[發(fā)明專利]一種二次元坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償測量方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910937645.0
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN110690135B
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 龔成文;溫永闊;胡靖
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢東飛凌科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 武漢河山金堂專利事務(wù)所(普通合伙) 42212
• 代理人: 胡清堂

本發(fā)明涉及晶體管式封裝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種二次元坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償測量方法；包括：建立管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系；以夾具的X軸邊線和Y軸邊線畫線，并以X軸邊線和Y軸邊線的焦點(diǎn)為原點(diǎn)；畫出所述管座外圓和所述管座兩個絕緣子圓；將兩個絕緣子圓心連接起來構(gòu)造擬合線；將所述管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系圓心平移至所述管座圓心，將管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系按照擬合線的角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并保存旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系；畫出管座芯片光敏區(qū)域，根據(jù)坐標(biāo)算法，得到光敏區(qū)域相對于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系坐標(biāo)位置。根據(jù)光敏區(qū)域相對于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系坐標(biāo)位置對管座固晶位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。本發(fā)明實(shí)施例運(yùn)用坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償，最大程度保證TO產(chǎn)品芯片固晶的準(zhǔn)確性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體激光器TO封裝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種二次元坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償測量方法及裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體激光器TO具有體積小、重量輕、效率高、壽命長、易于調(diào)制及價格低廉等優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè)、醫(yī)學(xué)和軍事領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，如材料加工、光纖通訊、激光測距、目標(biāo)指示、激光制導(dǎo)、激光雷達(dá)、空間光通信等。隨著半導(dǎo)體激光器TO在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷發(fā)展，對半導(dǎo)體激光器TO產(chǎn)品芯片固精貼裝精度要求越來越高。

目前TO封裝固晶貼裝的測量，一直都是以測量設(shè)備的機(jī)械坐標(biāo)系為基準(zhǔn)坐標(biāo)系進(jìn)行測量的；例如，在TO-CAN 46產(chǎn)品封裝過程中，有2PIN、3PIN、4PIN……7PIN、8PIN等各種腳位的管座，封裝過程中由于測量夾具的不匹配和管座的旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)致正常測量時精度不準(zhǔn)確，在高速率產(chǎn)品中尤其明顯(注：高速率產(chǎn)品對芯片光敏面要求偏心貼裝，以滿足產(chǎn)品在使用過程中回?fù)p度滿足要求，保證信號傳輸?shù)恼?。

產(chǎn)品因為TO管座微量旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致機(jī)械坐標(biāo)系并不能準(zhǔn)確的測量，這樣會嚴(yán)重影響產(chǎn)品芯片貼裝精度，最終導(dǎo)致產(chǎn)品性能無法滿足要求。

發(fā)明內(nèi)容

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種二次元坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償測量方法及裝置，最大程度保證TO產(chǎn)品芯片固晶貼裝的準(zhǔn)確性。

一方面，本發(fā)明實(shí)施例一種二次元坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償測量方法，包括以下步驟：

S1，建立管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系；具體包括，以夾具的X軸邊線和Y軸邊線畫線，并以所述X軸邊線和Y軸邊線的交點(diǎn)為原點(diǎn)；

S2，通過影像測量畫出所述管座外圓和所述管座兩個絕緣子圓；具體包括，將所述兩個絕緣子圓心連接起來構(gòu)造擬合線；

S3，將所述管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系的坐標(biāo)原點(diǎn)平移至所述管座圓心，將所述管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系按照擬合線的角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并保存旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系；

S4，再次通過影像測量畫出所述管座芯片光敏區(qū)域，根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系的X軸和所述管座芯片光敏區(qū)域的圓心構(gòu)造虛擬直角三角形，得到一個虛擬角度和所述管座芯片光敏區(qū)域相對于管座圓心的距離，根據(jù)直角三角形函數(shù)求得兩條直角邊距離，得到所述光敏區(qū)域相對于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系坐標(biāo)位置。

S5，根據(jù)所述光敏區(qū)域相對于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系坐標(biāo)位置對所述管座固晶位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。

另一方面，本發(fā)明實(shí)施例一種二次元坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償測量裝置，包括：

測量模塊，建立管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系；具體包括，以夾具的X軸邊線和Y軸邊線畫線，并以所述X軸邊線和Y軸邊線的交點(diǎn)為原點(diǎn)；通過影像測量畫出所述管座外圓、管座兩個絕緣子圓和管座芯片光敏區(qū)域；將所述兩個絕緣子圓心連接起來構(gòu)造擬合線；

計算模塊，將所述管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系的坐標(biāo)原點(diǎn)平移至所述管座圓心，將所述管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系按照擬合線的角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并保存旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系；根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系的X軸和所述管座芯片光敏區(qū)域的圓心構(gòu)造虛擬直角三角形，得到一個虛擬角度和所述管座芯片光敏區(qū)域相對于管座圓心的距離，根據(jù)直角三角形函數(shù)求得兩條直角邊距離，得到所述光敏區(qū)域相對于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系坐標(biāo)位置；