[發明專利]一種鎢鎳合金靶材及其制備方法

有效

• 申請號: 201910955313.5
• 申請日: 2019-10-09
• 公開（公告）號: CN110885963B
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發明（設計）人: 劉桂榮;王廣達;弓艷飛;楊林;熊寧
• 申請（專利權）人: 安泰天龍鎢鉬科技有限公司;安泰科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/34;B22F1/00;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/15;B22F3/24;C22C27/04;C22C19/03;C03C17/245
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387
• 代理人: 榮紅穎;劉春成

本發明公開了一種鎢鎳合金靶材的制備方法和該方法制備的鎢鎳合金靶材。該鎢鎳合金靶材的制備方法包括：原料配制步驟：將鎢粉、鎳粉進行混合處理，得到混合粉；壓制成形步驟：將所述混合粉進行壓制成形處理，得到預制坯；燒結步驟：將所述預制坯進行燒結處理，得到燒結坯料；熱等靜壓處理步驟：將所述燒結坯料進行熱等靜壓處理，得到熱等靜壓坯料；熱處理步驟：將所述熱等靜壓坯料進行熱處理，之后快速冷卻，得到鎢鎳合金靶材。本發明采用首先低溫燒結，然后熱等靜壓工藝進行致密化處理，鎢鎳合金靶材的致密度達到99.8％以上、且各向同性，鎢相平均粒度小于30微米，可廣泛應用于玻璃鍍膜方面。

技術領域

本發明屬于難熔金屬材料粉末冶金技術領域，具體涉及一種鎢鎳合金靶材及其制備方法。

背景技術

電致變色智能玻璃在電場作用下具有光吸收透過的可調節性，可選擇性地吸收或反射外界的熱輻射和內部的熱擴散，是節能建筑材料的一個發展方向。電致變色智能玻璃能以較低的電壓和較低的功率調節汽車、飛機內部的光線強度，已經在一些高檔轎車和飛機上得到應用。

鎢鎳合金靶材作為電致變色玻璃濺射鍍膜靶材用已經得到推廣應用，鎢鎳合金靶材在玻璃表面生成鎢鎳合金氧化物層，在電壓作用下發生氧化還原反應，顏色發生變化。目前應用的鎢鎳靶材采用熱噴涂工藝制造，濺射靶材密度只有90％左右、靶材中鎳元素分布不均勻，影響產品的濺射性能，從而影響到電致變色層的質量。專利CN105849633A采用粉末混合、成形、燒結及鍛造處理工藝制備管狀靶材，致密度可達到99.97％，但由于采用了鍛造工藝，制備的合金微觀組織上會具有一定的晶粒方向性。

發明內容

本發明針對現有技術存在的不足及缺陷，本發明的目的之一在于提供一種鎢鎳合金靶材的制備方法，該方法工藝簡單，適合批量化生產，主要采用低溫燒結和熱等靜壓處理，使得所制備鎳合金靶材的致密度達到99.8％以上、且各向同性，鎢相平均粒度小于30微米。

本發明的目的之二在于提供一種鎢鎳合金靶材。

本發明解決技術問題所采用的技術方案如下：

一種鎢鎳合金靶材的制備方法，包括：

原料配制步驟：將鎢粉、鎳粉進行混合處理，得到混合粉；

壓制成形步驟：將所述混合粉進行壓制成形處理，得到預制坯；

燒結步驟：將所述預制坯進行燒結處理，得到燒結坯料；

熱等靜壓處理步驟：將所述燒結坯料進行熱等靜壓處理，得到熱等靜壓坯料；

熱處理步驟：將所述熱等靜壓坯料進行熱處理，快速冷卻后得到鎢鎳合金靶材。

在上述鎢鎳合金靶材的制備方法中，作為一種優選實施方式，所述熱處理步驟之后還包括機加工步驟，得到鎢鎳合金靶材成品。

在上述鎢鎳合金靶材的制備方法中，作為一種優選實施方式，在所述原料配制步驟中，所述鎢粉占所述混合粉的重量百分比為40～86％(比如42％、45％、50％、60％、70％、80％、83％、85％)，所述鎳粉占所述混合粉的重量百分比為14～60％(比如16％、20％、30％、40％、50％、55％、58％)。

在上述鎢鎳合金靶材的制備方法中，作為一種優選實施方式，所述鎢粉的費氏平均粒度為2.0～3.0μm(比如2.2μm、2.4μm、2.6μm、2.8μm)，所述鎳粉的費氏平均粒度為2.3～3.5μm(比如2.5μm、2.7μm、3μm、3.2μm、3.4μm)，優選地，所述混合時間為8～20h(比如9h、10h、12h、14h、16h、18h、19h)，若混合時間過短則混合不均勻；若混合時間過長反而也會形成混合不均勻現象。