[發(fā)明專利]有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置、以及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910936196.8
• 申請(qǐng)日: 2019-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN111007069B
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李相植;安根湖;高錫準(zhǔn);黃暎福
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 恒邦解決方案有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88;G01N21/27
• 代理公司: 北京匯思誠(chéng)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11444
• 代理人: 張黎;王剛

本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置、以及方法。本發(fā)明的目的在于提供一種有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置、以及方法，能夠通過在剛剛進(jìn)行沉積工序之后進(jìn)行老化及光學(xué)檢查工序，在發(fā)現(xiàn)缺陷或異常時(shí)省略后續(xù)工序的進(jìn)行并反饋給沉積設(shè)備，由此實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)費(fèi)用的降低及生產(chǎn)效率的提高。本發(fā)明的另一目的在于提供一種有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置、以及方法，能夠正確地自動(dòng)對(duì)齊(align)多個(gè)檢查用設(shè)備，以在剛剛進(jìn)行沉積工序之后進(jìn)行老化及光學(xué)檢查工序的過程中，為了防止因與外部大氣的接觸引起的變質(zhì)，將老化及光學(xué)檢查工序均在氮腔室內(nèi)順利地自動(dòng)進(jìn)行。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置、以及方法(Deviceand method for aging and vision-inspecting OLED)，用于容易且順利地進(jìn)行在出庫已制造的有機(jī)發(fā)光二極管面板之前將其人為地老化特定程度的老化(aging)工序、以及在老化工序之后檢查穩(wěn)定化后的有機(jī)發(fā)光二極管面板的圖像質(zhì)量、顏色特性、顏色異常等的光學(xué)檢查工序。

背景技術(shù)

有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Diodes，OLED)是指，利用電流流過熒光有機(jī)化合物時(shí)發(fā)光的電致發(fā)光現(xiàn)象來自行發(fā)光的自發(fā)光有機(jī)物質(zhì)。有機(jī)發(fā)光二極管具有能夠在低的電壓下驅(qū)動(dòng)，能夠做得薄，并且具有寬的視角及快的響應(yīng)速度等的優(yōu)點(diǎn)。由于這樣的多個(gè)優(yōu)點(diǎn)，有機(jī)發(fā)光二極管作為各種電子產(chǎn)品的顯示器面板現(xiàn)在被廣泛使用，并且其使用范圍逐漸擴(kuò)大。

已知通常有機(jī)發(fā)光二極管具有在初始驅(qū)動(dòng)期間迅速被劣化之后被穩(wěn)定化的特性。由于這樣的特性，在制造有機(jī)發(fā)光二極管面板之后直接出庫的情況下，存在在剛剛出庫之后產(chǎn)品的品質(zhì)或可靠性大幅下降的風(fēng)險(xiǎn)。因此，通常在制造有機(jī)發(fā)光二極管面板之后在出庫之前必不可少地進(jìn)行老化(aging)工序，在該老化工序中，對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管施加規(guī)定時(shí)間(通常為10～30分鐘左右)的高電壓來使其全面性發(fā)光，由此進(jìn)行人為地進(jìn)行老化來將有機(jī)發(fā)光二極管充分穩(wěn)定化。

通常在制造有機(jī)發(fā)光二極管面板時(shí)，在由玻璃(glass)形成的大型母基板上利用有機(jī)物質(zhì)沉積圖案。此時(shí)，在要制造的產(chǎn)品的尺寸比母基板小時(shí)，可用一個(gè)母基板制造多個(gè)產(chǎn)品，在這樣的情況下可在一個(gè)母基板上沉積多個(gè)有機(jī)物質(zhì)圖案，通常將相當(dāng)于一個(gè)產(chǎn)品的有機(jī)物質(zhì)圖案稱為單元(cell)。在母基板沉積單元并經(jīng)過干燥等多個(gè)工序之后，通過將粘貼基板重疊于母基板粘貼來將形成有單元的空間稱為相對(duì)于外部封閉的狀態(tài)的工序就是如上所述的密封工序。在這樣的密封工序之后將基板切割為相當(dāng)于各單元的尺寸來完成有機(jī)發(fā)光二極管面板產(chǎn)品的制造。

另外，構(gòu)成有機(jī)發(fā)光二極管的有機(jī)物對(duì)水分及氧非常敏感，因此若暴露于空氣中則立即會(huì)變質(zhì)。因此，通常只有在經(jīng)過如上所述的密封工序等多個(gè)步驟的制造工序來產(chǎn)品成為能夠驅(qū)動(dòng)的狀態(tài)之后，才進(jìn)行老化工序。另一方面，在光學(xué)檢查工序中檢查圖像質(zhì)量、顏色特性、顏色異常等，顯然這樣的檢查結(jié)果只有在有機(jī)發(fā)光二極管面板經(jīng)過老化工序成為穩(wěn)定化后的狀態(tài)下才能得到正確的檢查結(jié)果。即，光學(xué)檢查工序必須在老化工序之后進(jìn)行，因此其結(jié)果光學(xué)檢查工序也在密封工序之后進(jìn)行。在韓國(guó)專利申請(qǐng)第1149055號(hào)(“OLED面板的老化裝置”，2012.05.16，下面稱為“現(xiàn)有文獻(xiàn)”)中，公開了通過將從母基板切割的多個(gè)有機(jī)發(fā)光二極管面板以面板為單位進(jìn)行連續(xù)的老化處理，由此縮小設(shè)備規(guī)模并提高生產(chǎn)量的技術(shù)，在此技術(shù)中也明確記載在完成密封工序并從母基板切割下來之后進(jìn)行老化工序。

但是，在進(jìn)行檢查的結(jié)果在某個(gè)產(chǎn)品檢測(cè)出缺陷的情況下，將與該缺陷產(chǎn)品同時(shí)生產(chǎn)的所有產(chǎn)品判定為存在缺陷，所以存在制造費(fèi)用的損失增加且生產(chǎn)效率也大幅下降等的諸多問題。因此，存在在沉積工序之后在進(jìn)行其他工序之前進(jìn)行老化工序及光學(xué)檢查工序的需求。但是，如上所述，若構(gòu)成有機(jī)發(fā)光二極管的有機(jī)物質(zhì)暴露于空氣中時(shí)迅速變質(zhì)，需要改良在沉積工序之后使得不發(fā)生空氣中暴露的同時(shí)最大程度迅速且正確地進(jìn)行老化工序及光學(xué)檢查工序的設(shè)備。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)