[發(fā)明專利]一種鎢鎳合金靶材及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910955313.5
• 申請日: 2019-10-09
• 公開（公告）號: CN110885963B
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉桂榮;王廣達;弓艷飛;楊林;熊寧
• 申請（專利權(quán)）人: 安泰天龍鎢鉬科技有限公司;安泰科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/34;B22F1/00;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/15;B22F3/24;C22C27/04;C22C19/03;C03C17/245
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11387
• 代理人: 榮紅穎;劉春成

1.一種鎢鎳合金靶材的制備方法，其特征在于，包括：

原料配制步驟：將鎢粉、鎳粉進行混合處理，得到混合粉；

壓制成形步驟：將所述混合粉進行壓制成形處理，得到預(yù)制坯；

燒結(jié)步驟：將所述預(yù)制坯進行燒結(jié)處理，得到燒結(jié)坯料；

熱等靜壓處理步驟：將所述燒結(jié)坯料進行熱等靜壓處理，得到熱等靜壓坯料；

熱處理步驟：將所述熱等靜壓坯料進行熱處理，之后快速冷卻，得到鎢鎳合金靶材；

在所述原料配制步驟中，所述鎢粉占所述混合粉的重量百分比為40～86%，所述鎳粉占所述混合粉的重量百分比為14～60%；所述鎢粉的費氏平均粒度為2.0～3.0μm，所述鎳粉的費氏平均粒度為2.3～3.5μm，所述混合處理的時間為8～20h；

在所述燒結(jié)步驟中，所述燒結(jié)處理的溫度為1300～1420℃，所述燒結(jié)處理的時間為1～3h，所述燒結(jié)處理在保護氣氛下進行；所述燒結(jié)坯料的相對密度為95%以上；

在所述熱等靜壓處理步驟中，所述熱等靜壓處理的溫度為1000～1250℃，壓力為80~150 MPa，保溫時間為1~4h；

在所述熱處理步驟中，所述熱處理的溫度為900-1300℃，時間為1~3h；

在所述熱處理步驟中，所述快速冷卻的速率為3~7℃/s。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢鎳合金靶材的制備方法，其特征在于，在所述熱處理步驟之后，所述制備方法還包括機加工步驟，通過所述機加工步驟得到鎢鎳合金靶材成品。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢鎳合金靶材的制備方法，其特征在于，在所述壓制成形步驟中，所述壓制成形處理采用冷等靜壓壓制工藝。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鎢鎳合金靶材的制備方法，其特征在于，所述冷等靜壓壓制的壓力為150～220MPa，所述冷等靜壓壓制的時間為12～25min。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢鎳合金靶材的制備方法，其特征在于，將所述混合粉裝入軟膠膜內(nèi)，放入冷等靜壓機中進行所述壓制成形處理。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鎢鎳合金靶材的制備方法，其特征在于，所述預(yù)制坯的相對密度為55～65%。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的鎢鎳合金靶材的制備方法，其特征在于， 在所述燒結(jié)步驟中，所述保護氣氛為氫氣。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢鎳合金靶材的制備方法，其特征在于，所述熱等靜壓處理的溫度為1100～1250℃。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的鎢鎳合金靶材的制備方法，其特征在于，在所述熱處理步驟中，所述熱處理為在真空淬火爐內(nèi)進行，所述真空淬火爐內(nèi)的真空度為10^-1~10^-3Pa。

10.一種采用權(quán)利要求1-9中任一項所述方法制備的鎢鎳合金靶材。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的鎢鎳合金靶材，其特征在于，按重量百分比計，包括40～86%鎢、14～60%鎳以及不可避免的雜質(zhì)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的鎢鎳合金靶材，其特征在于，所述鎢鎳合金靶材的致密度達到99.8%以上。