[發(fā)明專利]一種二次元坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償測量方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910937645.0
• 申請(qǐng)日: 2019-09-30
• 公開（公告）號(hào): CN110690135B
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龔成文;溫永闊;胡靖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢東飛凌科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 武漢河山金堂專利事務(wù)所(普通合伙) 42212
• 代理人: 胡清堂

1.一種二次元坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，建立管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系；具體包括，以夾具的X軸邊線和Y軸邊線畫線，并以所述X軸邊線和Y軸邊線的交點(diǎn)為原點(diǎn)；

S2，通過影像測量畫出所述管座的外圓和所述管座的兩個(gè)絕緣子的圓；具體包括，將所述兩個(gè)絕緣子的圓的圓心連接起來構(gòu)造擬合線；

S3，將所述管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系的坐標(biāo)原點(diǎn)平移至所述管座的外圓的圓心，將所述管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系按照擬合線的角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并保存旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系；

S4，再次通過影像測量畫出所述管座芯片光敏區(qū)域，根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系的X軸和所述管座芯片光敏區(qū)域的圓心構(gòu)造虛擬直角三角形，得到一個(gè)虛擬角度和所述管座芯片光敏區(qū)域相對(duì)于管座圓心的距離，根據(jù)直角三角形函數(shù)求得兩條直角邊距離，從而得到所述管座芯片光敏區(qū)域相對(duì)于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系的坐標(biāo)位置；

S5，根據(jù)所述管座芯片光敏區(qū)域相對(duì)于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系的坐標(biāo)位置對(duì)所述管座固晶位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。

2.一種二次元坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償測量裝置，其特征在于，包括：

測量模塊(1)，建立管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系；具體包括，以夾具的X軸邊線和Y軸邊線畫線，并以所述X軸邊線和Y軸邊線的交點(diǎn)為原點(diǎn)；通過影像測量畫出所述管座的外圓、管座的兩個(gè)絕緣子的圓和管座的芯片光敏區(qū)域；將所述兩個(gè)絕緣子的圓的圓心連接起來構(gòu)造擬合線；

計(jì)算模塊(2)，將所述管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系的坐標(biāo)原點(diǎn)平移至所述管座圓心，將所述管座基礎(chǔ)坐標(biāo)系按照擬合線的角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并保存旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系；根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系的X軸和所述管座芯片光敏區(qū)域的圓心構(gòu)造虛擬直角三角形，得到一個(gè)虛擬角度和所述管座芯片光敏區(qū)域相對(duì)于管座圓心的距離，根據(jù)直角三角形函數(shù)求得兩條直角邊距離，得到所述管座芯片光敏區(qū)域相對(duì)于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系的坐標(biāo)位置；

位置調(diào)整模塊(3)，根據(jù)所述管座芯片光敏區(qū)域相對(duì)于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償后的坐標(biāo)系坐標(biāo)位置對(duì)所述管座固晶位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。