[發(fā)明專利]有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置、以及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910936196.8
• 申請(qǐng)日: 2019-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111007069B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李相植;安根湖;高錫準(zhǔn);黃暎福
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 恒邦解決方案有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88;G01N21/27
• 代理公司: 北京匯思誠(chéng)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11444
• 代理人: 張黎;王剛

1.一種有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置，

是對(duì)基板(500)進(jìn)行老化及光學(xué)檢查的有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置(100)，在該基板(500)的上表面沉積形成有形成有機(jī)發(fā)光二極管面板的由有機(jī)物質(zhì)圖案構(gòu)成的至少一個(gè)單元(550)、以及由向所述單元(550)供電的電路圖案構(gòu)成且形成在所述單元(550)的外圍部分的多個(gè)連接部(555)，

該有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置的特征在于，包括：

真空吸附單元(110)，配置于所述基板(500)的下表面，使所述基板(500)上升或者吸附并固定所述基板(500)；

多個(gè)機(jī)械對(duì)齊單元(120)，分散配置于所述基板(500)的下表面的多個(gè)位置，直接移動(dòng)所述基板(500)來(lái)將所述基板(500)對(duì)齊到所述真空吸附單元(110)上的固定位置；

光學(xué)對(duì)齊單元(130)，分散配置于所述基板(500)的下側(cè)的多個(gè)位置，光學(xué)識(shí)別在所述基板(500)上形成的對(duì)齊標(biāo)識(shí)；

UVW平臺(tái)(140)，配置于所述基板(500)的上側(cè)，能夠沿作為水平方向的X、Y、θ進(jìn)行3軸驅(qū)動(dòng)，并且能夠沿作為垂直方向的Z軸進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；

探針板(150)，通過(guò)所述UVW平臺(tái)(140)被移動(dòng)，包括與所述連接部(555)連接來(lái)供電的多個(gè)探針?shù)N(155)；

探針對(duì)齊單元(160)，分散配置于所述探針板(150)的上側(cè)的多個(gè)位置，光學(xué)識(shí)別在所述探針板(150)上形成的對(duì)齊銷；

信號(hào)生成單元(170)，與所述探針板(150)電連接來(lái)按照已設(shè)定的信號(hào)模式供電；以及

光學(xué)檢查單元(180)，能夠移動(dòng)地配置于所述基板(500)的下側(cè)，對(duì)所述基板(500)進(jìn)行光學(xué)檢查。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置，其特征在于，

在所述老化及光學(xué)檢查裝置(100)中，

通過(guò)所述探針?shù)N(155)與所述連接部(555)的連接來(lái)被傳遞從所述信號(hào)生成單元(170)施加的電量，由此所述單元(550)被點(diǎn)亮并進(jìn)行所述單元(550)的老化工序，

通過(guò)在所述單元(550)被點(diǎn)亮的狀態(tài)下由所述光學(xué)檢查單元(180)掃描所述單元(550)的區(qū)域，進(jìn)行所述單元(550)的光學(xué)檢查工序。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置，其特征在于，

在所述老化及光學(xué)檢查裝置(100)中，

以在所述真空吸附單元(110)、所述UVW平臺(tái)(140)及所述探針板(150)各自的與所述單元(550)的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域能夠通過(guò)光的方式，

在所述真空吸附單元(110)、所述UVW平臺(tái)(140)及所述探針板(150)分別形成有分別具有與所述單元(550)的區(qū)域?qū)?yīng)的位置及面積的貫通孔形狀的真空吸附單元窗(111)、UVW平臺(tái)窗(141)及探針板窗(151)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置，其特征在于，

在所述老化及光學(xué)檢查裝置(100)中，

在所述真空吸附單元(110)形成有貫通路形狀的對(duì)齊單元配置路徑(112)，

所述機(jī)械對(duì)齊單元(120)以貫通所述對(duì)齊單元配置路徑(112)的方式被配置來(lái)直接移動(dòng)所述基板(500)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置，其特征在于，

所述光學(xué)檢查單元(180)包括：

顏色異常檢查部(181)，包括相機(jī)及透鏡且能夠調(diào)節(jié)分辨率，檢查點(diǎn)亮狀態(tài)的所述單元(550)的圖像質(zhì)量及顏色異常；以及

顏色特性檢查部(182)，檢查點(diǎn)亮狀態(tài)的所述單元(550)的包括亮度、灰度及效率的顏色特性。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機(jī)發(fā)光二極管面板的老化及光學(xué)檢查裝置，其特征在于，

所述光學(xué)檢查單元(180)還包括變焦范圍部(183)，該變焦范圍部(183)包括變焦透鏡且能夠調(diào)節(jié)倍率，并配置于所述顏色異常檢查部(181)，推攝點(diǎn)亮狀態(tài)的所述單元(550)的被選擇的區(qū)域，以使所述顏色異常檢查部(181)再次檢查被選擇的區(qū)域。