[發(fā)明專(zhuān)利]濃度的調(diào)節(jié)方法及調(diào)節(jié)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910947661.8
• 申請(qǐng)日: 2019-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110828338B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱宇淵;徐融
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 廣州三環(huán)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

1.一種濃度的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)方法包括：

提供待清洗工件，將所述待清洗工件置入盛放有第一化學(xué)溶液的第一容器中，所述第一化學(xué)溶液包括溶劑，或者所述第一化學(xué)溶液包括溶質(zhì)和所述溶劑，所述溶質(zhì)包括預(yù)設(shè)粒子；

提供第二容器，所述第二容器用于裝載第二化學(xué)溶液，所述第二化學(xué)溶液為含有所述預(yù)設(shè)粒子的標(biāo)準(zhǔn)溶液，且所述第二化學(xué)溶液可進(jìn)入所述第一容器中；

檢測(cè)所述第一容器中的第一預(yù)設(shè)粒子濃度，且檢測(cè)所述第二容器中的第二預(yù)設(shè)粒子濃度；以及

當(dāng)所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度小于目標(biāo)預(yù)設(shè)粒子濃度時(shí)，控制所述第二容器中的部分所述第二化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器中，以使得部分所述第二化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器后的所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度與所述目標(biāo)預(yù)設(shè)粒子濃度相等。

2.如權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，在“控制所述第二容器中的部分所述第二化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器中”之前，所述調(diào)節(jié)方法還包括：

檢測(cè)所述第一容器中的所述第一化學(xué)溶液的體積；

“控制所述第二容器中的部分所述第二化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器中”包括：

根據(jù)所述目標(biāo)預(yù)設(shè)粒子濃度、所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度、所述第一化學(xué)溶液的體積、以及所述第二預(yù)設(shè)粒子濃度建立第一模型；

根據(jù)所述第一模型來(lái)控制所述第二容器中的部分所述第二化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器。

3.如權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)方法還包括：

提供第三容器，所述第三容器用于裝載第三化學(xué)溶液，所述第三化學(xué)溶液為所述溶劑，且所述第三化學(xué)溶液可進(jìn)入所述第一容器中；

當(dāng)所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度大于所述目標(biāo)預(yù)設(shè)粒子濃度時(shí)，控制所述第三容器中的部分所述第三化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器中，以使得部分所述第三化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器后的所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度與所述目標(biāo)預(yù)設(shè)粒子濃度相等。

4.如權(quán)利要求3所述的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，“控制所述第三容器中的部分所述第三化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器中”包括：

根據(jù)所述目標(biāo)預(yù)設(shè)粒子濃度、所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度、以及所述第一化學(xué)溶液的體積建立第二模型；

根據(jù)所述第二模型來(lái)控制所述第三容器中的部分所述第三化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器。

5.如權(quán)利要求3所述的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)方法還包括：

提供第四容器，所述第四容器與所述第一容器連通；

當(dāng)所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度大于所述目標(biāo)預(yù)設(shè)粒子濃度時(shí)，控制所述第一容器中的部分所述第一化學(xué)溶液進(jìn)入所述第四容器中；以及

控制所述第三容器中的部分所述第三化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器中，以使得部分所述第三化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器后的所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度與所述目標(biāo)預(yù)設(shè)粒子濃度相等。

6.如權(quán)利要求5所述的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，“控制所述第三容器中的部分所述第三化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器中”包括：

根據(jù)所述目標(biāo)預(yù)設(shè)粒子濃度、所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度、所述第一化學(xué)溶液的體積、以及進(jìn)入所述第四容器中的部分所述第一化學(xué)溶液的體積建立第三模型；

根據(jù)所述第三模型來(lái)控制所述第三容器中的部分所述第三化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器。

7.如權(quán)利要求5所述的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)方法還包括：

提供循環(huán)裝置，所述循環(huán)裝置連接所述第一容器，所述循環(huán)裝置用于除去所述第一容器中的所述第一化學(xué)溶液中的雜質(zhì)；

所述第二容器連接所述循環(huán)裝置，所述第二容器向所述循環(huán)裝置中加入所述第二化學(xué)溶液，以使所述第二化學(xué)溶液進(jìn)入所述第一容器中；

所述第四容器連接所述循環(huán)裝置，所述第一容器中的第一化學(xué)溶液進(jìn)入所述循環(huán)裝置中，再?gòu)乃鲅h(huán)裝置中進(jìn)入所述第四容器；

檢測(cè)所述循環(huán)裝置中的所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度以得到所述第一容器中所述第一預(yù)設(shè)粒子濃度。

8.如權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)方法還包括：

攪拌所述第一容器中的所述第一化學(xué)溶液，以使得所述溶質(zhì)分散均勻。