[發明專利]芯片缺陷檢測方法及系統

有效

• 申請號: 201910949089.9
• 申請日: 2019-10-08
• 公開（公告）號: CN110672620B
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發明（設計）人: 柏鈞藍
• 申請（專利權）人: 英特爾產品（成都）有限公司;英特爾公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95;G06T7/00
• 代理公司: 北京永新同創知識產權代理有限公司 11376
• 代理人: 林錦輝;劉景峰

1.一種用于芯片缺陷的檢測方法，包括：

獲取待檢測芯片的快照，該快照包含所述芯片的圖像以及在生成所述快照時同時拍攝的環境干擾圖像；

通過對所述快照執行多重濾波以消除與所述芯片的圖像一同成像的所述環境干擾圖像，并記錄每一重濾波后的圖像；

基于濾波后的圖像確定所述快照中包含的所述芯片圖像的角點；

當所確定的角點數等于4時，以所述角點為輪廓基準，從所述快照中生成芯片真實圖像；

對所述芯片真實圖像執行自適應二值化處理以標識芯片缺陷；

其中對所述快照執行多重濾波包括：利用K層高斯金字塔濾波器對所述快照進行下采樣高斯濾波以得到K個濾波后的圖像，其中該K個濾波后的圖像與所述快照構成K+1層金字塔圖像，其中所述快照位于所述金字塔圖像的第1層，其中K大于1；

其中所述基于濾波后的圖像確定所述芯片圖像的角點包括：

(1)對于所述金字塔圖像中的第K+1層圖像，執行如下處理：

確定第K+1層圖像的角點；

如果第K+1層圖像的角點數大于或等于4，則將所確定的角點映射到第K層圖像；

(2)對于所述金字塔圖像中的第K層至第1層圖像中的每一層圖像，執行如下處理：建立對應當前層圖像的角點搜索區并在所建立的搜索區內搜索角點，從而確定該當前層圖像的角點，其中當前層圖像的角點搜索區是以從所確定的前一層圖像的角點映射的點為中心、沿四個方向向外擴展預定的像素數而生成的，其中所述第K層至第1層圖像中的每一層圖像的角點搜索區的大小不同。

2.如權利要求1所述的方法，其中，如果所確定的角點數小于4，則判定當前待檢測芯片的快照無效；而如果所確定的角點數大于4，則確定所述待檢測芯片存在芯片缺陷。

3.如權利要求1所述的方法，其中第K層至第1層圖像的角點搜索區的大小由下式確定：f_i＝F/sqrt(i),其中1≤i≤K，F是小于第K+1層圖像尺寸的預定值，f表示沿四個方向中的任一方向向外擴展的像素數，sqrt()代表開平方函數。

4.如權利要求1所述的方法，其中當所述角點數等于4時，以所述角點為輪廓基準，從所述快照中生成芯片真實圖像進一步包括：

建立以所述四個角點為輪廓基準的四邊形區域，

判斷所述四邊形區域是否為矩形，其中如果不是矩形，則所述方法進一步包括：

對所述四邊形圖像執行透視轉換以生成具有矩形形狀的所述芯片真實圖像。

5.如權利要求4所述的方法，其中對所述芯片真實圖像執行自適應二值化處理包括：

對所述芯片真實圖像執行光照補償，并對經過光照補償的芯片真實圖像執行二值化以形成二值化圖像；

在所述二值化圖像中建立連通區域，以標記所述芯片缺陷。

6.一種圖像處理系統，包括：

用戶顯示界面，配置為根據用戶指示以接收待檢測芯片的快照，其中該快照包括在生成所述快照時同時拍攝的環境干擾圖像；

圖像處理單元，配置為執行如權利要求1-5之一所述的方法來確定所述芯片是否存在缺陷；

其中所述用戶顯示界面還進一步配置為以圖形方式顯示標記有所述芯片缺陷的所述芯片真實圖像。

7.一種計算機可讀介質，其上存儲有機器可讀指令，該指令在被機器執行時，使機器實現如權利要求1-5之一所述的方法。

8.一種用于芯片缺陷的檢測裝置，包括用于實現如權利要求1-5之一所述的方法中的步驟的單元。