[發明專利]一種多晶爐臺一臺真空泵控制多臺多晶爐運行方法

在審

• 申請號: 201910936205.3
• 申請日: 2019-09-29
• 公開（公告）號: CN110644046A
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發明（設計）人: 邵長洲;韓曉敏;孫永付;夏益民
• 申請（專利權）人: 揚州榮德新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B28/00
• 分類號: C30B28/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種多晶爐臺一臺真空泵控制多臺多晶爐運行改造方法，具體方法如下：（1）在操作前先將相鄰多晶爐串聯；（2）正常運行狀態下真空泵上的V8閥是打開的，V9閥是關閉的；（3）進行并接操作時，先將計劃繼續運行的主真空泵的V9閥打開，掛好標牌；（4）將準備停的輔真空泵的V8閥關閉，掛好標牌；（5）打開輔真空泵V9閥，掛好標牌；（6）將計劃停用的輔泵關閉；（7）當并接的多晶爐中有一臺運行結束時，需將停爐的多晶爐分離，恢復正常運行狀態；（8）關閉主泵和輔泵的V9閥，掛好標牌。本發明直接減少真空泵的使用數量，從根本上減少能耗，降低故障發生頻率。

技術領域

本發明屬于多晶爐技術領域，具體涉及一種多晶爐臺一臺真空泵控制多臺多晶爐運行方法。

背景技術

多晶爐運行周期較長（70小時左右），但僅僅在加熱階段（10小時左右），屬于氣體置換過程。而在熔化、長晶、退火、冷卻階段（60小時左），爐內氣壓穩定，進出氣量小。因此，一臺真空泵供給一臺多晶爐臺的模式會造成大量產能浪費。真空泵作為氣體運輸中必不可少的裝置，運作過程不僅能耗高，且真空泵隸屬機械油泵，運作過程中不僅消耗大量潤滑油，且機械動作會產生聲音，產生大量噪音污染；因此，在固定爐臺情況下，增加利用率，減少真空泵的使用是十分必要的。同時，一臺真空泵供給一臺多晶爐臺的模式，會使得每個真空泵都處于工作狀態，真空泵長期不停運作滑閥之間一直長時間處于摩擦過程使滑閥壽命降低，停機檢修等工作均會直接影響多晶爐設備機臺效率。而當真空泵出現故障時只能停機維修；不僅直接影響產品質量，且如果氣體無法得到有效排出會發生重大安全事故。

發明內容

本發明的目的在于提供一種多晶爐臺一臺真空泵控制多臺多晶爐運行方法，利用一臺真空泵或者機械泵不僅控制單臺多晶爐運行也可以控制多臺多晶爐正常運行，能有效地降低真空泵運行能耗、減少潤滑油使用量、降低車間噪音、提高機臺維修效率并提高真空泵滑閥使用壽命。

為了實現上述目的，本發明的技術方案如下。

一種多晶爐臺一臺真空泵控制多臺多晶爐運行改造方法，具體方法如下：

（1）在操作前先將相鄰多晶爐串聯；

（2）正常運行狀態下真空泵上的V8閥是打開的，V9閥是關閉的；進行并接操作前，首先需確認機臺狀態，所并接設備必需都處于氣體控制模式下；

（3）進行并接操作時，先將計劃繼續運行的主真空泵的V9閥打開，掛好標牌；需要運行的真空泵稱為主真空泵，停止運行的真空泵稱為輔真空泵；

（4）將準備停的輔真空泵的V8閥關閉，掛好標牌，關或開；手動閥順時針是關閉，逆時針是打開；

（5）打開輔真空泵V9閥，掛好標牌，觀察爐內氣壓狀況，是否符合配方設定值；

（6）將計劃停用的輔泵關閉；將V8閥手動開啟，并接工作完成；

（7）當并接的多晶爐中有一臺運行結束時，需將停爐的多晶爐分離，恢復正常運行狀態；保證有主泵在運行；輔泵真空泵打開，V8閥打開，掛好標牌；打開閥時需逆時針旋到底即可；

（8）關閉主泵和輔泵的V9閥，掛好標牌；關閉閥時需順時針旋到底即可。