兩端分布設(shè)置有上料卡位上擋塊與上料單向定位塊,將上料卡位活動直角齒與上料卡位上擋塊通過上料卡位復(fù)位彈簧連接,在上料升降架上安裝與上料單向定位塊連接,并根據(jù)上料卡位活動直角齒擺動幅度調(diào)整上料單向定位塊位置;緊接著,在橫向推動氣缸活塞桿穿過橫向?qū)к壓笈c橫向聯(lián)動架尾部連接,橫向聯(lián)動架下表面分布鉸接聯(lián)動鉸接直角撥齒,在橫向聯(lián)動架與聯(lián)動鉸接直角撥齒之間連接有聯(lián)動撥齒復(fù)位彈簧,橫向聯(lián)動架前端連接有橫向驅(qū)動臂,橫向驅(qū)動臂前端連接有在上料框底座與自動金絲鍵合機上料工位之間往復(fù)運動的上料機械頭;
步驟一二,首先,在上料卡位立桿安裝上料吸嘴升降驅(qū)動件;然后,在上料吸嘴升降驅(qū)動件下端安裝上料負(fù)壓吸嘴,并通過換向閥連接有與真空泵/風(fēng)泵連通的上料吸嘴負(fù)壓管路;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





