[發(fā)明專利]一種多晶爐臺(tái)一臺(tái)真空泵控制多臺(tái)多晶爐運(yùn)行方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910936205.3 | 申請(qǐng)日： | 2019-09-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110644046A | 公開（公告）日： | 2020-01-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 邵長洲;韓曉敏;孫永付;夏益民 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 揚(yáng)州榮德新能源科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B28/00 | 分類號(hào)： | C30B28/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 225131 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多晶爐 真空泵 標(biāo)牌 并接 輔泵 故障發(fā)生頻率 正常運(yùn)行狀態(tài) 真空泵控制 運(yùn)行結(jié)束 運(yùn)行狀態(tài) 主真空泵 爐臺(tái) 閥打開 閥關(guān)閉 多晶 停爐 停用 主泵 串聯(lián) 能耗 改造 | ||
1.一種多晶爐臺(tái)一臺(tái)真空泵控制多臺(tái)多晶爐運(yùn)行改造方法，其特征在于：具體方法如下：
（1）在操作前先將相鄰多晶爐串聯(lián)；
（2）正常運(yùn)行狀態(tài)下真空泵上的V8閥是打開的，V9閥是關(guān)閉的；進(jìn)行并接操作前，首先需確認(rèn)機(jī)臺(tái)狀態(tài)，所并接設(shè)備必需都處于氣體控制模式下；
（3）進(jìn)行并接操作時(shí)，先將計(jì)劃繼續(xù)運(yùn)行的主真空泵的V9閥打開，掛好標(biāo)牌；需要運(yùn)行的真空泵稱為主真空泵，停止運(yùn)行的真空泵稱為輔真空泵；
（4）將準(zhǔn)備停的輔真空泵的V8閥關(guān)閉，掛好標(biāo)牌，關(guān)或開；手動(dòng)閥順時(shí)針是關(guān)閉，逆時(shí)針是打開；
（5）打開輔真空泵V9閥，掛好標(biāo)牌，觀察爐內(nèi)氣壓狀況，是否符合配方設(shè)定值；
（6）將計(jì)劃停用的輔泵關(guān)閉；將V8閥手動(dòng)開啟，并接工作完成；
（7）當(dāng)并接的多晶爐中有一臺(tái)運(yùn)行結(jié)束時(shí)，需將停爐的多晶爐分離，恢復(fù)正常運(yùn)行狀態(tài)；保證有主泵在運(yùn)行；輔泵真空泵打開，V8閥打開，掛好標(biāo)牌；打開閥時(shí)需逆時(shí)針旋到底即可；
（8）關(guān)閉主泵和輔泵的V9閥，掛好標(biāo)牌；關(guān)閉閥時(shí)需順時(shí)針旋到底即可。
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